一种显示基板的预烘烤装置及预烘烤系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种显示基板的预烘烤装置及预烘烤系统，所述预烘烤装置包括顶板、底板、第一侧板、第二侧板、与第一侧板相对设置的第三侧板以及与第二侧板相对设置的第四侧板，所述顶板、底板、第一侧板、第二侧板、第三侧板和第四侧板共同形成有一腔室，所述第一侧板设置有窗口，所述第二侧板开设有进气孔以连接一热空气系统的供气管，所述第四侧板开设有排气孔以连接一排气系统的排气管，所述顶板的内表面设置有抗粘性的膜层。本发明专利技术的显示基板的预烘烤装置，顶板的内表面设置有抗粘性的膜层，显示基板预烘烤蒸发光阻的溶剂时，挥发出来的溶剂蒸汽不会粘附在顶板上，提高显示基板的产品良率。

【技术实现步骤摘要】
一种显示基板的预烘烤装置及预烘烤系统
本专利技术液晶显示
，尤其涉及一种显示基板的预烘烤装置及预烘烤系统。
技术介绍
在显示基板的制作工艺过程，经过光阻制作后需要进行预烘烤，把光阻内部的溶剂蒸发出来，这有利于后续的曝光和显影工序的进行。并且，随着液晶显示面板往高分辨率发展，光阻使用的颜料颗粒化以提高色彩饱和度，因为颜料颗粒变细才能够保证更高的高过滤、对比度和色度等，因此在分散颜料颗粒上，往往会添加多种调和剂以及光化剂以保证颜料颗粒的分散，同时，这在预烘烤阶段造成了更多的溶剂蒸汽，如果不能很好地排出这些溶剂蒸汽，对产品的良率会造成很大的影响。
技术实现思路
本专利技术提供了一种显示基板的预烘烤装置及预烘烤系统，能够提高显示基板的产品良率。一方面，本专利技术实施例提供了一种显示基板的预烘烤装置，该预烘烤装置的内部形成有一腔室，所述腔室的内壁设置有抗粘性的膜层，所述腔室的侧面开设有：窗口，所述窗口的表面设置有抗粘性的膜层；进气孔，用于与一热空气系统的供气管连接；排气孔，用于与一排气系统的排气管连接。进一步地，所述预烘烤装置，其特征在于，包括：底板；顶板，与所述底板相对设置，所述膜层设置于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示基板的预烘烤装置，其特征在于，所述预烘烤装置的内部设置有一腔室，所述腔室的内壁设置有抗粘性的膜层，所述腔室的侧面开设有：窗口，所述窗口的表面设置有抗粘性的膜层；进气孔，用于与热空气系统的供气管连接；排气孔，用于与排气系统的排气管连接。

【技术特征摘要】
1.一种显示基板的预烘烤装置，其特征在于，所述预烘烤装置的内部设置有一腔室，所述腔室的内壁设置有抗粘性的膜层，所述腔室的侧面开设有：窗口，所述窗口的表面设置有抗粘性的膜层；进气孔，用于与热空气系统的供气管连接；排气孔，用于与排气系统的排气管连接。2.根据权利要求1所述的预烘烤装置，其特征在于，包括：底板；顶板，与所述底板相对设置，所述膜层设置于所述顶板的内表面；第一侧板，所述窗口设置于所述第一侧板；第二侧板，与所述顶板、底板以及第一侧板连接，所述进气孔开设于所述第二侧板；第三侧板，与所述第一侧板相对设置，与所述顶板、底板、第一侧板以及第二侧板连接；第四侧板，与所述第二侧板相对设置，且与所述顶板、底板、第一侧板、第二侧板以及第三侧板共同形成所述腔室，所述排气孔开设与所述第四侧板。3.根据权利要求2所述的预烘烤装置，其特征在于，所述排气孔和进气孔的数量均为预设数量。4.根据权利要求3所述的预烘烤装置，其特征在于，所述排气孔与所述进气孔一一对准。5.根据权利要求1所述的预烘烤装置，其特征在于，所述膜层为耐酸碱的膜层。6.根据权利要求1所述的预烘烤装置，其特征在于，所述膜层由包括聚四氟乙烯的材料制成或由包...

【专利技术属性】
技术研发人员：单剑锋，
申请(专利权)人：惠科股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44