一种数字光纤合束器及利用光纤合束获取动态掩膜的方法技术

本发明专利技术实施例公开了一种数字光纤合束器及利用光纤合束获取动态掩膜的方法。数字光纤合束器的光纤合束模块包括位于数字光纤合束器两端对称分布的、结构相同的第一光纤合束和第二光纤合束，光纤合束为多束外包光纤按照预设的排列方式组合而成；光通断模块包括多个连接小室及位于连接小室狭缝内的像元开关，连接小室的数量为外包光纤总数的一半，每个连接小室用于容纳第一光纤合束的第一外包光纤内端和与第一外包光纤相应的第二光纤合束的第二外包光纤内端，且第一外包光纤内端端面与第二外包光纤内端端面间形成狭缝；封装及保护模块用于对像元开关进行封装连接和对数字光纤合束器进行保护。本申请不仅可动态获得掩膜图案，还可提高光刻的分辨率。

【技术实现步骤摘要】
一种数字光纤合束器及利用光纤合束获取动态掩膜的方法
本专利技术涉及无掩膜光刻
，特别是涉及一种数字光纤合束器及利用光纤合束获取图像的方法。
技术介绍
随着光学技术的发展，光刻技术也得到了快速的发展，光刻图案特征尺寸逐渐变小，且光刻图形结构愈趋复杂及多样化。传统的掩模光刻技术出现了制作困难和费用攀升的问题。为了降低掩模制作的成本，无掩模光刻技术诞生，例如离子/电子束直写技术，激光直写技术，但是现有的无掩膜光刻设备价格昂贵，且光刻速度较慢。数字光刻系统作为一种无掩膜光刻设备，动态掩模的核心部件为数字微反射镜，数字微反射镜为一种纯数字化空间光调制器，可实现实时、高效率和低成本的图形转移，从而实现了快速、批量化、低成本光刻。数字光刻系统在保证高端电子产品质量的前提下，尽管降低了成本，但是由于数字微反射镜由多块微镜集成，微镜间不可避免的具有缝隙，导致入射光会产生衍射现象，而反射成像会损耗一部分光能，且微镜的制作工艺极其复杂，对设备的要求极为苛刻。可见，如何在确保无掩膜光刻设备的光刻精度的基础上，简化无掩膜光刻设备的制作工艺，是本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
本专利技术实施例的目本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种数字光纤合束器，其特征在于，包括：光纤合束模块、光通断模块和封装及保护模块；其中，所述光纤合束模块包括位于数字光纤合束器两端对称分布的、结构相同的第一光纤合束和第二光纤合束，光纤合束为多束直径为微米级别的外包光纤按照预设的排列方式组合而成；所述光通断模块包括多个阵列分布的连接小室及位于每个连接小室狭缝内的像元开关，连接小室的数量为外包光纤总数的一半，每个连接小室用于容纳所述第一光纤合束的第一外包光纤内端和与所述第一外包光纤相应的所述第二光纤合束的第二外包光纤内端，且所述第一外包光纤内端端面与所述第二外包光纤内端端面间形成狭缝；通过控制像元开关的遮光散光板，以实现控制光源出射的光束经过所述第...

【技术特征摘要】
1.一种数字光纤合束器，其特征在于，包括：光纤合束模块、光通断模块和封装及保护模块；其中，所述光纤合束模块包括位于数字光纤合束器两端对称分布的、结构相同的第一光纤合束和第二光纤合束，光纤合束为多束直径为微米级别的外包光纤按照预设的排列方式组合而成；所述光通断模块包括多个阵列分布的连接小室及位于每个连接小室狭缝内的像元开关，连接小室的数量为外包光纤总数的一半，每个连接小室用于容纳所述第一光纤合束的第一外包光纤内端和与所述第一外包光纤相应的所述第二光纤合束的第二外包光纤内端，且所述第一外包光纤内端端面与所述第二外包光纤内端端面间形成狭缝；通过控制像元开关的遮光散光板，以实现控制光源出射的光束经过所述第一光纤合束是否传输至所述第二光纤合束；所述遮光散光板的中心轴与外包光纤中心轴一致；所述封装及保护模块包括封装单元和保护单元，所述封装单元封装连接所述像元开关，所述保护单元用于对所述光纤合束模块和所述光通断模块进行保护。2.如权利要求1所述的数字光纤合束器，其特征在于，所述光纤合束为多束直径为微米级别的外包光纤按照正六角形排列组成而成。3.如权利要求2所述的数字光纤合束器，其特征在于，所述外包光纤为由二氧化硅圆柱形纤芯，及折射率低于纤芯的玻璃外包层构成。4.如权利要求3所述的数字光纤合束器，其特征在于，所述外包光纤的直径为10微米。5.如权利要求1所述的数字光纤合束器，其特征在于，所述连接小室还包括吸光层，所述吸光层为涂覆在所述连接小室内部的吸光材料。6.如权利要求1至5任一项所述的数字光纤合束器，其特征在于，所述像元开关包括遮光散光板、扭转轴、微金属板、轭板、寻址电极、寻...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨彪，周金运，雷亮，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：广东,44