The invention discloses a precision temperature control device is equipped with electromagnetic heating control equipment, aims to provide an electromagnetic heating precision temperature control, the technical proposal is, including the frame, the bottom frame is provided with a compressor, the compressor is respectively connected with a fixed frame on the inner wall of the condenser and evaporator, the the evaporator is connected with a liquid storage tank for storing liquid exchange, heating device is provided with a liquid storage tank, wherein the heating device comprises an electromagnetic heating controller, is fixed on the rack is located on the inner wall of the liquid storage tank for output exchange liquid invasive pump and a liquid storage tank at the bottom and the electromagnetic heating device of electromagnetic the controller is electrically connected with the heating.
【技术实现步骤摘要】
一种配备电磁加热的精密温度控制设备
本专利技术涉及微电子行业温度控制设备领域,特别涉及一种配备电磁加热的精密温度控制设备。
技术介绍
现代超精密制造、加工以及仪器测量已进入到纳米、亚纳米甚至皮米的技术水平。随着科学技术的提高,环境因素对这些高、精、尖仪器设备的影响作用也越来越显著。据相关统计,在精密及超精密加工中,近40%~70%的加工误差来源于机床的热变形,显然以温度为代表的环境参数已经成为制约超精密技术进一步发展的重要因素。光刻机作为高集成度、高精密制造装备对工作环境要求极为苛刻,因此迫切需要一种高精度温控设备。目前,公开号为CN101609262B的中国专利公开了一种光刻机投影物镜的温度控制装置,它包括,至少一水套,该水套包括水套体和双螺旋缠绕在该水套体外壁的水管;用于感测该光刻机的投影物镜的温度的至少一温度传感器;分流集流板通过该分流集流管向该水套体的水管提供循环水并接收该水套体的水管内的回流水,该分流集流管上设置有用于控制该水管内的循环水流量的调节阀;循环水控制单元控制循环水的温度,并通过该传输管向该分流集流板提供循环水;投影物镜温度控制单元用于接收该温度传感器感测到的该投影物镜的温度,该投影物镜温度控制单元根据该投影物镜温度值调节该循环水控制单元提供的循环水的温度和该调节阀的打开程。这种光刻机投影物镜的温度控制装置虽然光刻机投影物镜的温度控制装置能够通过温度传感器保证该投影物镜整体温度的均匀性与稳定性,但是其通过对于循环水进行温度控制,无法有效的进行冷热控制,从而影响整体温度的控制,不适合高精密温度控制需求。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一 ...
【技术保护点】
一种配备电磁加热的精密温度控制设备,包括机架(1),其特征在于:所述机架(1)底部设有压缩机(2),所述压缩机(2)上分别连接有固定于机架(1)内壁上的冷凝器(3)和蒸发器(4),所述蒸发器(4)上还连接有用于存储交换液的储液箱(5),所述储液箱(5)上设有加热装置(6),所述加热装置(6)包括固定于机架(1)内壁上的电磁加热控制器(61)、位于储液箱(5)上用于输出交换液的侵入式泵(62)及位于储液箱(5)底部与电磁加热控制器(61)电连接的电磁加热装置(63)。
【技术特征摘要】
1.一种配备电磁加热的精密温度控制设备,包括机架(1),其特征在于:所述机架(1)底部设有压缩机(2),所述压缩机(2)上分别连接有固定于机架(1)内壁上的冷凝器(3)和蒸发器(4),所述蒸发器(4)上还连接有用于存储交换液的储液箱(5),所述储液箱(5)上设有加热装置(6),所述加热装置(6)包括固定于机架(1)内壁上的电磁加热控制器(61)、位于储液箱(5)上用于输出交换液的侵入式泵(62)及位于储液箱(5)底部与电磁加热控制器(61)电连接的电磁加热装置(63)。2.根据权利要求1所述的一种配备电磁加热的精密温度控制设备,其特征在于:所述电磁加热装置(63)包括与机架(1)内壁固定连接的隔热保护底座(631)、位于隔热保护底座(631)上的感应加热板(632)及位于感应加热板(632)上的电磁加热线圈(633)。3....
【专利技术属性】
技术研发人员:金鑫,
申请(专利权)人:无锡沄沨科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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