包括：灯单元(60)；具有排列为p行、q列的矩阵状的多个透镜元件(65a)的蝇眼透镜(65)；包括变更反射面的形状的反射镜变形单元(70)的平面镜(68)；以及滤光器(90)，其具有：排列为p‑2～p+2行、q‑2～q+2列的矩阵状，并分别具有同一透光率分布的多个单元(91)，滤光器(90)配置在灯单元(60)与蝇眼透镜(65)之间，能在与光路(EL)垂直的方向移动。
Illuminator, exposure device and exposure method for exposure
Includes a lamp unit (60) is arranged; a plurality of lens element matrix of P rows and Q columns of the fly eye lens (65A) (65); including the mirror changes the shape of the reflector deformation unit (70) of the plane mirror (68); and the filter (90), which has arrangement of P: 2 ~ p+2, 2 ~ Q matrix with q+2 columns, and each having a plurality of unit with a transmittance distribution (91), a filter (90) arranged in the lamp unit (60) and fly eye lens (65), and in the light path (EL the vertical direction of mobile).
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】曝光用照明装置、曝光装置和曝光方法
本专利技术涉及曝光用照明装置、曝光装置和曝光方法。
技术介绍
在以往的曝光装置中，存在补正反射镜的曲率的曲率补正机构设置在照明装置的曝光装置，通过使反射镜弯曲并使反射镜的偏角变化，从而补正曝光图案的形状，得到高精度的曝光结果(例如参照专利文献1)。另外，在专利文献2所记载的曝光装置中，公开了：为了对应光学系统的随着时间劣化，而包括具备多个液晶单元的照度分布补正滤波器，控制各液晶单元并补正照度分布来补正滤波器的透光率分布，迅速更新照射到蝇眼透镜的多个透镜元件的光的照度分布，使照射到中间掩模的光的照度分布均匀。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-155086号公报专利文献2：日本特开2006-210553号公报
技术实现思路
本专利技术欲解决的问题可是，若利用曲率补正机构(镜弯曲机构)来补正反射镜的曲率，则在反射镜的反射面变为凸面状的部分，反射光发散且照度下降(变暗)，在反射镜的反射面变为凹面状的部分，反射光会聚且照度提高(变亮)，曝光面的照度分布会产生不均，有可能给曝光精度带来影响。专利文献2所记载的曝光装置是控制照度分布补正滤波器的各液晶单元并使照射到中间掩模的光的照度分布均匀的装置，没有提及反射镜的曲率补正引起的照度分布的不均。本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种曝光用照明装置、曝光装置和曝光方法，能够利用滤光器来抑制镜弯曲引起的在曝光面的照度分布的不均。用于解决问题的方案本专利技术的上述目的由下述的构成实现。(1)一种曝光用照明装置，包括：光源；蝇眼透镜，其具有排列为p行、q列(p、q是整数)的矩阵状的多个透镜元件，使来自所述光源的光均匀地射出；以及反射镜，其包括能变更反射面的形状的镜弯曲机构，将从所述蝇眼透镜射出的所述光反射，经由形成有曝光图案的掩模，将来自所述光源的曝光光照射在工件上，将所述曝光图案曝光转印在所述工件，所述曝光用照明装置的特征在于，还包括滤光器，所述滤光器配置在所述光源与所述蝇眼透镜之间，能变更在曝光面的照度分布，所述滤光器具有排列为p-2～p+2行、q-2～q+2列的矩阵状，并分别具有透光率分布的多个单元，所述滤光器能在与所述光的光轴垂直的方向移动。(2)如(1)所述的曝光用照明装置，其特征在于，所述滤光器具有排列为p+2行、q+2列的矩阵状的所述多个单元。(3)如(2)所述的曝光用照明装置，其特征在于，在所述滤光器的周围配置的2行所述单元被设计为在列方向的尺寸成为在所述滤光器的内部配置的所述单元的一半以上，在所述滤光器的周围配置的2列所述单元被设计为在行方向的尺寸成为在所述滤光器的内部配置的所述单元的一半以上。(4)如(1)所述的曝光用照明装置，其特征在于，所述滤光器具有排列为p+1行、q+1列的矩阵状的所述多个单元。(5)如(1)～(4)的任一项所述的曝光用照明装置，其特征在于，所述各单元具有分别相同的透光率分布，所述滤光器根据所述反射镜的反射面的形状，在与所述光的光轴垂直的方向移动，使得在所述曝光面的照度分布变得均匀。(6)如(5)所述的曝光用照明装置，其特征在于，所述各单元具有从中心部向着周边部透光率逐渐提高的透光率分布。(7)如(1)～(6)的任一项所述的曝光用照明装置，其特征在于，所述滤光器能够沿着所述光的光轴移动。(8)如(1)～(7)的任一项所述的曝光用照明装置，其特征在于，多个所述滤光器沿着所述光的光轴并列配置。(9)一种曝光装置，其特征在于，包括：掩模支承部，支承掩模；工件支承部，支承工件；以及(1)～(8)的任一项所述的曝光用照明装置，将来自所述光源的曝光光经由所述掩模照射在所述工件，从而将所述掩模的曝光图案曝光转印在所述工件。(10)一种曝光方法，其特征在于，使用(9)所述的曝光装置，将来自所述光源的曝光光经由所述掩模照射在所述工件，从而将所述掩模的曝光图案曝光转印在所述工件。(11)如(10)所述的曝光方法，其特征在于，在将来自所述光源的曝光光经由所述掩模照射在所述工件期间，使所述滤光器在与所述光的光轴垂直的方向移动。专利技术的效果根据本专利技术的曝光用照明装置，包括：光源；具有排列为p行、q列的矩阵状的多个透镜元件的蝇眼透镜；包括变更反射面的形状的镜弯曲机构的反射镜；以及滤光器，其具有排列为p-2～p+2行、q-2～q+2列的矩阵状，并分别具有透光率分布的多个单元，滤光器配置在光源与蝇眼透镜之间并能在与光轴垂直的方向移动。由此，能够使滤光器在与光轴垂直的方向移动，补正曝光面的照度分布的不均。其结果是，能够利用滤光器来抑制镜弯曲机构所进行的反射面的形状变更引起的曝光面的照度分布的不均。另外，根据本专利技术的曝光装置和曝光方法，由于包括：被掩模支承部支承的掩模；被工件支承部支承的工件；以及曝光用照明装置，该曝光用照明装置具有能补正镜弯曲机构所进行的反射面的形状变更引起的曝光面的照度分布的不均的滤光器，将由滤光器补正的来自光源的曝光光经由掩模照射在工件并将曝光图案曝光转印在工件，因此，得到高精度的曝光结果。附图说明图1是本专利技术所涉及的曝光装置的主视图。图2是示出本专利技术所涉及的照明装置的构成的图。图3(a)是示出照明装置的蝇眼透镜和滤光器的立体图，(b)是具有同一透光率分布，由矩阵配置的多个单元构成的滤光器的平面图。图4(a)是示出照明装置的反射镜支承构造的平面图，(b)是沿着(a)的IV-IV线的剖视图，(c)是沿着(a)的IV′-IV′线的剖视图。图5(a)是示出利用滤光器将从光源部射出的大致均匀的照度的光补正并射入到蝇眼透镜的各透镜元件的情况下的从各透镜元件射出的光的在曝光面的照度的图，(b)是示出在曝光面的整体照度的图像的图。图6(a)是示出镜弯曲机构对照射区域进行了梯形补正的情况下的曝光面的照度分布的平面图，(b)是示出补正后的曝光面的照度分布的平面图。图7是示出用于补正图6(a)所示的照度分布的滤光器与蝇眼透镜的位置关系的平面图。图8(a)是示出镜弯曲机构对照射区域进行了桶形补正的情况下的曝光面的照度分布的平面图，(b)是示出补正后的曝光面的照度分布的平面图。图9是示出用于补正图8(a)所示的照度分布的滤光器与蝇眼透镜的位置关系的平面图。图10(a)是示出镜弯曲机构对照射区域进行了绕线轴形补正的情况下的曝光面的照度分布的平面图，(b)是示出补正后的曝光面的照度分布的平面图。图11是示出用于补正图10(a)所示的照度分布的滤光器与蝇眼透镜的位置关系的放大图。图12(a)是示出与反射面的曲率半径小的区域对应的部分的照度变高的曝光面的照度分布的平面图，(b)是示出补正后的曝光面的照度分布的平面图。图13是将滤光器的第1变形例与蝇眼透镜的位置关系共同示出的平面图。图14是将滤光器的第2变形例与蝇眼透镜的位置关系共同示出的平面图。图15(a)是将滤光器的第3变形例与蝇眼透镜的位置关系共同示出的平面图，(b)是将滤光器的第4变形例与蝇眼透镜的位置关系共同示出的平面图。图16是滤光器的第5变形例的平面图。附图标记的说明1：掩模台(掩模支承部)2：工件台(工件支承部)3：照明装置(曝光用照明装置)60：灯单元(光源)65：蝇眼透镜65a：透镜元件68：平面镜(反射镜)70：镜变形单元(镜弯曲机构)90：滤光器91本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种曝光用照明装置，包括：光源；蝇眼透镜，其具有排列为p行、q列(p、q是整数)的矩阵状的多个透镜元件，使来自所述光源的光均匀地射出；以及反射镜，其包括能变更反射面的形状的镜弯曲机构，将从所述蝇眼透镜射出的所述光反射，经由形成有曝光图案的掩模，将来自所述光源的曝光光照射在工件上，将所述曝光图案曝光转印在所述工件，所述曝光用照明装置的特征在于，还包括滤光器，所述滤光器配置在所述光源与所述蝇眼透镜之间，能变更在曝光面的照度分布，所述滤光器具有排列为p‑2～p+2行、q‑2～q+2列的矩阵状，并分别具有透光率分布的多个单元，所述滤光器能在与所述光的光轴垂直的方向移动。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.05.26 JP 2015-1060491.一种曝光用照明装置，包括：光源；蝇眼透镜，其具有排列为p行、q列(p、q是整数)的矩阵状的多个透镜元件，使来自所述光源的光均匀地射出；以及反射镜，其包括能变更反射面的形状的镜弯曲机构，将从所述蝇眼透镜射出的所述光反射，经由形成有曝光图案的掩模，将来自所述光源的曝光光照射在工件上，将所述曝光图案曝光转印在所述工件，所述曝光用照明装置的特征在于，还包括滤光器，所述滤光器配置在所述光源与所述蝇眼透镜之间，能变更在曝光面的照度分布，所述滤光器具有排列为p-2～p+2行、q-2～q+2列的矩阵状，并分别具有透光率分布的多个单元，所述滤光器能在与所述光的光轴垂直的方向移动。2.如权利要求1所述的曝光用照明装置，其特征在于，所述滤光器具有排列为p+2行、q+2列的矩阵状的所述多个单元。3.如权利要求2所述的曝光用照明装置，其特征在于，在所述滤光器的周围配置的2行所述单元被设计为：在列方向的尺寸成为在所述滤光器的内部配置的所述单元的一半以上，在所述滤光器的周围配置的2列所述单元被设计为：在行方向的尺寸成为在所述滤光器的内部配置的所述单元的一半以上。4.如权利要求1所述的曝光用照明装置，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：川岛洋德，
申请(专利权)人：株式会社V技术，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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