一种硅片烘干用烘箱制造技术
【技术实现步骤摘要】
一种硅片烘干用烘箱
本专利技术涉及光伏领域，尤其涉及一种硅片烘干用烘箱。
技术介绍
目前，硅片在切割清洗过后，需将其烘干，现有市场上用于硅片烘干的烘箱大多存在结构复杂、不易维护的问题，且在对硅片进行烘干处理时，易造成硅片表面氧化，影响硅片的品质，由此，急需解决。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对上述问题，提供一种硅片烘干用烘箱，以解决现有硅片烘箱结构复杂，维护不便的问题，以及现有硅片烘箱在对硅片进行烘干处理时，易造成硅片表面氧化的问题。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现：一种硅片烘干用烘箱，包括箱体，所述箱体的内壁上设置有多个用于加热的红外线灯，箱体的底部开有抽真空孔，并通过气管与真空泵相连接。作为本专利技术的一种优选方案，所述箱体设置有夹层，所述夹层内填充有保温材料。作为本专利技术的一种优选方案，所述保温材料为保温棉。本专利技术的有益效果为，所述一种硅片烘干用烘箱采用红外线灯进行加热，不仅结构简单，易于实现，且便于维护，此外，通过增设抽真空孔，从而可实现在真空环境下对硅片烘干，有效避免硅片表面氧化。附图说明图1为本专利技术一种硅片烘干用烘箱的结构示意图。...
【技术保护点】
一种硅片烘干用烘箱，其特征在于：包括箱体，所述箱体的内壁上设置有多个用于加热的红外线灯，箱体的底部开有抽真空孔，并通过气管与真空泵相连接。
【技术特征摘要】
1.一种硅片烘干用烘箱，其特征在于：包括箱体，所述箱体的内壁上设置有多个用于加热的红外线灯，箱体的底部开有抽真空孔，并通过气管与真空泵相连接。2.根据权利要求1...
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