The present invention relates to an arc discharge generator and a membrane formation method. The arc discharge device uses the power supply device to electrify the evaporation source, so that the evaporation source acts as a negative pole to make the impact plate contact with the evaporation source and then separate the impact plate from the evaporation source, so as to generate arc discharge in the chamber. When the arc discharge in the chamber is extinguished, the arc discharge device causes the impactor to contact the evaporation source, and uses the power supply device to power the evaporation source when the impactor plate contacts with the evaporation source.
【技术实现步骤摘要】
电弧放电发生装置及膜形成方法
本专利技术涉及一种在腔室中发生电弧放电的电弧放电发生装置以及一种用于利用电弧离子镀方法在工件上形成膜的方法。
技术介绍
第2011-138671号日本特许专利公报公开一种利用电弧离子镀方法在工件上形成膜的膜形成装置的示例。在该膜形成装置中,电源装置使蒸发源通电,使得蒸发源充当负极。此外,使撞击器与蒸发源接触并且然后立即与蒸发源分开,以产生电火花。在腔室中,在充当负极的蒸发源和正极之间发生电弧放电。通过电弧放电而从蒸发源发射离子。以此方式,当从蒸发源发射的离子沉积在工件上时,在工件上形成膜。当撞击器未产生电火花时,撞击器在与蒸发源分开的退避位置处等待。通常,使蒸发源通电的电源装置包括多种类型的电路元件,诸如电阻器和线圈。在该构造中,当电源装置使蒸发源断电以熄灭腔室中所发生的电弧放电时,在线圈处产生高压,并且该高压被施加到蒸发源。如果不被充分绝缘的腔室的壁表面的一部分位于接近蒸发源处,则可在该部分和蒸发源之间发生电弧放电。
技术实现思路
本专利技术的目标是提供在电源装置使蒸发源断电以熄灭腔室中所发生的电弧放电时限制在蒸发源和腔室的壁表面的一部分之间的电弧放电的发生的电弧放电发生装置和膜形成方法。为了解决以上问题,根据本专利技术的第一方面的电弧放电发生装置包括:蒸发源,所述蒸发源位于腔室中;撞击器,所述撞击器被构造成能够在腔室中移动;致动器,所述致动器驱动并且移动撞击器;电源装置,所述电源装置使蒸发源通电;以及控制器,所述控制器控制致动器和电源装置。控制器利用电源装置来使蒸发源通电,使得蒸发源充当负极,并且控制器控制致动器以使撞击器接触 ...
【技术保护点】
一种电弧放电发生装置,包括:蒸发源,所述蒸发源位于腔室中;撞击器,所述撞击器被构造成能够在所述腔室中移动;致动器,所述致动器驱动并且移动所述撞击器;电源装置,所述电源装置使所述蒸发源通电;以及控制器,所述控制器控制所述致动器和所述电源装置,其中所述控制器利用所述电源装置来使所述蒸发源通电,使得所述蒸发源充当负极,并且所述控制器控制所述致动器以使所述撞击器接触所述蒸发源并且然后使所述撞击器与所述蒸发源分开,以在所述腔室中发生电弧放电并且通过所述电弧放电从所述蒸发源发射离子,并且当熄灭所述腔室中发生的电弧放电时,所述控制器控制所述致动器以使所述撞击器接触所述蒸发源并且在所述撞击器与所述蒸发源接触的情形下利用所述电源装置来使所述蒸发源断电。
【技术特征摘要】
2016.07.07 JP 2016-1350771.一种电弧放电发生装置,包括:蒸发源,所述蒸发源位于腔室中;撞击器,所述撞击器被构造成能够在所述腔室中移动;致动器,所述致动器驱动并且移动所述撞击器;电源装置,所述电源装置使所述蒸发源通电;以及控制器,所述控制器控制所述致动器和所述电源装置,其中所述控制器利用所述电源装置来使所述蒸发源通电,使得所述蒸发源充当负极,并且所述控制器控制所述致动器以使所述撞击器接触所述蒸发源并且然后使所述撞击器与所述蒸发源分开,以在所述腔室中发生电弧放电并且通过所述电弧放电从所述蒸发源发射离子,并且当熄灭所述腔室中发生的电弧放电时,所述控制器控制所述致动器以使所述撞击器接触所述蒸发源并且在所述撞击器与所述蒸发源接触的情形下利用所述电源装置来使所述蒸发源断电。2.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:佐藤贵康,佐藤羊治,橘和孝,
申请(专利权)人:丰田自动车株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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