下载防静电装置的技术资料

文档序号:17166185

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本实用新型揭示了一种防静电装置,包括入水管路、出水管路和入气管路,所述出水管路与入水管路和入气管路均相连,所述入水管路和入气管路分别输入液体和气体到出水管路内混合,所述入水管路将混合后液体和气体输送出去。本实用新型主要用于在基板制程过程中,...
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