The utility model discloses an antistatic device, including a water inlet pipe, a water outlet pipeline and gas pipeline, the outlet pipe and the water inlet pipe and the gas pipe are connected, the water inlet pipe and the gas pipeline respectively into liquid and gas outlet pipe to be mixed, the road into the water after mixing the liquid and gas transfer out. The utility model is mainly used for reducing the pure water impedance during the process of base plate manufacturing, and reducing the pure water impedance by using the ultra pure water delivery pipeline, so as to reduce the generation of static electricity in the process of manufacturing.
【技术实现步骤摘要】
防静电装置
本技术涉及一种防静电技术,尤其是涉及一种通过改变纯水的阻抗质来实现防静电的装置。
技术介绍
基板制程生产过中,常需要使用大量超纯水,超纯水本身具有高阻抗(即低导电度)特性,于管路中输送摩擦及制程中皆会产生静电,静电会造成基板上的线路受损,进而导致良率降低,必须依靠专用的纯水改质机降低阻抗质。现有降低基板静电需依赖厂商生产的专用机,体积较大,且故障维修需依赖厂商。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的缺陷,提供一种防静电装置,通过改变纯水的阻抗质来实现防静电。为实现上述目的,本技术提出如下技术方案:一种防静电装置,包括入水管路、出水管路和入气管路,所述出水管路与入水管路和入气管路均相连,所述入水管路和入气管路分别输入液体和气体到出水管路内混合,所述入水管路将混合后液体和气体输送出去。优选地,还包括设置在入气管路上的逆止阀。优选地,还包括设置在出水管路内的液气混合器。优选地,所述入水管路的一端为入水口,另一端与入气管路和出水管路相通。优选地,所述入气管路一端为入气接头,另一端与入水管路和出水管路相通。优选地,所述出水管路一端与入水管路和入气管路相通,另一端为出水口。优选地,所述入水管路、出水管路和入气管路呈T型分布。优选地,所述入水管路、出水管路两者呈直线分布且相通,所述入气管路接入两者中间且与两者垂直。优选地,所述入水管路输入的液体为纯水。优选地,所述入气管路输入的气体为CO2。本技术的有益效果是:1、通过在纯水中通入二氧化碳气体,降低了纯水的阻抗,即防止纯水管路中输送的摩擦及制程中产生的静电,从而避免基板上的线路因静电受损,提高基板良率,替基板 ...
【技术保护点】
一种防静电装置,其特征在于,包括入水管路、出水管路和入气管路,所述出水管路与入水管路和入气管路均相连,所述入水管路和入气管路分别输入液体和气体到出水管路内混合,所述入水管路将混合后液体和气体输送出去。
【技术特征摘要】
1.一种防静电装置,其特征在于,包括入水管路、出水管路和入气管路,所述出水管路与入水管路和入气管路均相连,所述入水管路和入气管路分别输入液体和气体到出水管路内混合,所述入水管路将混合后液体和气体输送出去。2.根据权利要求1所述的防静电装置,其特征在于,还包括设置在入气管路上的逆止阀。3.根据权利要求1所述的防静电装置,其特征在于,还包括设置在出水管路内的液气混合器。4.根据权利要求1所述的防静电装置,其特征在于,所述入水管路的一端为入水口,另一端与入气管路和出水管路相通。5.根据权利要求1所述的防静电装置,其特征在于,所述入气管路一...
【专利技术属性】
技术研发人员:周席仪,陈宽政,
申请(专利权)人:亚智系统科技苏州有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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