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本实用新型公开了一种高精度纳米位移台，包括安装盘、主管套、底套筒，位于安装盘内的压电陶瓷棒及若干弹簧，其中，通过压电陶瓷棒的变形直接作用在主管套上而直接实现主管套的上下移动，压电陶瓷便于控制形变精度，能够提高该位移台负载能力，任意调节运动速...
该专利属于镇江超纳仪器有限公司（中外合资）所有，仅供学习研究参考，未经过镇江超纳仪器有限公司（中外合资）授权不得商用。

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