具有无电极谐振音叉的石英真空传感器制造技术

具有无电极谐振音叉的石英真空传感器，涉及石英真空传感器领域。本发明专利技术是为了解决现有的真空传感器存在稳定性和可靠性差、灵敏度差、量程范围窄的问题。两个音叉叉臂之间存在间隙，每个音叉叉臂支撑隔离区的边缘连接处均开有弧形凹槽，每个音叉叉臂靠近顶端的前表面上均开有并行的两个通透形沟槽，在支撑隔离区上，以两个音叉叉臂的中心线为对称轴对称开设2至5个矩形通槽，在两个音叉叉臂之间的间隙处及支撑隔离区和两个音叉叉臂的四周分别设置与音叉叉臂平行的石英晶片，间隙处的石英晶片两个侧壁上和四周的石英晶片内壁上均贴有金属电极，金属电极和石英晶片为一体件结构，金属电极与两个音叉叉臂之间存在缝隙。用于航空等领域中。

【技术实现步骤摘要】
具有无电极谐振音叉的石英真空传感器
本专利技术涉及具有无电极谐振音叉的石英真空传感器。属于真空传感器领域。
技术介绍
真空传感器是一种技术薄弱，但是颇有应用前景的传感器，在航空、航天、船舶、半导体工业中颇有市场，例如：跳伞系统执行机构、超高层大气监测、地表至100Km的探测气球工程等急需一种压力范围为105～10-3Pa的真空传感器，可是其现状却不乐观：现有真空传感器动态范围窄，灵敏度低，响应速度慢，体积大、功耗大，例如：皮拉尼(Pirani)式。因为其结构原因导致耐机械振动和冲击能力差，使用时还需要加热，不适宜高温下使用，也不能用于易燃、易爆场合。当飞行器高度为100Km时，由于飞机或火箭内部设备将带来数KHz、数十G的振动，目前的真空传感器在该条件下几乎都不能良好地工作。采用电容压力敏感元件的真空传感器，其量程下限越低，体积越大，技术指标越差，更不适宜在105～10-3Pa范围内使用，例如美国ECC型臭氧探空仪中的电容式压力传感器的真空传感器在40Km高度时，其准确度仅为20％。近年崭露头角的双参数谐振石英真空传感器(QRVS)却可以扬长避短，按照其工作原理大致可分为两大类：1)本文档来自技高网...

【技术保护点】
具有无电极谐振音叉的石英真空传感器，其特征在于，它包括两个音叉叉臂(1)、支撑隔离区(2)、金属电极(6)和石英晶片(7)，支撑隔离区(2)和两个音叉叉臂(1)均为矩形结构，两个音叉叉臂(1)结构均相同，两个音叉叉臂(1)设置在支撑隔离区(2)上表面的两端，且两个音叉叉臂(1)之间存在间隙，支撑隔离区(2)和两个音叉叉臂(1)为一体件结构，每个音叉叉臂(1)与支撑隔离区(2)的边缘连接处均开有弧形凹槽(4)，每个音叉叉臂(1)靠近顶端的前表面上均开有并行的两个通透形沟槽(3)，在支撑隔离区(2)上，开设2至5个矩形通槽(5)，且2至5个矩形通槽(5)以两个音叉叉臂(1)的中心线为对称轴对称设置...

【技术特征摘要】
1.具有无电极谐振音叉的石英真空传感器，其特征在于，它包括两个音叉叉臂(1)、支撑隔离区(2)、金属电极(6)和石英晶片(7)，支撑隔离区(2)和两个音叉叉臂(1)均为矩形结构，两个音叉叉臂(1)结构均相同，两个音叉叉臂(1)设置在支撑隔离区(2)上表面的两端，且两个音叉叉臂(1)之间存在间隙，支撑隔离区(2)和两个音叉叉臂(1)为一体件结构，每个音叉叉臂(1)与支撑隔离区(2)的边缘连接处均开有弧形凹槽(4)，每个音叉叉臂(1)靠近顶端的前表面上均开有并行的两个通透形沟槽(3)，在支撑隔离区(2)上，开设2至5个矩形通槽(5)，且2至5个矩形通槽(5)以两个音叉叉臂(1)的中心线为对称轴对称设置，在两个音叉叉臂(1)之间的间隙处及支撑隔离区(2)和两个音叉叉臂(1)的四周分别设置与音叉叉臂(1)平行的石英晶片(7)，石英晶片(7)与支撑隔离区(2)和两个音叉叉臂(1)之间存在缝隙，且缝...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋国庆，王长虹，姚东媛，夏航，邹向光，王俊巍，王万生，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十九研究所，
类型：发明
国别省市：黑龙江,23