角速度取得装置制造方法及图纸

实施方式提供一种加工偏差不易给动作带来影响的角速度取得装置。实施方式的角速度取得装置具备：可动体，该可动体在第1方向及基于科里奥利力的第2方向上振动，具有在上述第2方向上延伸的可动电极部；保持电极，具有在上述第2方向上延伸、并隔开间隙地与上述可动电极部对置的固定电极部；以及挡块，配置在上述固定电极部与上述可动电极部之间，具有位于比上述固定电极部的与上述可动电极部对置的面更靠上述可动电极部侧的端部。

【技术实现步骤摘要】
角速度取得装置本申请基于日本专利申请2016－130106号(申请日：2016年6月30日)主张优先权。本申请通过参照该基础申请而包含该基础申请的全部内容。
实施方式涉及角速度取得装置。
技术介绍
作为利用于旋转系统中振动的物体上的科里奥利力(Coriolisforce)来检测角速度的陀螺仪传感器，已知有使用MEMS(MicroElectroMechanicalSystems)技术而形成的结构。有时，基于该MEMS技术的加工偏差使得陀螺仪传感器的正常的动作受损。
技术实现思路
实施方式提供一种加工偏差不易影响到动作的角速度取得装置。实施方式的角速度取得装置具备：可动体，该可动体在第1方向及基于科里奥利力的第2方向上振动，具有在上述第2方向上延伸的可动电极部；保持电极，具有在上述第2方向上延伸、并隔开间隙地与上述可动电极部对置的固定电极部；以及挡块，配置在上述固定电极部与上述可动电极部之间，具有位于比上述固定电极部的与上述可动电极部对置的面更靠上述可动电极部侧的端部。附图说明图1是实施方式的角速度取得装置的MEMS部的示意俯视图。图2是图1的A部的放大示意俯视图。图3是表示图2所示的可动体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种角速度取得装置，其特征在于，具备：可动体，该可动体在第1方向及基于科里奥利力的第2方向上振动，具有在上述第2方向上延伸的可动电极部；保持电极，具有在上述第2方向上延伸、并隔开间隙地与上述可动电极部对置的固定电极部；以及挡块，配置在上述固定电极部与上述可动电极部之间，具有位于比上述固定电极部的对置于上述可动电极部的面更靠上述可动电极部侧的端部。

【技术特征摘要】
2016.06.30 JP 2016-1301061.一种角速度取得装置，其特征在于，具备：可动体，该可动体在第1方向及基于科里奥利力的第2方向上振动，具有在上述第2方向上延伸的可动电极部；保持电极，具有在上述第2方向上延伸、并隔开间隙地与上述可动电极部对置的固定电极部；以及挡块，配置在上述固定电极部与上述可动电极部之间，具有位于比上述固定电极部的对置于上述可动电极部的面更靠上述可动电极部侧的端部。2.如权利要求1所述的角速度取得装置，其特征在于，在上述固定电极部的上述第2方向的两端配置有一对上述挡块。3.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：富泽泰，山本悠，池桥民雄，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：日本,JP