压电元件制造技术

本发明专利技术涉及一种压电元件，在该压电元件中，制作压电元件的过程中在烧成的时候产生于非活性部的内部应力或从外部被附加到非活性部的应力由第1通孔导体下面的低洼部和第2通孔导体上面的低洼部而被缓和。由此，例如通孔导体的变形或断裂等被抑制，并且发生电极层或通孔导体的导通不良或断线的事态被抑制。而且，在非活性部分中，因为压电体层的突部进入到通孔导体的低洼部，所以相对于通孔导体的压电体层的保持力增加，并且通孔导体的变形被抑制或者被阻碍。

Piezoelectric element

The invention relates to a piezoelectric element in the piezoelectric element, the internal production process of piezoelectric elements when firing from an active portion of stress or stress from the outside is attached to an active portion from the first through hole conductor below the low-lying and second low-lying through hole the above is to ease the conductor. Thus, for example, the deformation or fracture of the through hole conductor is suppressed, and the state of the negative or broken line of the electrode layer or through hole conductor is suppressed. Moreover, in the inactive part, because the tip of the piezoelectric layer enters the low-lying part of the through-hole conductor, the holding force of the piezoelectric layer relative to the through hole conductor increases, and the deformation of the through hole conductor is suppressed or blocked.

【技术实现步骤摘要】
压电元件
本专利技术涉及压电元件。
技术介绍
一直以来，作为压电元件已知薄型的层叠型压电元件。在这样的压电元件中，表面电极或内部电极等电极层之间通过侧面电极或者被贯穿设置于压电体层的通孔导体来谋求导通。上述的侧面电极一般是由烧结或溅射、蒸镀等来设置于素体的侧面的，像这样的侧面电极因为露出于外部所以容易因外部因素而破损或劣化。另外，由于上述的通孔导体位于素体的内部，所以相对于外部因素具有较高的耐受性。在日本专利特开2004-207340号公报(引用文献1)中，公开有通过通孔导体来谋求电极之间的导通的致动器(actuator)。
技术实现思路
根据本公开，能够提供一种能够谋求到连接可靠性的提高的压电元件。本专利技术的一个侧面所涉及的压电元件是一种具备电极层和压电体层被交替层叠的层叠体的压电元件；层叠体具有包含被贯穿设置在被重叠于电极层的一面上的第1压电体层的第1通孔导体、和被贯穿设置在重叠于该电极层的另一面上的第2压电体层的第2通孔导体的层叠部分；在层叠部分中，第1通孔导体在第2压电体层侧的端面上具有第1低洼部，并且第2压电体层具有进入到第1低洼部的突部，第2通孔导体在第1压电体层侧的端面上具有第2低洼部，并且第1压电体层具有进入到第2低洼部的突部。在上述压电元件的层叠部分中，在该层叠部分的内部产生应力或从外部附加应力时，该应力通过电极层的一面侧的第1通孔导体的第1低洼部以及电极层的另一面侧的第2通孔导体的第2低洼部而被缓和。由此，在上述层叠部分中，发生电极层或通孔导体的导通不良或断线的事态被抑制。而且，上述层叠部分中，第2压电体层的突部进入到第1通孔导体的第1低洼部，并且第1压电体层的突部进入到第2通孔导体的第2低洼部，从而相对于各个通孔导体的压电体层的保持力增加。由此，各个通孔导体的位移或变形被抑制，并且进一步抑制了在上述层叠部分发生导通不良或断线的事态。本专利技术的另一个侧面所涉及的压电元件具有在施加电压的时候压电体层中产生电场而变形的活性部、在施加电压的时候压电体层中不产生电场的非活性部，层叠部分位于非活性部，从层叠体的层叠方向观察，第1通孔导体和第2通孔导体沿着活性部和非活性部的排列方向相邻接。活性部在极化时或在驱动时发生变形，伴随于该活性部变形的应力和形变等被附加于非活性部。但是，上述层叠部分中，由于第1通孔导体在第2压电体层侧的端面上具有第1低洼部并且第2通孔导体在第1压电体层侧的端面上具有第2低洼部，所以上述的应力或形变被缓和，由此，在上述层叠部分中的发生导通不良或断线的事态被抑制。本专利技术的另一个侧面所涉及的压电元件中，第1通孔导体的厚度薄于第1压电体层的厚度，或者，第2通孔导体的厚度薄于第2压电体层的厚度。本专利技术的一个侧面所涉及的压电元件具备具有层叠部分的层叠体，所述层叠部分包含一对电极层、介于该一对电极层之间的压电体层和被贯穿设置于该压电体层的通孔导体，在层叠部分具有接近于通孔导体的空隙。上述压电元件中，在层叠部分接近于通孔导体的空隙缓和了通孔导体周边的应力或形变。由此，在上述层叠部分发生电极层或通孔导体的导通不良或断线的事态被抑制。本专利技术的另一个侧面所涉及的压电元件具有在施加电压的时候压电体层中产生电场而变形的活性部、和在施加电压的时候压电体层中不产生电场的非活性部，层叠部分位于非活性部。活性部因为在极化时或在驱动时发生变形，所以为了极力回避伴随于该变形的应力或形变的影响，包含通孔导体的层叠部分位于非活性部。本专利技术的另一个侧面所涉及的压电元件其通孔导体的端面的面积小于层叠体的层叠方向上的通孔导体的中心位置处的截面的面积。如果由这样的尺寸形状的通孔导体，则被附加于层叠部分的应力或形变被缓和。本专利技术的一个侧面所涉及的压电元件具备具有层叠部分的层叠体，所述层叠部分包含一对电极层、介于该一对电极层之间的压电体层、被贯穿设置于该压电体层的通孔导体，该层叠部分中，通孔导体的层叠体的层叠方向上的两个端部分别形成有低洼部。上述压电元件中，因为在通孔导体的两端部形成互相靠近的低洼部，所以通孔导体的层叠体的层叠方向上的长度在两端部的低洼部相对的部分处变短。因为电阻值与导体的长度成比例，所以通过如上所述通孔导体的长度变短从而电阻被降低。由此，在通孔导体上发生导通不良的事态被抑制，并且能够谋求压电元件的连接可靠性的提高。本专利技术的另一个侧面所涉及的压电元件具有在施加电压的时候压电体层中产生电场而变形的活性部、在施加电压的时候压电体层中不产生电场的非活性部，层叠部分位于非活性部。活性部因为在极化时或在驱动时发生变形，所以为了极力回避伴随于该变形的应力或形变的影响，因而包含通孔导体的层叠部分要位于非活性部。本专利技术的另一个侧面所涉及的压电元件其压电体层具有进入到通孔导体的低洼部的突部。在此情况下，相对于通孔导体的压电体层的保持力增加。由此，就抑制了通孔导体的位移或变形，并且抑制了在上述层叠部分上发生导通不良或断线的事态。本专利技术的另一个侧面所涉及的压电元件其通孔导体的两端部的端面面积小于层叠体的层叠方向上的通孔导体的中心位置处的截面面积。通过这样的尺寸形状的通孔导体，附加于层叠部分的应力或形变被缓和。本专利技术的一个侧面所涉及的压电元件具备具有层叠部分的层叠体，所述层叠部分包含一对电极层、介于该一对电极层之间的压电体层、被贯穿设置于该压电体层的通孔导体，通孔导体包含加宽部分，所述加宽部分的垂直于层叠体的层叠方向的截面的面积大于通孔导体的层叠体的层叠方向上的端面的面积。在上述压电元件中，相对于通孔导体附加了层叠体的层叠方向的形变的时候，该形变被加宽部分抑制。因此，与具有不包含加宽部分的通孔导体的现有压电元件相比，上述压电元件能够抑制发生电极层或通孔导体的导通不良或断线的事态。本专利技术的另一个侧面所涉及的压电元件具有在施加电压的时候压电体层中产生电场而变形的活性部、在施加电压的时候压电体层中不产生电场的非活性部，层叠部分位于非活性部。活性部因为在极化时或在驱动时发生变形，所以为了极力回避伴随于该变形的应力或形变的影响而包含通孔导体的层叠部分要位于非活性部。本专利技术的另一个侧面所涉及的压电元件其通孔导体的加宽部分处于层叠体的层叠方向上的通孔导体的中心位置。另外，压电体层进入到加宽部分的突部与电极层之间。在此情况下，由于进入到加宽部分的突部与电极层之间的部分的压电体层抑制了通孔导体的形变，所以能够进一步抑制在上述层叠部分发生导通不良或断线的事态。本专利技术的一个侧面所涉及的压电元件是一种具备电极层和压电体层被交替层叠的层叠体的压电元件；层叠体具有包含被贯穿设置在被重叠于电极层的一面上的第1压电体层的第1通孔导体、被贯穿设置在重叠于该电极层的另一面上的第2压电体层的第2通孔导体的层叠部分；在层叠部分中，第1通孔导体在第2压电体层侧的端面上具有第1低洼部，并且第2压电体层具有进入到第1低洼部的突部，第2通孔导体在第1压电体层侧的端面上具有第2低洼部，并且第1压电体层具有进入到第2低洼部的突部，并且具有接近于第1通孔导体的第1低洼部以及第2通孔导体的第2低洼部中的至少一方的至少一个空隙。上所述压电元件的层叠部分中，在该层叠部分的内部产生应力或从外部附加应力时，该应力通过电极层的一面侧的第1通孔导体的第1低洼部以及电极层的另一面侧的第2通孔导体的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电元件，其特征在于：该压电元件具备电极层和压电体层被交替层叠的层叠体，所述层叠体具有包含被贯穿设置在重叠于所述电极层的一面上的第1压电体层的第1通孔导体、和被贯穿设置在重叠于该电极层的另一面上的第2压电体层的第2通孔导体的层叠部分，在所述层叠部分中，所述第1通孔导体在所述第2压电体层侧的端面上具有第1低洼部，并且所述第2压电体层具有进入到所述第1低洼部的突部，所述第2通孔导体在所述第1压电体层侧的端面上具有第2低洼部，并且所述第1压电体层具有进入到所述第2低洼部的突部。

【技术特征摘要】
2016.07.07 JP 2016-135277;2016.07.07 JP 2016-135271.一种压电元件，其特征在于：该压电元件具备电极层和压电体层被交替层叠的层叠体，所述层叠体具有包含被贯穿设置在重叠于所述电极层的一面上的第1压电体层的第1通孔导体、和被贯穿设置在重叠于该电极层的另一面上的第2压电体层的第2通孔导体的层叠部分，在所述层叠部分中，所述第1通孔导体在所述第2压电体层侧的端面上具有第1低洼部，并且所述第2压电体层具有进入到所述第1低洼部的突部，所述第2通孔导体在所述第1压电体层侧的端面上具有第2低洼部，并且所述第1压电体层具有进入到所述第2低洼部的突部。2.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于：具有在施加电压的时候在压电体层产生电场而变形的活性部、和在施加电压的时候在压电体层不产生电场的非活性部，所述层叠部分位于所述非活性部，从所述层叠体的层叠方向观察，所述第1通孔导体和所述第2通孔导体沿着所述活性部和所述非活性部的排列方向相邻接。3.如权利要求1或者2所述的压电元件，其特征在于：所述第1通孔导体的厚度薄于所述第1压电体层的厚度，或者，所述第2通孔导体的厚度薄于所述第2压电体层的厚度。4.一种压电元件，其特征在于：具备具有层叠部分的层叠体，所述层叠部分包含一对电极层、介于该一对电极层之间的压电体层、被贯穿设置于该压电体层的通孔导体，在所述层叠部分具有接近于所述通孔导体的空隙。5.如权利要求4所述的压电元件，其特征在于：具有在施加电压的时候在压电体层产生电场而变形的活性部、和在施加电压的时候在压电体层不产生电场的非活性部，所述层叠部分位于所述非活性部。6.如权利要求4或者5所述的压电元件，其特征在于：所述通孔导体的端面的面积小于所述层叠体的层叠方向上的所述通孔导体的中心位置处的截面的面积。7.一种压电元件，其特征在于：具备具有层叠部分的层叠体，所述层叠部分包含一对电极层、介于该一对电极层之间的压电体层和被贯穿设置于该压电体层的通孔导体，在所述层叠部分中，所述通孔导体的所述层叠体的层叠方向上的两个端部分别形成有低洼部。8.如权利要求7所述的压电元件，其特征在于：具有在施加电压的时候在压电体层产生电场而变形的活性部和在施加电压的时候在压电体层不产生电场的非活性部，所述层叠部分位于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：太田佳生，佐佐木诚志，太田义明，毛塚贵大，稻叶胜也，佐藤琳，立本一志，井上正良，小松雄三，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP