一种拥有浮球防护装置的温控设备储液系统制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种拥有浮球防护装置的温控设备储液系统，旨在提供一种高精度的温控设备储液系统，其技术方案要点是，包括用于储存液体的水箱体，所述水箱体一侧上端设有手动加液口，位于手动加液口下方设有进液口，所述水箱体内壁上设有用于检测水箱体内液体高度的浮球开关，所述浮球开关四周设有用于减缓液体流速的防护装置，所述防护装置包括将浮球开关包裹住且固定于水箱体内壁上的防护板、位于防护板上的若干通孔及位于通孔四周内壁上设有的缓冲橡胶垫，所述橡胶垫呈长条状且一端固定于通孔内壁上。

A liquid storage system of temperature control equipment with floating ball protection device

The invention discloses a floating ball protection device with temperature control device of liquid storage system, which aims to provide a high precision temperature control device of liquid storage system, the technical proposal is included for the storage of liquid water tank, the tank body is arranged on the upper end of manual feeding port, located below the manual feeding port a liquid inlet, the tank body wall is provided with a float switch for detecting the height of the liquid in the tank, the float switch is arranged around a protective device for slowing down the flow rate of the liquid, the protection device comprises a buffer rubber protective plate, float switch wrapped and fixed on the inner wall of the tank is located a plurality of through holes on the protection board and is located in the through hole is arranged around the inner wall of the rubber pad is a strip and one end fixed on the inner wall of the through hole.

【技术实现步骤摘要】
一种拥有浮球防护装置的温控设备储液系统
本专利技术涉及温控设备领域，特别涉及一种拥有浮球防护装置的温控设备储液系统。
技术介绍
现代超精密制造、加工以及仪器测量已进入到纳米、亚纳米甚至皮米的技术水平。随着科学技术的提高，环境因素对这些高、精、尖仪器设备的影响作用也越来越显著。据相关统计，在精密及超精密加工中，近40%～70%的加工误差来源于机床的热变形，显然以温度为代表的环境参数已经成为制约超精密技术进一步发展的重要因素。光刻机作为高集成度、高精密制造装备对工作环境要求极为苛刻，因此迫切需要一种高精度温控设备。而在温控设备当中往往通过带有储液箱的温控装置对设备进行温度控制，而储液箱内的液体经过长时间的使用会出现一定的损耗，因此需要通过补液的方式对储液箱内的液体进行补充，因此在储液箱内通过设有浮球开关来控制补液的情况。这种通过浮球开关来控制储液箱内补液的情况可以有效的进行快速补液，无需人工进行控制，但是在灌入液体时由于液体进出从而使得进入的液体流速大，液面不稳定，容易出现误开关情况。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种拥有浮球防护装置的温控设备储液系统，其具有可以有效的使得进入的液体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种拥有浮球防护装置（5）的温控设备储液系统，包括用于储存液体的水箱体（1），其特征在于：所述水箱体（1）一侧上端设有手动加液口（2），位于手动加液口（2）下方设有进液口（3），所述水箱体（1）内壁上设有用于检测水箱体（1）内液体高度的浮球开关（4），所述浮球开关（4）四周设有用于减缓液体流速的防护装置（5），所述防护装置（5）包括将浮球开关（4）包裹住且固定于水箱体（1）内壁上的防护板（51）、位于防护板（51）上的若干通孔（52）及位于通孔（52）四周内壁上设有的缓冲橡胶垫（53），所述橡胶垫呈长条状且一端固定于通孔（52）内壁上。

【技术特征摘要】
1.一种拥有浮球防护装置（5）的温控设备储液系统，包括用于储存液体的水箱体（1），其特征在于：所述水箱体（1）一侧上端设有手动加液口（2），位于手动加液口（2）下方设有进液口（3），所述水箱体（1）内壁上设有用于检测水箱体（1）内液体高度的浮球开关（4），所述浮球开关（4）四周设有用于减缓液体流速的防护装置（5），所述防护装置（5）包括将浮球开关（4）包裹住且固定于水箱体（1）内壁上的防护板（51）、位于防护板（51）上的若干通孔（52）及位于通孔（52）四周内壁上设有的缓冲橡胶垫（53），所述橡胶垫呈长条状且一端固定于通孔（52）内壁上。2.根据权利要求1所述的一种拥有浮球防护装置（5）的温控设备储液系统，其特征在于：所述防护板（51）上还设有缓冲装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：金鑫，
申请(专利权)人：无锡沄沨科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32