一种高精度纳米位移台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高精度纳米位移台，包括安装盘、主管套、底套筒，位于安装盘内的压电陶瓷棒及若干弹簧，其中，通过压电陶瓷棒的变形直接作用在主管套上而直接实现主管套的上下移动，压电陶瓷便于控制形变精度，能够提高该位移台负载能力，任意调节运动速度等特性，并且通过弹簧的作用力起到归位作用，使压电陶瓷棒的顶部在弹簧的拉力下能够始终抵靠在主管套的上套管顶部内侧。并且，主管套、安装盘、底套筒为分体式设计，组装、拆卸方便、成本低、便于维修。

【技术实现步骤摘要】
一种高精度纳米位移台
本技术涉及精密仪器领域，尤其是一种高精度纳米位移台。
技术介绍
高精度纳米位移台多用于高端超精密仪器中，通过对压电陶瓷不同的控制模式，可以实现高负载，任意调节运动速度，也可实现超高精度的定位。纳米位移台多用于精密生命科学仪器、干涉测量技术、原子力显微镜、电子扫描电镜、显微成像、纳米准直、微纳加工、光学精确定位等。在测量仪器领域，如利用光干涉作为测量原理，需要提供一种按需要可以调节的匀速或者加速的运动作为扫描运动，目前能提供扫描运动的纳米位移台多为压电陶瓷集成定制，尺寸较小，集成度较高，但是负载能力低，且成本很高。由于是集成定制，一旦有原件损坏那整个纳米台就要报废。故，需要一种新的技术方案以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种新的高精度纳米位移台，要解决目前纳米位移台负载能力低、运动特性差，成本高，不便维修的问题。为达到上述目的，本技术可采用如下技术方案：一种高精度纳米位移台，包括安装盘、安装在安装盘上方的主管套、固定在安装盘下方的底套筒，位于安装盘内的压电陶瓷棒及若干弹簧，所述安装盘的上方设有上开口，所述主管套包括上套管及下套管，且上套管与下套管结合处形成台阶，所述下套管的直径大于上开口的直径，且下套管位于安装盘内部，而上套管自上开口延伸出安装盘，所述压电陶瓷棒的上端抵靠在上套管的上部内侧，压电陶瓷棒的下端抵靠在底套筒的下部内侧，所述弹簧的下方固定在安装盘的底部，弹簧的上方固定在所述上套管的顶部，所述主管套随着压电陶瓷棒的变形而上下移动。有益效果：本技术通过压电陶瓷棒的变形直接作用在主管套上而直接实现主管套的上下移动，压电陶瓷便于控制形变精度，能够提高该位移台低速匀速运动特性，并且通过弹簧的作用力起到归位作用，使压电陶瓷棒的顶部在弹簧的拉力下能够始终抵靠在主管套的上套管顶部内侧。并且，主管套、安装盘、底套筒为分体式设计，组装、拆卸方便、成本低、便于维修。附图说明图1是本技术高精度纳米位移台的立体图。图2是本技术高精度纳米位移台的立体分解图。具体实施方式请结合图1及图2所示，本技术公开了一种高精度纳米位移台，包括位于整体结构中间位置的安装盘12、安装在安装盘12上方的主管套4、固定在安装盘12下方的底套筒11，位于安装盘12内且纵向延伸的压电陶瓷棒5及若干弹簧6。其中，在本实施方式中，所述弹簧6为三个，该三个弹簧6与压电陶瓷棒5同向延伸并且围绕压电陶瓷棒5设置。三个弹簧的设置能够提供较平均的拉力，有利于该位移台在低速匀速下保持运动稳定性。所述安装盘12的上方设有上开口13，所述安装盘12的下方设有下开口14，所述压电陶瓷棒5自下开口14延伸入底套筒11内并抵靠在底套筒11的底部内侧。所述主管套4包括上套管41及下套管42，且上套管41与下套管42结合处形成台阶。所述下套管42的直径大于上开口13的直径，且下套管42位于安装盘12内部。而上套管41自上开口13延伸出安装盘12。所述压电陶瓷棒5的上端抵靠在上套管41的上部内侧，压电陶瓷棒5的下端抵靠在底套筒11的下部内侧，所述弹簧6的下方固定在安装盘12的底部，弹簧6的上方固定在所述上套管12的顶部，在本实施方式中，具体的固定方式为，述上套管41的顶部设有三个上销钉安装孔43，该三个弹簧6的顶部通过销钉1一一固定在所述三个上销钉安装孔43内。所述安装盘12的底部设有三个下销钉安装孔15，所述三个弹簧6的底部通过销钉10一一固定在所述三个下销钉安装孔15内。所述主管套4随着压电陶瓷棒5的变形而上下移动。在本实施方式中，为了使安装盘12、主管套4的拆卸方便，安装盘12也设计为分体组装形式。具体的为，所述安装盘12包括中套7、固定在中套7上方的上盖板2、固定在中套下方的下盖板9，所述上开口13开设在上盖板2中央位置，下开口14开设在下盖板9中央位置。以及，为了保护压电陶瓷棒5，下套管42的底部还安装有内垫盘8。该高精度纳米位移台在使用时，控制对压电陶瓷棒5的电压信号，压电陶瓷棒5收到电压信号产生位移时，会向上顶起主管套4，此时弹簧6被拉伸，压电陶瓷棒5恢复后，弹簧6的拉力使主套筒4恢复到初始位置。本技术具体实现该技术方案的方法和途径很多，以上所述仅是本技术的优选实施方式。应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高精度纳米位移台，其特征在于：包括安装盘、安装在安装盘上方的主管套、固定在安装盘下方的底套筒，位于安装盘内的压电陶瓷棒及若干弹簧，所述安装盘的上方设有上开口，所述主管套包括上套管及下套管，且上套管与下套管结合处形成台阶，所述下套管的直径大于上开口的直径，且下套管位于安装盘内部，而上套管自上开口延伸出安装盘，所述压电陶瓷棒的上端抵靠在上套管的上部内侧，压电陶瓷棒的下端抵靠在底套筒的下部内侧，所述弹簧的下方固定在安装盘的底部，弹簧的上方固定在所述上套管的顶部，所述主管套随着压电陶瓷棒的变形而上下移动。

【技术特征摘要】
1.一种高精度纳米位移台，其特征在于：包括安装盘、安装在安装盘上方的主管套、固定在安装盘下方的底套筒，位于安装盘内的压电陶瓷棒及若干弹簧，所述安装盘的上方设有上开口，所述主管套包括上套管及下套管，且上套管与下套管结合处形成台阶，所述下套管的直径大于上开口的直径，且下套管位于安装盘内部，而上套管自上开口延伸出安装盘，所述压电陶瓷棒的上端抵靠在上套管的上部内侧，压电陶瓷棒的下端抵靠在底套筒的下部内侧，所述弹簧的下方固定在安装盘的底部，弹簧的上方固定在所述上套管的顶部，所述主管套随着压电陶瓷棒的变形而上下移动。2.根据权利要求1所述的高精度纳米位移台，其特征在于：所述安装盘的下方设有下开口，所述压电陶瓷棒自下开口延伸入底套筒内并抵靠在底套筒的...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏勇，樊海彪，
申请(专利权)人：镇江超纳仪器有限公司中外合资，
类型：新型
国别省市：江苏,32