一种单晶硅生长炉气缸锁紧机构制造技术

本发明专利技术涉及单晶炉设备技术领域，具体是一种具有气缸锁紧机构的单晶硅生长炉，包括至少两组安装在单晶硅生长炉上的气缸锁紧机构，每组气缸锁紧机构包括锁紧气缸、气缸支座、固定座、锁紧臂、锁紧块、转轴及无油衬套。本发明专利技术的有益效果是，通过气缸锁紧机构来对上炉筒与隔离阀之间实现自动锁紧和脱离、炉盖与炉筒水冷法兰之间自动锁紧和脱，不仅实现自动化作业，简化操作，且相较于原先的螺栓紧固，密封性能更好，稳定度更好，使用期限更长。

A single crystal silicon growth furnace cylinder locking mechanism

The present invention relates to the technical field of single crystal furnace equipment, in particular to a single cylinder with locking mechanism of growth furnace, comprising at least two sets of crystal growth furnace installed in the cylinder locking mechanism of each cylinder locking mechanism comprises a locking cylinder, a cylinder holder, a fixed seat, a locking arm, a locking block and a rotating shaft and no oil bushing. The beneficial effect of the invention is through the cylinder locking mechanism to achieve between the tube furnace and the isolation valve automatic locking and detachment, between the furnace cover and a furnace tube water cooling flange automatic locking and removal, not only the automatic operation, simple operation, and compared to the original bolt, better sealing performance, stability better, longer period of use.

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅生长炉气缸锁紧机构
本专利技术涉及单晶炉设备
，具体是一种单晶硅生长炉气缸锁紧机构。
技术介绍
单晶硅生长炉的上炉筒与隔离阀、炉盖和炉筒水冷法兰因生产和工艺要求，需要频繁的锁紧和脱离，现有单晶炉一般使用螺栓紧固，锁紧和脱离时，都需要人工操作，比较繁琐，不够自动化。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种实现上炉筒与隔离阀间的自动锁紧和脱离及炉盖与炉筒水冷法兰间的具有气缸锁紧机构的单晶硅生长炉。为了达到上述目的，本专利技术提供了一种具有气缸锁紧机构的单晶硅生长炉，包括至少两组安装在单晶硅生长炉上的气缸锁紧机构，每组气缸锁紧机构包括锁紧气缸、气缸支座、固定座、锁紧臂、锁紧块、转轴及无油衬套，其中一组气缸锁紧机构安装在上炉筒与隔离阀之间，该气缸锁紧机构的固定座安装在上炉筒上、锁紧块安装在隔离阀上，另一组气缸锁紧机构安装在炉盖与炉筒水冷法兰之间，所述气缸锁紧机构的固定座安装在炉盖上、锁紧块安装在炉筒水冷法兰上；所述固定座上设有安装孔，在该安装孔内装配转轴，所述转轴上设有无油衬套；所述锁紧臂呈“9”字型，该锁紧臂的上顶部伸出抵接块，中部套接在所述转轴上，底部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有气缸锁紧机构的单晶硅生长炉，其特征在于，包括至少两组安装在单晶硅生长炉上的气缸锁紧机构，每组气缸锁紧机构包括锁紧气缸(1)、气缸支座(2)、固定座(3)、锁紧臂(5)、锁紧块(7)、转轴(8)及无油衬套(9)，其中一组气缸锁紧机构安装在上炉筒(100)与隔离阀(101)之间，该气缸锁紧机构的固定座(3)安装在上炉筒(100)上、锁紧块(7)安装在隔离阀(101)上，另一组气缸锁紧机构安装在炉盖(200)与炉筒水冷法兰(201)之间，所述气缸锁紧机构的固定座(3)安装在炉盖(200)上、锁紧块(7)安装在炉筒水冷法兰(201)上；所述固定座(3)上设有安装孔，在该安装孔内装配转轴(8)，...

【技术特征摘要】
1.一种具有气缸锁紧机构的单晶硅生长炉，其特征在于，包括至少两组安装在单晶硅生长炉上的气缸锁紧机构，每组气缸锁紧机构包括锁紧气缸(1)、气缸支座(2)、固定座(3)、锁紧臂(5)、锁紧块(7)、转轴(8)及无油衬套(9)，其中一组气缸锁紧机构安装在上炉筒(100)与隔离阀(101)之间，该气缸锁紧机构的固定座(3)安装在上炉筒(100)上、锁紧块(7)安装在隔离阀(101)上，另一组气缸锁紧机构安装在炉盖(200)与炉筒水冷法兰(201)之间，所述气缸锁紧机构的固定座(3)安装在炉盖(200)上、锁紧块(7)安装在炉筒水冷法兰(201)上；所述固定座(3)上设有安装孔，在该安装孔内装配转轴(8)，所述转轴(8)上设有无油衬套(9)；所述锁紧臂(5)呈“9”字型，该锁紧臂(5)的上顶部伸出抵接块(51)，中部套接在所述转轴(8)上，底部形成抵接端(52)，所述锁紧臂(5)和固定座(3)分别相对转轴(8)的轴心转动；所述固定座(3)的一侧安装所述气缸支座(2)，所述锁紧气缸(1)的缸体固定安装在所述气缸支座(2)上，该锁紧气缸(1)的活...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘海，贺贤汉，郡司拓，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31