一种半导体激光器合束装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于半导体激光器光束合束技术领域，特别涉及一种半导体激光器合束装置。包括水冷板，T型结构的水冷板上有供光束穿过的孔，第一组半导体激光器发出光束沿x方向传播，第二组半导体激光器发出的光束沿_y方向传播并被45°小反射镜转向以与第一组半导体激光器输出的光束并排传播。第一组半导体激光器输出的光束和第二组半导体激光器输出的光束穿过供光束穿过的孔后被倾斜的小转向反射镜转向，形成传播方向平行于yz平面的以设计的角度传播的光束堆叠。光束堆叠被倾斜的大转向反射镜转向后沿平行于x轴的方向输出。本实用新型专利技术不需要阶梯板的紧凑的结构，有利于改善水冷的均匀性和减小系统体积。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体激光器合束装置
本技术属于半导体激光器光束合束
，特别涉及一种半导体激光器合束装置。
技术介绍
半导体激光器具有效率高、结构紧凑、成本低和高可靠性的优点。但是单个的半导体激光器单管输出功率较低，对多个半导体激光器单管的光束进行合束是获得高功率的方法。常见的合束技术包括：空间合束、波长合束、偏振合束等。现有技术中要通过空间合束获得高功率，需要将多个半导体激光器单管排布在水冷板上进行调节。然而，半导体激光器通常需要放在不同的垂直位置上来堆叠光束，往往会需要阶梯板。如图1所示，多个半导体激光器单管设置于阶梯板1的各阶梯上，各半导体激光器单管的光束通过快轴准直透镜3和慢轴准直透镜4进行准直，再经反射镜5转向。这种结构不仅水冷不均匀，而且体积较大。
技术实现思路
针对上述问题，本技术的目的在于提供一种半导体激光器合束装置。该装置在T形水冷板上排布多个半导体激光器单管，具有体积小、重量轻、节省水冷板材料、降低成本的优点。为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种半导体激光器合束装置，包括水冷板、第一组半导体激光器、第二组半导体激光器、第一组快轴准直透镜、第二组快轴准直透镜、第一组慢轴本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体激光器合束装置，其特征在于，包括水冷板(110)、第一组半导体激光器(120.1)、第二组半导体激光器(120.2)、第一组快轴准直透镜(154.1)、第二组快轴准直透镜(154.2)、第一组慢轴准直透镜(158.1)、第二组慢轴准直透镜(158.2)、45°小反射镜(160.2)、小转向反射镜(162)及大转向反射镜(166)，其中，所述水冷板(110)为T型结构，所述水冷板(110)的竖直板上沿水平方向设有多个供光束穿过的孔(112)；所述水冷板(110)的一水平面上排布有第一组半导体激光器(120.1)及与所述第一组半导体激光器(120.1)相对应的第一组快轴准直透镜(154....

【技术特征摘要】
1.一种半导体激光器合束装置，其特征在于，包括水冷板(110)、第一组半导体激光器(120.1)、第二组半导体激光器(120.2)、第一组快轴准直透镜(154.1)、第二组快轴准直透镜(154.2)、第一组慢轴准直透镜(158.1)、第二组慢轴准直透镜(158.2)、45°小反射镜(160.2)、小转向反射镜(162)及大转向反射镜(166)，其中，所述水冷板(110)为T型结构，所述水冷板(110)的竖直板上沿水平方向设有多个供光束穿过的孔(112)；所述水冷板(110)的一水平面上排布有第一组半导体激光器(120.1)及与所述第一组半导体激光器(120.1)相对应的第一组快轴准直透镜(154.1)和第一组慢轴准直透镜(158.1)，第一组半导体激光器输出的光束(130.1)由第一组快轴准直透镜(154.1)和第一组慢轴准直透镜(158.1)进行准直后穿过所述供光束穿过的孔(112)；所述水冷板(110)的竖直面上排布有第二组半导体激光器(120.2)及与所述第二组半导体激光器(120.2)相对应的第二组快轴准直透镜(154.2)、第二组慢轴准直透镜(158.2)及45°小反射镜(160.2)，第二组半导体激光器输出的光束(130.2)由第二组快轴准直透镜(154.2)和第二组慢轴准直透镜(158.2)进行准直后，再由45°小反射镜(160.2)反射后穿过所述供光束穿过的孔(112)；所述小转向反射镜(162)为多个、且均倾斜设置于所述水冷板(110)的水平面上，所述小转向反射镜(162)用于第...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭渭荣，王宝华，郭志婕，徐丹，徐磊，陈晓华，
申请(专利权)人：北京凯普林光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11