一种透明材料微小器件键合质量检测系统技术方案

针对材料和结构均特殊的透明材料微小器件的键合质量检测，发明专利技术了一种透明材料微小器件键合质量检测系统，分析了检测系统硬件中主要部件的性能要求，研究了该检测系统的图像处理技术。检测系统利用光源、相机、镜头和计算机等主要部件实现图像采集功能，并通过图像相减、灰度直方图调整、图像滤波和图像二值化等图像处理功能来完成质量检测。实验结果表明，提出的可见光透射机器视觉检测法能灵敏有效地检测出透明材料微小器件键合位置处存在的键合间隙和缺陷大小，检测精度可达10μm，满足透明材料微小器件键合质量的要求，是一种高效、非接触、无损、无污染的检测方法。

A kind of transparent material micro device bonding quality detection system

【技术实现步骤摘要】
一种透明材料微小器件键合质量检测系统所属
本专利技术涉及一种检测系统，尤其涉及一种透明材料微小器件键合质量检测系统。
技术介绍
随着科技的发展，仪器设备和元器件产品均有微型化的趋势，许多微小器件需通过键合技术成为一个整体，良好的键合质量是微小器件有效性和可靠性的保障。透明材料微小器件是一类具有材料特殊性的产品。常用的键合质量检测方法中，超声检测和红外热波检测法虽然能够进行透明材料的检测，但检测精度较低，一般只能检测几十个微米以上的键合间隙；X射线检测法检测精度高，但设备昂贵，检测系统设计复杂；数字全息检测由于光路调整等困难不能有效实现检测系统仪器化设计。利用透明材料对可见光的透射性能，结合机器视觉技术来进行透明材料微小器件键合质量的检测。可见光透射机器视觉检测是一种以几何光学为应用基础，结合光电子学、计算机图像学、图像处理、计算机视觉等技术的现代检测技术。它以通过图像采集系统获取的被测对象的图像作为检测源信息，经有效的图像处理技术处理后得到检测结果信息。该方法的应用基础主要针对基于聚乳酸-羟基乙酸共聚物PLGA(poly(1actic—CO—glycolicacid))材料的植入式多本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透明材料微小器件键合质量检测系统,由光源、相机、镜头、计算机、支架等部分组成。

【技术特征摘要】
1.一种透明材料微小器件键合质量检测系统,由光源、相机、镜头、计算机、支架等部分组成。2.根据权利要求1所述的透明材料微小器件键合质量检测系统，其特征是所述的光源采用LED背光源。3.根据权利要求1所述的透明材料微小器件键合质量检测系统，其特征是所述的相机采用了成本较高但成像质量较好的CCD相机，CCD相机的主要特性参数有分辨率、芯片尺寸、像元大小、信噪比等；分辨率是影响检测精度的主要参数，在成本允许的情况下分辨率越高越好；在相机分辨率较高的情况下，不应选择尺寸过小的CCD芯片，像素的尺寸过小，则芯片像素的集成过高使成像不准确；信噪比越高，获得图像的质量就越好。4.根据权利要求1所述的透明材料微小器件键合质量检测系统，其特征是所述的镜头类型和参数主要综合考虑视觉检测系统中检测的视场(被测场景大小)、物距(工作距离)、选用的相机参数等因素进行选择。5.根据权利要求1所述的透明材料微小器件键...

【专利技术属性】
技术研发人员：张桂春，
申请(专利权)人：张桂春，
类型：发明
国别省市：辽宁,21