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具有无电极谐振音叉的石英真空传感器，涉及石英真空传感器领域。本发明是为了解决现有的真空传感器存在稳定性和可靠性差、灵敏度差、量程范围窄的问题。两个音叉叉臂之间存在间隙，每个音叉叉臂支撑隔离区的边缘连接处均开有弧形凹槽，每个音叉叉臂靠近顶端的...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十九研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十九研究所授权不得商用。

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