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本发明公开一种硅片烘干用烘箱，包括箱体，所述箱体的内壁上设置有多个用于加热的红外线灯，箱体的底部开有抽真空孔，并通过气管与真空泵相连接。所述一种硅片烘干用烘箱采用红外线灯进行加热，不仅结构简单，易于实现，且便于维护，此外，通过增设抽真空孔，...
该专利属于崔敏娟所有，仅供学习研究参考，未经过崔敏娟授权不得商用。

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