用于以由空间选择性波长滤波器所修改的照明源将样本成像的系统及方法技术方案

本发明专利技术揭示一种用于以经光谱滤波的照明源来照明样本的系统，所述系统包含经配置以产生具有第一组波长的照明光束的照明源。此外，所述系统包含波长滤波子系统、样本载台、照明子系统、检测器，及用以聚焦来自一或多个样本的表面的照明且将所述聚集的照明聚焦到所述检测器的物镜。此外，所述波长滤波子系统包含：经定位以将空间色散引入到所述光束中的一或多个第一色散元件、空间滤波器元件，及经定位以从所述光束中移除空间色散的一或多个色散元件。所述空间滤波器元件经进一步定位以传递所述光束的包含第二组波长的至少一部分，其中所述第二组波长是所述第一组波长的子组。

Systems and methods for imaging samples with an illumination source modified by a spatially selective wavelength filter

The invention discloses a system for illuminating samples by means of spectral filtered lighting sources. The system comprises a lighting source configured to generate illumination beams with the first set of wavelengths. In addition, the system includes wavelength Nami Ko system, sample carrier, lighting subsystem, detector, and objective lens for focusing surface illumination from one or more samples and focusing the gathered lighting on the detector. In addition, the wavelength Nami Ko system includes one or more first dispersion elements, spatial filter elements, and one or more dispersion elements positioned to remove spatial dispersion from the beam. The space filter element is further positioned to transmit at least a part of the beam containing second sets of wavelengths, wherein the second set of wavelengths is a subset of the first set of wavelengths.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于以由空间选择性波长滤波器所修改的照明源将样本成像的系统及方法
本专利技术大体上涉及晶片检验系统，且特定来说涉及以经光谱滤波的照明源照明晶片。
技术介绍
由为检验或制造设计的光学系统可解析的最小特征大小与照明源的波长成反比。因此需要不断开发具有更短波长且在这些波长下具有更高强度的源。然而，日渐强大的照明源的开发给用于利用(harness)此照明的系统及方法的开发带来新挑战。与经设计以对跨越到紫外线中的波长有效的光学系统关联的一个重大挑战是许多材料能高度吸收短波长照明。此高吸收不仅导致性能的降低，且还可变成限制照明源的许可强度的因素。作为实例，由于照明的光的高度吸收，经设计以滤波紫外线照明源的光谱的许多涂层会被驱动到高温(被称作热加载的过程)。此热加载最终会在系统中引起组件损坏或光污染(photo-contamination)，因此，需要消除上文所识别的先前技术中的缺陷。
技术实现思路
根据本专利技术的说明性实施例，揭示一种具有波长选择控制的紫外线照明源。在一个说明性实施例中，紫外线照明源包含照明源，所述照明源经配置以产生包含第一组波长的照明光束。在另一说明性实施例中，紫外线照明源包含第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有波长选择控制的紫外线照明源，其包括：照明源，其经配置以产生包含第一组波长的照明光束，第一组一或多个光学元件，其中所述第一组一或多个光学元件包含经定位以将空间色散引入到所述光束中的一或多个第一色散元件；空间滤波器元件，其中所述空间滤波器元件定位在与所述照明源共轭的平面中，其中所述空间滤波器元件经配置以传递所述光束的至少一部分，其中从所述空间滤波器元件引导的所述光束包含第二组波长，其中所述第二组波长是所述第一组波长的子组；及第二组一或多个光学元件，其中所述第二组一或多个光学元件经定位以聚集所述光束的至少一部分，其中所述第二组一或多个光学元件包含经定位以从所述光束中移除空间色散的一或多个第二...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.05.20 US 62/164,085;2015.08.28 US 14/839,3381.一种具有波长选择控制的紫外线照明源，其包括：照明源，其经配置以产生包含第一组波长的照明光束，第一组一或多个光学元件，其中所述第一组一或多个光学元件包含经定位以将空间色散引入到所述光束中的一或多个第一色散元件；空间滤波器元件，其中所述空间滤波器元件定位在与所述照明源共轭的平面中，其中所述空间滤波器元件经配置以传递所述光束的至少一部分，其中从所述空间滤波器元件引导的所述光束包含第二组波长，其中所述第二组波长是所述第一组波长的子组；及第二组一或多个光学元件，其中所述第二组一或多个光学元件经定位以聚集所述光束的至少一部分，其中所述第二组一或多个光学元件包含经定位以从所述光束中移除空间色散的一或多个第二色散元件。2.根据权利要求1所述的系统，其中所述空间滤波器元件包括具有一或多个开口的光圈，且经定位使得所述第二组波长穿过所述一或多个开口。3.根据权利要求1所述的系统，其中所述空间滤波器元件包括空间光调制器。4.根据权利要求3所述的系统，其中所述空间光调制器包含可变形镜。5.根据权利要求1所述的系统，其中所述照明源包括持续激光等离子体光源。6.根据权利要求1所述的系统，其中所述照明源包括放电源。7.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一组光学元件或所述第二组光学元件中的至少一个包含圆柱镜。8.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个第一色散元件或所述一或多个第二色散元件中的至少一个包含一或多个棱镜。9.根据权利要求8所述的系统，其中所述一或多个棱镜包含一或多个棱镜阵列。10.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个第一色散元件或所述一或多个第二色散元件中的至少一个包含一或多个衍射光栅。11.根据权利要求10所述的系统，其中所述一或多个衍射光栅包含平面衍射光栅或曲面衍射光栅中的至少一个。12.一种用于以经光谱滤波的照明源来照明样本的系统，其包括：照明源，其经配置以产生包含第一组波长的照明光束；波长滤波子系统，其包括：第一组一或多个光学元件，其中所述第一组一或多个光学元件包含经定位以将空间色散引入到所述光束中的一或多个第一色散元件；空间滤波器元件，其中所述空间滤波器元件定位在与所述照明源共轭的平面中，其中所述空间滤波器元件经配置以传递所述光束的至少一部分，其中从所述空间滤波器元件引导的所述光束包含第二组波长，其中所述第二组波长是所述第一组波长的子组；及第二组一或多个光学元件，其中所述第二组一或多个光学元件经定位以聚集所述光束的至少一部分，其中所述第二组一或多个光学元件包含经定位以从所述光束移除空间色散的一或多个第二色散元件；样本载台，其用于固定一或多个样本；照明子系统，其经配置以经由照明路径，以所述第二组波长的至少一部分来照明所述一或多个样本的至少一部分；检测器；及物镜，其经配置以聚焦来自所述一或多个样本的表面的照明，且经由聚集路径来将所述聚集的照明聚焦到所述检测器，以在所述检测器上形成所述一或多个样本的所述表面的至少一部分的图像。13.根据权利要求12所述的系统，其中所述空间滤波器元件包括具有一或多个开口的光圈，其中所述空间滤波器元件经定位使得所述第二组波长穿过所述一或多个开口。14.根据权利要求12所述的系统，其中所述空间滤波器元件包括空间光调制器。15.根据权利要求14所述的系统，其中所述空间光调制器包含可变形镜。16.根据权利要求12所述的系统，其中所述照明源包括持续激光等离子体。17.根据权利要求12所述的系统，其中所...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵伟，K·P·格罗斯，I·贝泽尔，M·潘泽尔，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国,US