一种低辐射镀膜生产线用破空装置制造方法及图纸

一种低辐射镀膜生产线用破空装置，其特征在于：包括供连接需破空的腔体的接口（1）、手动阀（2）、第一气动或电动或电磁阀（3）、过滤器（4）、第二气动或电动或电磁阀（5）、干燥压缩空气罐（6）以及连接管道；供连接需破空的腔体的接口（1）经连接管道连接手动阀（2）的一端，手动阀（2）的另一端经分为两路，其中一路经第一气动或电动或电磁阀（3）连接至过滤器（4）经过滤器（4）连通外界大气，而另一路经第二气动或电动或电磁阀（5）连接干燥压缩空气罐（6）。本实用新型专利技术工作原理简单，全自动化，方便安全，可以通过两种方式满足充气破空要求，同时还可以满足破空频率的不同要求，为低辐射镀膜生产线生产提供了保证。

【技术实现步骤摘要】
一种低辐射镀膜生产线用破空装置
本技术涉及一种低辐射镀膜生产线用破空装置。
技术介绍
低辐射镀膜生产线是连续型工作设备，由锁室，缓冲室，过渡室和镀膜室四部分组成。锁室的工作原理是基板进入锁室前，锁室内充入空气或干燥压缩空气达正常大气压，翻板阀开启，基板进入锁室内，翻板阀关闭，真空泵开启，将锁室抽至一定的真空度，基板继续前进。锁室需要破空和抽真空往复进行。破空过程充入空气需要干净、无尘，否则影响基板表面质量，生产出的膜系容易脱落。
技术实现思路
本技术目的是提供一种低辐射镀膜生产线用破空装置，以满足低辐射磁控溅射镀膜玻璃生产线的破真空需要。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种低辐射镀膜生产线用破空装置，包括供连接需破空的腔体的接口、手动阀、第一气动或电动或电磁阀、过滤器、第二气动或电动或电磁阀、干燥压缩空气罐以及连接在上述部件间的连接管道；所述供连接需破空的腔体的接口经连接管道连接手动阀的一端，手动阀的另一端经分为两路，其中一路经第一气动或电动或电磁阀连接至过滤器经过滤器连通外界大气，而另一路经第二气动或电动或电磁阀连接干燥压缩空气罐。上述方案中，所述过滤器由外套、多孔管以及过滤海本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低辐射镀膜生产线用破空装置，其特征在于：包括供连接需破空的腔体的接口（1）、手动阀（2）、第一气动或电动或电磁阀（3）、过滤器（4）、第二气动或电动或电磁阀（5）、干燥压缩空气罐（6）以及连接在上述部件间的连接管道；所述供连接需破空的腔体的接口（1）经连接管道连接手动阀（2）的一端，手动阀（2）的另一端经分为两路，其中一路经第一气动或电动或电磁阀（3）连接至过滤器（4）经过滤器（4）连通外界大气，而另一路经第二气动或电动或电磁阀（5）连接干燥压缩空气罐（6）。

【技术特征摘要】
1.一种低辐射镀膜生产线用破空装置，其特征在于：包括供连接需破空的腔体的接口（1）、手动阀（2）、第一气动或电动或电磁阀（3）、过滤器（4）、第二气动或电动或电磁阀（5）、干燥压缩空气罐（6）以及连接在上述部件间的连接管道；所述供连接需破空的腔体的接口（1）经连接管道连接手动阀（2）的一端，手动阀（2）的另一端经分为两路，其中一路经第一气动或电动或电磁阀（3）连接至过滤器（4）经过滤器（4）连通外界大气，而另一路经第二气动或电动或电磁阀（5）连接干燥压缩空气罐（6）。2.根据权利要求1所述低辐射镀膜生产线用破空装置，其特征在于：所述过滤器（4）由外套、多孔管以及过滤海绵组成，所述外套为一筒状体，其周壁上分布有多孔；所述多孔管穿置于外套内，多孔管为管壁上开设有多孔的管道，多孔管的一端通出作为过滤器（4）的接口；所述过滤海绵填充在外套与多孔管之间。3.根据权利要求1所述低辐射镀膜生产线用破空装置，其特征在于：所述需破空的腔体的接口（1）、手动阀（2）、第一气动或电动或电磁阀（3）、过滤器（4）为两个，一个供连接需破空的腔体的接口...

【专利技术属性】
技术研发人员：臧晓良，张山山，邱宏，刘云南，罗雨潇，陈贵云，刘宇，郁佳笛，
申请(专利权)人：中建材光电装备太仓有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32