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本发明涉及单晶炉设备技术领域，具体是一种具有气缸锁紧机构的单晶硅生长炉，包括至少两组安装在单晶硅生长炉上的气缸锁紧机构，每组气缸锁紧机构包括锁紧气缸、气缸支座、固定座、锁紧臂、锁紧块、转轴及无油衬套。本发明的有益效果是，通过气缸锁紧机构来对...
该专利属于上海汉虹精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海汉虹精密机械有限公司授权不得商用。

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