感光性树脂组合物、固化膜、滤色片以及固化膜的制造方法技术

本发明专利技术提供以下内容：感光性树脂组合物，不易因后烘烤时的加热而过度流动，并且能够以期望的大小形成微细图案化的着色固化膜；使用该感光性树脂组合的固化膜的制造方法；固化膜，使该感光性树脂组合物固化而成；滤色片，具备该固化膜。在包含(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)颜料的感光性树脂组合物中，使用酚醛清漆树脂作为(A)碱可溶性树脂，并且使用在末端具有2个以上乙烯性聚合性基团的树枝状聚合物作为(B)光聚合性化合物。

Manufacturing methods of photosensitive resin composition, solidified film, filter and solidified film

The present invention provides the following contents: the photosensitive resin composition is not easy after baking and heating due to excessive flow, coloring cured film and able to form the desired size of fine patterning; manufacturing method of curing film using the photosensitive resin composition; cured film, the photosensitive resin composition and curing; filter the cured film has. Contains (A) an alkali soluble resin, a photopolymerizable compound (B), (C) a photopolymerization initiator (D) and photosensitive resin composition used as pigment, novolac resin (A) alkali soluble resin, and at the end of more than 2 dendrimers of ethylene polymerization group as (B) a photopolymerizable compound.

【技术实现步骤摘要】
感光性树脂组合物、固化膜、滤色片以及固化膜的制造方法
本专利技术涉及负型感光性树脂组合物、使该感光性树脂组合物固化而成的固化膜、具备该固化膜的滤色片、使用所述负型感光性树脂组合物的固化膜的制造方法。
技术介绍
液晶显示器等的显示体结构为在2枚基板之间隔着液晶层，所述2枚基板形成有相互对置的成对的电极。而且，在一侧的基板的内侧形成有滤色片，所述滤色片具有红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)等的各颜色构成的像素。而且，在该滤色片中，为了防止各像素中的不同颜色的混色，或隐藏电极的图案，通常形成有黑色矩阵，所述黑色矩阵配置成矩阵状，以划分R、G、B各色的像素。一般通过光刻法形成滤色片。具体而言，首先在基板上涂布黑色的感光性树脂组合物，曝光、显影，从而形成黑色矩阵。之后，接着通过在每个红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)各色的感光性树脂组合物上重复涂布、曝光、显影，在规定的位置形成各色的图案，从而形成滤色片。作为构成滤色片的着色膜的形成方法，例如，关于黑色矩阵的形成方法，提议有使用负型感光性树脂组合物的方法。具体而言，提议有使用以下的负型感光性树脂组合物，它包含：光聚合性化合物、光聚合引发剂、分散有丙烯酸类树脂微粒的丙烯酸类树脂微粒分散液和溶剂(参照专利文献1)。近年来还开拓了如下的技术：作为包含黑色有机颜料等的遮光成分的黑色抗蚀剂用感光性树脂组合物，或者，包含着色剂的分散树脂组合物，混合具有特定结构的树枝状聚合物。根据上述技术，能够实现涂膜表面平滑而不会产生因热固化收缩导致的表面粗糙度恶化的树脂组合物，或者显影时的密合性或图案形状优良的组合物(参照专利文献2、3)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2011－170075号公报专利文献2：日本特开2012－27448号公报专利文献3：日本特开2012－93591号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题在专利文献1中，提议使用树脂包覆炭黑作为黑色颜料混合于负型感光性树脂组合物中。若使用树脂包覆炭黑作为遮光剂，则容易形成阻抗值高的黑色矩阵。但是，在使用树脂包覆炭黑作为遮光剂的情况下，难以形成光学密度(OD)高的黑色矩阵。为了消除上述光学密度低的问题，并形成阻抗值高的固化膜，考虑使用二次粒径小的颜料。但是，在使用二次粒径小的颜料的情况下，构成黑色矩阵等的滤色片的着色后的固化膜，存在以下情况：由于在曝光以及显影后进行的后烘烤的加热而过度流动，从而产生固化膜不能接受的程度的形状变化。进而，一般要求，按照设计好的大小准确地形成构成滤色片的图案化的着色膜。虽然在使用专利文献2或专利文献3公开的组合物的情况下，对于所述的固化膜的形状变形显示出一定的抑制效果，但是难以按照设计好的大小形成图案。本专利技术是鉴于上述技术问题而提出的，目的在于提供以下内容：感光性树脂组合物，不易因后烘烤时的加热而过度流动，并且能够以期望的大小形成微细图案化的着色固化膜；使用该感光性树脂组合物的固化膜的制造方法；固化膜，使该感光性树脂组合物固化而成；滤色片，具备该固化膜。用于解决上述技术问题的方案本专利技术人发现通过在包含(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)颜料的感光性树脂组合物中，使用酚醛清漆树脂作为(A)碱可溶性树脂，并且使用在末端具有2个以上的乙烯性聚合性基团的树枝状聚合物作为(B)光聚合性化合物，能够解决上述技术问题，从而完成了本专利技术。具体而言，本专利技术提供以下内容。本专利技术的第1方案为感光性树脂组合物，包含：(A)碱可溶性树脂；(B)光聚合性化合物；(C)光聚合引发剂；和(D)颜料，(A)碱可溶性树脂包含酚醛清漆树脂，(B)光聚合性化合物包含在末端具有2个以上的乙烯性聚合性基团的树枝状聚合物。本专利技术的第2方案为固化膜，由第1方案所述的感光性树脂组合物固化而成。本专利技术的第3方案为滤色片，具备第2方案所述的固化膜。本专利技术的第4方案为固化膜的制造方法，包含以下工序：通过涂布第1方案所述的感光性树脂组合物形成涂膜的工序；选择位置对涂膜进行曝光的工序；使曝光的涂膜显影，形成图案化的固化膜的工序；烘烤图案化的固化膜的工序。专利技术效果根据本专利技术，能够提供以下内容：感光性树脂组合物，不易因后烘烤时的加热而过度流动，并且能够以期望的大小形成微细图案化的着色固化膜；使用该感光性树脂组合的固化膜的制造方法；固化膜，使该感光性树脂组合物固化而成；滤色片，具备该固化膜。具体实施方式以下，基于优选的实施方式对本专利技术进行说明。另外，本说明书中的“～”，如果没有特别说明，则表示从以上(下限值)到以下(上限值)。《感光性树脂组合物》感光性树脂组合物包含(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)颜料。感光性树脂组合物包含作为(A)碱可溶性树脂的酚醛清漆树脂。此外，感光性树脂组合物包含在末端具有在2个以上的乙烯性聚合性基团的树枝状聚合物作为(B)光聚合性化合物。感光性树脂组合物通过包含上述的酚醛清漆树脂与树枝状聚合物，不易因后烘烤时的加热而过度流动，并且容易以期望的大小形成微细图案化的着色固化膜。以下，对感光性树脂组合物所包含的必须的或者任意的成分以及感光性树脂组合物的制备方法进行说明。<(A)碱可溶性树脂>感光性树脂组合物包含(A)碱可溶性树脂。此处，在本说明书中，(A)碱可溶性树脂是指在分子内具备具有碱可溶性的官能基(例如酚羟基、羧基、磺酸基等)的树脂。(A)碱可溶性树脂包含(A1)酚醛清漆树脂。感光性树脂组合物通过包含(A1)酚醛清漆树脂作为(A)碱可溶性树脂，容易形成不易因后烘烤时的加热而过度流动的固化膜。以下，对(A1)酚醛清漆树脂与(A1)酚醛清漆树脂以外的碱可溶性树脂进行说明。﹝(A1)酚醛清漆树脂﹞能够使用以往混合于感光性树脂组合物的各种酚醛清漆树脂作为(A1)酚醛清漆树脂。优选是通过使具有酚羟基的芳香族化合物(以下，简称为“酚类”)与醛类在酸催化剂下加成聚合而得的产物作为(A1)酚醛清漆树脂。(酚类)作为用于制作(A1)酚醛清漆树脂时的酚类，能够列举，例如苯酚；邻甲酚、间甲酚、对甲酚等的甲酚类；2,3-二甲苯酚、2,4-二甲苯酚、2,5-二甲苯酚、2,6-二甲苯酚、3,4-二甲苯酚、3,5-二甲苯酚等的二甲苯酚类；邻乙基苯酚、间乙基苯酚、对乙基苯酚等的乙基苯酚类；2-异丙基苯酚、3-异丙基苯酚、4-异丙基苯酚、邻丁基苯酚、间丁基苯酚、对丁基苯酚以及对叔丁基苯酚等的烷基苯酚类；2,3,5-三甲基苯酚以及3,4,5-三甲基苯酚等的三烷基苯酚类；间苯二酚、邻苯二酚、对苯二酚、对苯二酚单甲基醚、连苯三酚以及间苯三酚等的多元酚类；烷基间苯二酚、烷基邻苯二酚以及烷基对苯二酚等的烷基多元酚类(所有的烷基的碳原子数均为1以上4以下)；α-萘酚；β-萘酚；羟基联苯以及双酚A等。这些酚类可以单独地使用，也可以组合2种以上使用。在这些酚类中，优选是间甲酚以及对甲酚，更优选是并用间甲酚与对甲酚。在这种情况下，通过调整二者的混合比例，能够调节使用感光性树脂组合物形成的固化膜的耐热性等诸多特性。虽然间甲酚与对甲酚的混合比例没有特别地限定，但是间甲酚/对甲酚的摩尔比优选是3/7以上8/2以下。通过使用上述范围比率的间甲酚以及对甲酚，容易获得能够形成耐热性优良的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性树脂组合物，包含(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)颜料，所述(A)碱可溶性树脂包含酚醛清漆树脂，所述(B)光聚合性化合物包含在末端具有2个以上乙烯性聚合性基团的树枝状聚合物。

【技术特征摘要】
2016.07.22 JP 2016-1447121.一种感光性树脂组合物，包含(A)碱可溶性树脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)颜料，所述(A)碱可溶性树脂包含酚醛清漆树脂，所述(B)光聚合性化合物包含在末端具有2个以上乙烯性聚合性基团的树枝状聚合物。2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述树枝状聚合物是下述式(1)表示的多官能(甲基)丙烯酸酯化合物与下述式(2)表示的多巯基化合物的加成物，【化学式1】式(1)中，R1是氢原子或者碳原子数为1～4的烷基，R2是将多元醇R3(OH)m的m个羟基之中的n个羟基提供至式(1)中的酯键后的n价残基，m和n分别独立地为2～20的整数，m≥n；(HS-CH2-)p-R4(2)式(2)中，R4是单键或者2～6价的含有碳原子数为1～6的烃基的基团，在R4为单键的情况下，p是2，在R4为2～6价的含有烃基的基团的情况下，p是2～6的整数。3...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿部明生，田上胜弥，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP