一种自动除尘过滤装置制造方法及图纸

技术编号:17071458 阅读:50 留言:0更新日期:2018-01-20 05:37
本实用新型专利技术涉及单晶硅生长炉,旨在提供一种自动除尘过滤装置。该种自动除尘过滤装置包括除尘罐体、罐盖升降机构、驱动原件、轴承、滤芯、毛刷。本实用新型专利技术可以达到拉晶十次以上进行一次拆装清理,节省了拉晶前的准备时间,同时还具有操作简便、运行时间长、除尘效率高、清理方便、降低人工的优点,提高了拉晶效率。

An automatic dedusting and filtering device

The utility model relates to a monocrystalline silicon growth furnace, which aims to provide an automatic dust removal and filtering device. The automatic dedusting and filtering device includes the dust tank body, the lifting mechanism of the tank cover, the driving original, the bearing, the filter core and the brush. The utility model can reach ten times more than pulling a dismounting and cleaning, saves the pull before preparation time, but also has the advantages of simple operation, long operation time, high efficiency, convenient cleaning, reduce labor advantages, improve the efficiency of pulling.

【技术实现步骤摘要】
一种自动除尘过滤装置
本技术是关于单晶硅生长炉领域,特别涉及一种自动除尘过滤装置。
技术介绍
单晶炉是一种电阻加热式半导体材料冶炼炉,是在惰性气体保护下,采用石墨电阻加热的方法,将多品硅熔化,用软轴直接法生长无位错单晶硅的专用设备。近年来,随着光伏太阳能行业的飞速发展,对提高单晶炉拉晶效益的需求日益扩大,特别是国内具有广阔的市场。单晶炉在拉晶过程中,抽气系统会一直将炉内的气体抽离,保持炉内气压稳定。然而气体中混有氧化物等粉尘杂质,进入到抽气系统的真空泵中会对其使用有较大的影响,及时有效去除气体中的氧化物粉尘等杂质能够提高单晶炉拉晶效益。在单晶炉拉制单晶硅过程中,抽气系统会一直处在工作状态下,使炉内气压稳定。但是,在拉晶过程中,炉内会产生一些氧化物,混在气体中由抽气系统排出炉外。当氧化物进入到抽气系统的真空泵内,会吸附在泵油中,影响泵的正常工作。现有的除尘方式为在气体抽进真空泵前经过一个除尘装置,内部固定一个网状滤芯,用来过滤氧化物粉尘等杂质。但是由于单晶炉氧化物粉尘等杂质较多,现有的滤芯在长时间工作情况下容易使氧化物粉尘等杂质吸附在滤芯上,导致气流堵塞,影响炉内气压。因此,单晶炉每完本文档来自技高网...
一种自动除尘过滤装置

【技术保护点】
一种自动除尘过滤装置,主体为除尘罐体,其特征在于,所述自动除尘过滤装置还包括罐盖升降机构、驱动原件、轴承、滤芯、毛刷;所述除尘罐体为内部中空的圆柱体结构罐体,除尘罐体的顶部通过罐盖密封;所述轴承安装在除尘罐体的旋转面的轴处,所述滤芯设置在除尘罐体内且安装在轴承上;所述驱动原件包括减速机、电机、转动轴,减速机和电机固定在罐盖上,并利用转动轴通过罐盖的孔与滤芯顶部的转轴活动连接,电机能驱动滤芯中的轴承转动,进而带动滤芯转动;所述驱动原件在罐盖升降、旋转时,能自动与滤芯顶部的转轴脱开,从而随罐盖一起升降、旋转;除尘罐体上分别开有一个进气口和一个出气口,从进气口进入的除尘罐体内的气体,能通过滤芯将杂质...

【技术特征摘要】
1.一种自动除尘过滤装置,主体为除尘罐体,其特征在于,所述自动除尘过滤装置还包括罐盖升降机构、驱动原件、轴承、滤芯、毛刷;所述除尘罐体为内部中空的圆柱体结构罐体,除尘罐体的顶部通过罐盖密封;所述轴承安装在除尘罐体的旋转面的轴处,所述滤芯设置在除尘罐体内且安装在轴承上;所述驱动原件包括减速机、电机、转动轴,减速机和电机固定在罐盖上,并利用转动轴通过罐盖的孔与滤芯顶部的转轴活动连接,电机能驱动滤芯中的轴承转动,进而带动滤芯转动;所述驱动原件在罐盖升降、旋转时,能自动与滤芯顶部的转轴脱开,从而随罐盖一起升降、旋转;除尘罐体上分别开有一个进气口和一个出气口,从进气口进入的除尘罐体内的气体,能通过滤芯将杂质过滤在除尘罐体内;所述毛刷安装在除尘罐体的内壁上,能够刷落吸附在滤芯上的杂质;除尘罐体侧面的底部还设有两个除尘口,用于...

【专利技术属性】
技术研发人员:傅林坚曹建伟孙明叶钢飞倪军夫沈兴潮
申请(专利权)人:浙江晶盛机电股份有限公司
类型:新型
国别省市:浙江,33

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