球面光学元件表面疵病的检测装置及其检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种球面光学元件表面疵病的检测装置，其包括：工作台、气动浮台、三轴移动滑台及显微物镜成像设备。气动浮台设置于所述工作台上，且能绕自身轴线以一定角速度转动。气动浮台用于放置待检测的光学元件。三轴移动滑台设置于所述工作台上。显微物镜成像设备设置于三轴移动滑台的末端，用于拍摄气动浮台上的光学元件。三轴移动滑台将显微物镜成像设备移动至气动浮台的正中心，并在每间隔一预设时间时，驱动显微物镜成像设备向气动浮台的边缘移动一预设距离，直至显微物镜成像设备位于气动浮台的边缘。本发明专利技术还提供一种检测方法。本发明专利技术能够对光学元件表面疵病的进行检测及数字化评估，极大提高检测效率及检测精度。

Detection device for spherical optical element surface defect and its detection method

The invention provides a detection device, a spherical surface defects of the optical elements comprising a worktable, pneumatic floating platform, three axis table and microscope imaging device. The pneumatic floating platform is set on the worktable and can rotate at a certain angular velocity around the axis of its own. The pneumatic floating platform is used to place optical elements to be detected. The three axis moving slide table is set on the worktable. The microlens imaging device is set at the end of the three axis moving slide, and is used to capture optical elements on the pneumatic floating platform. Three axis moving slide to center of micro lens imaging device to the pneumatic floating platform, and at every predetermined time, driving micro lens imaging device to a pneumatic floating platform edge move a preset distance until the micro lens imaging device located at the edge of pneumatic floating platform. The invention also provides a detection method. The present invention can detect and evaluate the digital surface defects of the optical elements, greatly improve the detection efficiency and detection accuracy.

【技术实现步骤摘要】
球面光学元件表面疵病的检测装置及其检测方法
本专利技术涉及检测装置及其检测方法，尤其涉及一种针对球面光学元件表面疵病的检测装置及其检测方法。
技术介绍
光学元件表面的疵病会影响成像质量，使光学元件造成不必要的散射与衍射，进而造成能量损失，尤其对于大口径光学元件，例如大口径望远镜、国家点火装置、光刻物镜等，会造成很大的能量损失。传统的大口径光学元件表面形貌的检测方法主要是目视法，但目视法个人主观因素影响多，长时间目视会造成人眼疲劳，同时无法给出疵病的定量描述。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种球面光学元件表面疵病的检测装置及其检测方法，以解决上述问题。本专利技术提供一种检测装置，所述检测装置用于检测光学元件的表面疵病。所述检测装置包括：工作台；气动浮台，所述气动浮台设置于所述工作台上，且能够绕自身轴线以一定角速度转动，所述气动浮台用于放置待检测的光学元件；三轴移动滑台，所述三轴移动滑台设置于所述工作台上；显微物镜成像设备，所述显微物镜成像设备可滑动地设置于所述三轴移动滑台的末端，所述显微物镜成像设备用于拍摄所述气动浮台上的光学元件；显微物镜转台，所述显微物镜转台设置于所述显微物镜成像本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检测装置，所述检测装置用于检测球面光学元件的表面疵病，其特征在于，所述检测装置包括：工作台；气动浮台，所述气动浮台设置于所述工作台上，且能够绕自身轴线以一定角速度转动，所述气动浮台用于放置待检测的光学元件；三轴移动滑台，所述三轴移动滑台设置于所述工作台上；显微物镜成像设备，所述显微物镜成像设备可滑动地设置于所述三轴移动滑台的末端，所述显微物镜成像设备用于拍摄所述气动浮台上的光学元件；显微物镜转台，所述显微物镜转台设置于所述显微物镜成像设备上，所述显微物镜转台能够驱动所述显微物镜成像设备转动以更好的适应所述光学元件的表面检测；所述三轴移动滑台将所述显微物镜成像设备移动至所述气动浮台的正中心，...

【技术特征摘要】
1.一种检测装置，所述检测装置用于检测球面光学元件的表面疵病，其特征在于，所述检测装置包括：工作台；气动浮台，所述气动浮台设置于所述工作台上，且能够绕自身轴线以一定角速度转动，所述气动浮台用于放置待检测的光学元件；三轴移动滑台，所述三轴移动滑台设置于所述工作台上；显微物镜成像设备，所述显微物镜成像设备可滑动地设置于所述三轴移动滑台的末端，所述显微物镜成像设备用于拍摄所述气动浮台上的光学元件；显微物镜转台，所述显微物镜转台设置于所述显微物镜成像设备上，所述显微物镜转台能够驱动所述显微物镜成像设备转动以更好的适应所述光学元件的表面检测；所述三轴移动滑台将所述显微物镜成像设备移动至所述气动浮台的正中心，且在每间隔一预设时间时，驱动所述显微物镜成像设备向所述气动浮台的边缘移动一预设距离，直至所述显微物镜成像设备位于所述气动浮台上的光学元件的边缘。2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述工作台包括支撑本体及设置于所述支撑本体上的支撑柱，所述支撑本体与所述支撑柱之间形成一收容空间，所述气动浮台设置于所述收容空间内，所述三轴移动滑台设置于所述支撑柱上。3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述三轴移动滑台包括第一滑轨，第二滑轨和第三滑轨，所述第一滑轨设置于所述支撑柱上，所述第二滑轨与所述第一滑轨垂直，且可滑动地设置于所述第一滑轨上，所述第三滑轨同时垂直于所述第一滑轨和第二滑轨，且可滑动地设置于所述第二滑轨上，所述显微物镜成像设备可滑动地设置于所述第三滑轨靠近所述气动浮台的一端。4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括光源，所述光源设置于所述工作台上，所述光源与所述气动浮台相对，所述光源发出的光能够在所述光学元件内折射和衍射，使得所述光学元件的疵病形成可被所述显微物...

【专利技术属性】
技术研发人员：武东城，高松涛，苏东奇，彭石军，苗二龙，隋永新，杨怀江，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林,22