一种利用微波等离子体处理废气的装置制造方法及图纸
A device for treating exhaust gas by microwave plasma
The invention is a device for treating exhaust gas by using microwave plasma, which belongs to the field of environmental protection. The device mainly comprises a microwave plasma generator, the gas to be treated into the device, gas detection system and exhaust gas treatment system; gas to be treated with tangential airflow into the gas to be treated into the air after a gap formation device rotating coaxial metal tubes, plasma torch heat released by the metal coaxial tube wall heat transfer the gas pre heating gap through the coaxial tube, and then added to the tube at the outlet of a microwave plasma generator discharge opening end of the gas to be treated into the device, the plasma torch mixed flow vortex formation and effective discharge by microwave plasma generator gas injection unit into the chemical reaction, the removal of exhaust gas. The invention has the advantages of low investment cost and simple system structure, and can maintain stable operation of the microwave treatment waste gas device and improve the exhaust gas removal efficiency under the condition of reducing energy consumption.
【技术实现步骤摘要】
一种利用微波等离子体处理废气的装置
本专利技术属于环境保护领域，涉及一种有害废气处理技术，具体涉及一种利用微波等离子体对废气处理的装置。
技术介绍
近年来，环境污染问题越来越严重，尤其是大气污染越来越严峻。许多工业生产排放的废气，如半导体行业的全氟化物气体，在大气中具有强烈的红外吸收能力，CF4吸收红外的能力是CO2的5700倍，因此会加重温室效应，使全球平均温度升高，成为气候异常的主要原因；其次，煤炉燃烧产生的烟气，包含硫化物和氮氧化物，刺激人呼吸系统，损害人的身体健康，而且还会产生酸雨，破坏地球生态环境，造成光化学污染等等。目前针对减小废气对环境污染的方法主要有四条途径：(1)生产工艺优化；(2)开展气体替代品合成的研究；(3)对废气循环再利用；(4)将废气分解转化为无害物质，进行末端处理。工业上对于一些气体已经采取了一定的处理措施，例如烟气的脱硫技术已经相当成熟，但是对于一些难分解的气体仍然没有很好的解决办法。综合目前的工艺状况和经济成本等条件，末端处理去除废气成为目前比较行之有效的方法。对于废气的分解技术目前主要有燃烧方法，热催化氧化方法，等离子体分解方法...
【技术保护点】
一种利用微波等离子体处理废气的装置，其特征在于，所述的装置包括微波等离子体发生器(1)、待处理气体进入装置(2)、气体检测系统(3)和尾气处理系统(4)；所述的待处理气体进入装置(2)包括两根同轴金属管(22)，同轴金属管(22)之间间隙的一端为封闭端，另一端为开口端；内部金属管(23)的一端与同轴的外部金属管(24)的一端相连，形成封闭端，内部金属管(23)的另一端开放端和同轴的外部金属管(24)的开放端端面错开，并根据放电管(12)的长度调整相对位置，确定去除废气的位置，放电管(12)位于微波等离子体发生器(1)的微波等离子体耦合波导管(13)上；外部金属管(24)的开...
【技术特征摘要】
1.一种利用微波等离子体处理废气的装置，其特征在于，所述的装置包括微波等离子体发生器(1)、待处理气体进入装置(2)、气体检测系统(3)和尾气处理系统(4)；所述的待处理气体进入装置(2)包括两根同轴金属管(22)，同轴金属管(22)之间间隙的一端为封闭端，另一端为开口端；内部金属管(23)的一端与同轴的外部金属管(24)的一端相连，形成封闭端，内部金属管(23)的另一端开放端和同轴的外部金属管(24)的开放端端面错开，并根据放电管(12)的长度调整相对位置，确定去除废气的位置，放电管(12)位于微波等离子体发生器(1)的微波等离子体耦合波导管(13)上；外部金属管(24)的开口端固定在微波等离子体发生器(1)的微波等离子体耦合波导管(13)上，同时保证放电管(12)位于同轴金属管(22)内部中心位置，开口端内部金属管(23)的端面短于外部金属管(24)的端面，放电管(12)深入内部金属管(23)内；外部金属管(24)的封闭端设有四根切向进气管(21)，待处理气体(8)通过第三气体流量控制器(51)与切向进气管(21)相连，并以切向气流的方式旋转引入待处理气体进入装置(2)，经过同轴金属管(22)的间隙从开口端以涡旋气流的方式进入放电管(12)出口端的等离子体炬中；所述的内部金属管(23)内嵌套内衬管(25)；第一、第二工作气体(6、7)分别通过第一、第二气体流量控制器(53、52)与微波等离子体发生器(1)的工作气体注入单元(14)的进气端相连，工作气体注入单元(14)的出气端与放电管(12)的进气端相连；第一、第二工作气体(6、7)以涡旋气流的方式注入放电管(12)中，在放电管(12)中激发等离子体放电，并在流动气流的带动下于放电管(12)的出口端形成向外喷射的等离子体炬进入待处理气体进入装置(2)，等离子体炬能够延伸至放电管(12)外部；待处理气体(8)通过第三气体流量控制器(51)与切向进气管(21)相连，并引入待处理气体进入装置(2)；待处理气体进入装置(2)与气体检测系统(3)、尾气处理系统(4)相连，待处理气体进入装置(2)处理...
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