一种基板清洗设备的清洗组件的制造方法技术

本发明专利技术涉及清洗技术领域，尤其涉及一种基板清洗设备的清洗组件的制造方法。步骤如下：1)、结构及分别加工：清洗组件，包括设置在机架内基板上方的喷淋头、吹风口，喷淋头通过水泵与水箱相连，吹风口与风机相连；喷淋头、吹风口的材质为SUS304不锈钢，水泵、水箱以及风机均由现有技术制备；2)、前处理：将喷淋头、吹风口置于槽液中浸泡至少10分钟，取出后置于真空干燥箱中干燥；3)、后续组装成型：首先将喷淋头通过连接与水泵安装固定，再将水泵与水箱连通，最后将出风口与风机连通即可。本发明专利技术的一种基板清洗设备的清洗组件及其制造方法，通过对吹风口和喷淋头进行前处理，从而提高其耐腐蚀性，继而延长清洗组件的使用寿命。

A manufacturing method for a cleaning component of a substrate cleaning device

The invention relates to the field of cleaning technology, in particular to a method for manufacturing a cleaning component of a substrate cleaning device. The steps are as follows: 1), respectively: cleaning structure and processing components, including blowing air shower head, above a substrate in a frame, a spray head of water pump and water tank connected to the air inlet is connected with a blower; a spray head and a blowing port is made of SUS304 stainless steel, water pump, water tank and the blower are existing preparation technology; 2), before treatment: spray head, blowing mouth is arranged at the bath soak for at least 10 minutes, after taking out in a vacuum drying box for drying; 3) and subsequent assembly forming: first spray head connected by a fixed installation and water pump, the water pump is connected to the water tank, the outlet and the the fan can be connected. The cleaning component and manufacturing method of a substrate cleaning device of the invention are pre processed by blowing the air outlet and spraying head, thereby improving its corrosion resistance and prolonging the service life of the cleaning component.

【技术实现步骤摘要】
一种基板清洗设备的清洗组件的制造方法
本专利技术涉及清洗
，尤其涉及一种基板清洗设备的清洗组件的制造方法。
技术介绍
在显示面板制作过程中，需要对玻璃基板进行清洗，现有的清洗方法通常为喷水冲淋，但冲淋后会有水滴残留在玻璃基板上，容易造成制程不良，或再次污染。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种基板清洗设备，能够提升清洗效率，防止水滴残留。同时，本专利技术还提供了一种基板清洗设备的清洗组件及其制造方法。为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：一种基板清洗设备，包括：机架、设于所述机架上的多个平行间隔排列的传送辊、设于所述传送辊上的传送带、设于所述传送带上的基板载台、设于所述机架上的位于所述传送带上方的喷淋头、设于所述机架上的位于所述传送带上方的吹风口、与所述喷淋头相连的水泵、与所述水泵相连的水箱、与所述吹风口相连的风机、以及设于所述传送带上与所述喷淋头和吹风口分别对应的第一光栅和第二光栅；所述喷淋头与所述吹风口间隔设置。所述吹风口相对于所述竖直方向倾斜设置。所述喷淋头通过一竖直的连接管与所述水泵连通，所述喷淋头能够围绕所述连接管旋转。一种基板清洗设备的清洗组件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板清洗设备的清洗组件的制造方法，其特征在于，步骤如下：1)、结构及分别加工清洗组件，包括设置在机架内基板上方的喷淋头、吹风口，喷淋头通过水泵与水箱相连，吹风口与风机相连；喷淋头、吹风口的材质为SUS304不锈钢，水泵、水箱以及风机均由现有技术制备；2)、前处理将喷淋头、吹风口置于槽液中浸泡至少10分钟，取出后置于真空干燥箱中干燥；槽液组分为：阻燃剂3.5份、固化剂2.5份、石油醚12份、饱和羟基聚酯树脂22份、柏子仁酯0.5份；3)、后续组装成型首先将喷淋头通过连接与水泵安装固定，再将水泵与水箱连通，最后将出风口与风机连通即可。

【技术特征摘要】
1.一种基板清洗设备的清洗组件的制造方法，其特征在于，步骤如下：1)、结构及分别加工清洗组件，包括设置在机架内基板上方的喷淋头、吹风口，喷淋头通过水泵与水箱相连，吹风口与风机相连；喷淋头、吹风口的材质为SUS304不锈钢，水泵、水箱以及风机均由现有技术制备；2)、前处理将...

【专利技术属性】
技术研发人员：白航空，
申请(专利权)人：合肥惠科金扬科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34