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角速度取得装置制造方法及图纸
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下载角速度取得装置的技术资料
文档序号:17004561
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实施方式提供一种加工偏差不易给动作带来影响的角速度取得装置。实施方式的角速度取得装置具备:可动体,该可动体在第1方向及基于科里奥利力的第2方向上振动,具有在上述第2方向上延伸的可动电极部;保持电极,具有在上述第2方向上延伸、并隔开间隙地与上...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。
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