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一种光电检测装置高度调节机构制造方法及图纸
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文档序号:16946591
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本实用新型公开了一种光电检测装置高度调节机构,包括基座、宏位移调节系统和微位移调节系统,宏位移调节系统包括伺服电机、电机控制器、滚珠丝杠、滚珠螺母、宏位移感应片和宏位移传感器,微位移调节系统包括压电陶瓷驱动器、微位移感应片、微位移传感器和压...
该专利属于渭南师范学院所有,仅供学习研究参考,未经过渭南师范学院授权不得商用。
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