一种防热散失扩散炉制造技术
A heat dissipation diffusion furnace
The invention discloses a heat dissipation diffusion furnace, comprising a furnace body, a furnace body is arranged on the mouth, the mouth is arranged in the heat insulation device, and the heat insulation device comprises a heat insulation tube and heat insulation cover, heat insulation cover into a confined space with the insulation cylinder combination, insulation tube is filled with insulation material, the the outer wall of the stove is provided with a temperature detecting thermocouple, also includes a tray, tray detachably connected through a connecting piece just below the mouth. The invention has reasonable design, good heat insulation, can accurately monitor the temperature of the furnace, the tray access mouth metaphosphate outflow, to facilitate the handling of waste, to avoid environmental pollution.
【技术实现步骤摘要】
一种防热散失扩散炉
本专利技术涉及一种扩散炉，特别涉及一种防热散失扩散炉。
技术介绍
扩散炉是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、镀膜、退火、合金及烧结等工艺的一种热加工设备。扩散炉通常包括：炉体、净化工作台、推拉舟、气源系统和控制系统等。传统的扩散炉的炉口主要通过使用隔热挡片达到隔热效果，以避免热量散失。但是，隔热挡片的隔热效果较差。
技术实现思路
本专利技术的目的就在于提供一种设计合理，隔热效果好，并能准确监控炉体温度的防热散失扩散炉。为了实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是这样的：本专利技术的防热散失扩散炉，包括炉体，炉体上设置有炉口，所述炉口内设置有匹配的隔热装置，所述隔热装置包括隔热筒和隔热盖，隔热盖与隔热筒组合成一密闭空间，隔热筒内填充有隔热材料，所述炉体外壁上设置有温控检测热电偶，还包括托盘，托盘通过连接件可拆卸连接在炉口的正下方。作为优选，所述炉体上还设置有废弃排气管。作为优选，所述隔热材料为石棉、玻璃棉、岩棉、渣棉、漂白土纤维、绿坡石或海泡石中的一种或多种。与现有技术相比，本专利技术的优点在于：本专利技术设计合理，通过隔热装置替代传统的隔热挡片，隔热效果较好，阻止了炉口由于热量散失导致的温度下降，从而保证扩散炉内温度的一致性；设置温控检测热电偶，可精确监控炉体的温度，从而减少因扩散温度不稳定均匀而导致硅片返工的情况发生，从很大程度上保证了扩散工艺的稳定进行；通过托盘接取炉口流出的偏磷酸，便于处理废弃物，避免污染环境。附图说明图1为本专利技术的结构示意图。具体实施方式下面将结合附图对本专利技术作进一步说明。参见图1...
【技术保护点】
一种防热散失扩散炉，包括炉体，炉体上设置有炉口，其特征在于：所述炉口内设置有匹配的隔热装置，所述隔热装置包括隔热筒和隔热盖，隔热盖与隔热筒组合成一密闭空间，隔热筒内填充有隔热材料，所述炉体外壁上设置有温控检测热电偶，还包括托盘，托盘通过连接件可拆卸连接在炉口的正下方。
【技术特征摘要】
1.一种防热散失扩散炉，包括炉体，炉体上设置有炉口，其特征在于：所述炉口内设置有匹配的隔热装置，所述隔热装置包括隔热筒和隔热盖，隔热盖与隔热筒组合成一密闭空间，隔热筒内填充有隔热材料，所述炉体外壁上设置有温控检测热电偶，还包括托盘，托盘通过连接...
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