一种光电检测装置高度调节机构制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光电检测装置高度调节机构，包括基座、宏位移调节系统和微位移调节系统，宏位移调节系统包括伺服电机、电机控制器、滚珠丝杠、滚珠螺母、宏位移感应片和宏位移传感器，微位移调节系统包括压电陶瓷驱动器、微位移感应片、微位移传感器和压电陶瓷驱动器控制器，该光电检测装置高度调节机构既有宏位移调节系统以实现较大的调节行程，又有微位移调节系统以实现最终小位移的调节和精度补偿，并设置有位移检测装置，通过闭环控制实现高精度的高度调节。

【技术实现步骤摘要】
一种光电检测装置高度调节机构
本技术涉及一种光电领域设备，尤其涉及一种光电检测装置高度调节机构。
技术介绍
光电检测装置是一种高精密检测设备，对检测精度要求较高，在检测过程中经常会由于高度要求需要调节检测装置的高度，而高度调节机构也会对检测结果有很重要的影响，因此对检测设备中所用到的高度调节机构的精度也有较高要求。现有的高度调节机构大多为宏观调节的机构，即通过传统的齿轮传动、带传动和滚珠丝杠传动等方式进行调节，这样的传动方式可以实现较大行程的调节，但由于存在装配误差且行程较大等，也会导致比较大的绝对误差，从而影响检测装置的最终检测精度。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种光电检测装置高度调节机构。本技术通过以下技术方案来实现上述目的：本技术包括基座、宏位移调节系统和微位移调节系统，所述宏位移调节系统设置在基座上，所述微位移调节系统设置在宏位移调节系统上，所述基座上设置有支撑台和控制面板，支撑台上设置有宏位移传感器和微位移传感器，所述宏位移传感器和微位移传感器分别与控制面板连接。进一步，所述宏位移调节系统包括伺服电机、电机控制器、滚珠丝杠、滚珠螺母、宏位移感应片和宏位移传感器，所述伺服电机和电机控制器设置在基座上，伺服电机与电机控制器相连接，电机控制器与控制面板连接，伺服电机输出端通过联轴器与滚珠丝杠输入端连接，滚珠丝杠上设置有滚珠螺母，滚珠螺母下端设置有宏位移感应片，所述宏位移感应片与支撑台上设置的宏位移传感器相对应。进一步，所述微位移调节系统包括压电陶瓷驱动器、微位移感应片、微位移传感器和压电陶瓷驱动器控制器，所述滚珠螺母上设置有支撑杆，支撑杆上设置有压电陶瓷驱动器，所述压电陶瓷驱动器与压电陶瓷驱动器控制器连接，压电陶瓷驱动器控制器与控制面板连接，所述压电陶瓷驱动器上设置有工作台，所述工作台下端设置有微位移感应片，所述微位移感应片与支撑台上设置的微位移传感器相对应。优选地，所述宏位移传感器和微位移传感器均为电容位移传感器。优选地，所述压电陶瓷驱动器有三个，绕工作台中心周向均匀布置。本技术的有益效果在于：本技术是一种光电检测装置高度调节机构，与现有技术相比，本技术的光电检测装置高度调节机构采用宏微调节相结合的形式，既有宏位移调节系统以实现较大的调节行程，又有微位移调节系统以实现最终小位移的调节和精度补偿，并设置有位移检测装置，通过闭环控制实现高精度的高度调节。附图说明图1是本技术的整体结构示意图。图2是本技术的压电陶瓷驱动器的分布示意图。图中：1-基座、11-支撑台、12-控制面板、21-伺服电机、22-联轴器、23-滚珠丝杠、24-滚珠螺母、25-宏位移感应片、26-宏位移传感器、27-电机控制器、31-支撑杆、32-压电陶瓷驱动器、33-工作台、34-微位移感应片、35-微位移传感器、36-压电陶瓷驱动器控制器。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步说明：如图1和图2所示，本技术包括基座1、宏位移调节系统和微位移调节系统，宏位移调节系统设置在基座1上，微位移调节系统设置在宏位移调节系统上，基座1上设置有支撑台11和控制面板12，支撑台11上设置有宏位移传感器26和微位移传感器35，宏位移传感器26和微位移传感器35分别与控制面板12连接。宏位移调节系统包括伺服电机21、电机控制器27、滚珠丝杠23、滚珠螺母24、宏位移感应片25和宏位移传感器26，伺服电机21和电机控制器27设置在基座1上，伺服电机21与电机控制器27相连接，电机控制器27与控制面板12连接，伺服电机21输出端通过联轴器22与滚珠丝杠23输入端连接，滚珠丝杠23上设置有滚珠螺母24，滚珠螺母24下端设置有宏位移感应片25，宏位移感应片25与支撑台11上设置的宏位移传感器26相对应。微位移调节系统包括压电陶瓷驱动器32、微位移感应片34、微位移传感器35和压电陶瓷驱动器控制器36，滚珠螺母24上设置有支撑杆31，支撑杆31上设置有压电陶瓷驱动器32，压电陶瓷驱动器32与压电陶瓷驱动器控制器36连接，压电陶瓷驱动器控制器36与控制面板12连接，压电陶瓷驱动器32上设置有工作台33，压电陶瓷驱动器32有三个，绕工作台33中心周向均匀布置，工作台33下端设置有微位移感应片34，微位移感应片34与支撑台11上设置的微位移传感器35相对应，宏位移传感器26和微位移传感器35均为电容位移传感器。该光电检测装置高度调节机构采用宏微调节相结合的形式，既有宏位移调节系统以实现较大的调节行程，又有微位移调节系统以实现最终小位移的调节和精度补偿，并设置有位移检测装置，通过闭环控制实现高精度的高度调节。本技术不局限于上述最佳实施方式，任何人在本技术的启示下都可得出其他各种形式的产品，但不论在其形状或结构上作任何变化，凡是具有与本申请相同或相近似的技术方案，均落在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光电检测装置高度调节机构，其特征在于：包括基座、宏位移调节系统和微位移调节系统，所述宏位移调节系统设置在基座上，所述微位移调节系统设置在宏位移调节系统上，所述基座上设置有支撑台和控制面板，支撑台上设置有宏位移传感器和微位移传感器，所述宏位移传感器和微位移传感器分别与控制面板连接；所述宏位移调节系统包括伺服电机、电机控制器、滚珠丝杠、滚珠螺母、宏位移感应片和宏位移传感器，所述伺服电机和电机控制器设置在基座上，伺服电机与电机控制器相连接，电机控制器与控制面板连接，伺服电机输出端通过联轴器与滚珠丝杠输入端连接，滚珠丝杠上设置有滚珠螺母，滚珠螺母下端设置有宏位移感应片，所述宏位移感应片与支撑台上设置的宏位移传感器相对应；所述微位移调节系统包括压电陶瓷驱动器、微位移感应片、微位移传感器和压电陶瓷驱动器控制器，所述滚珠螺母上设置有支撑杆，支撑杆上设置有压电陶瓷驱动器，所述压电陶瓷驱动器与压电陶瓷驱动器控制器连接，压电陶瓷驱动器控制器与控制面板连接，所述压电陶瓷驱动器上设置有工作台，所述工作台下端设置有微位移感应片，所述微位移感应片与支撑台上设置的微位移传感器相对应。

【技术特征摘要】
1.一种光电检测装置高度调节机构，其特征在于：包括基座、宏位移调节系统和微位移调节系统，所述宏位移调节系统设置在基座上，所述微位移调节系统设置在宏位移调节系统上，所述基座上设置有支撑台和控制面板，支撑台上设置有宏位移传感器和微位移传感器，所述宏位移传感器和微位移传感器分别与控制面板连接；所述宏位移调节系统包括伺服电机、电机控制器、滚珠丝杠、滚珠螺母、宏位移感应片和宏位移传感器，所述伺服电机和电机控制器设置在基座上，伺服电机与电机控制器相连接，电机控制器与控制面板连接，伺服电机输出端通过联轴器与滚珠丝杠输入端连接，滚珠丝杠上设置有滚珠螺母，滚珠螺母下端设置有宏位移感应片，所述宏位移感应片与支撑台上设...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦玉伟，
申请(专利权)人：渭南师范学院，
类型：新型
国别省市：陕西,61