光扫描装置及其制造方法、光扫描控制装置制造方法及图纸
Optical scanning device and its manufacturing method and optical scanning control device
The invention provides an optical scanning device that swings the mirror so that the incident light is scanned. The optical scanning device has a displacement sensor that detects the deflection angle of the mirror and the temperature sensor for the temperature compensation of the above displacement sensor. The displacement sensor is a piezoelectric sensor that successively layers the structure of the lower electrode, the piezoelectric film and the upper electrode. The temperature sensor is a resistance thermometer constructed with the same lower electrode as the same layer.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光扫描装置及其制造方法、光扫描控制装置
本专利技术涉及光扫描装置及其制造方法、光扫描控制装置。
技术介绍
已知使激光进行扫描来显示图像的光扫描控制装置。该光扫描控制装置具备不经过光学系统而直接检测从光源发出的光的第一检测机构、通过光学系统检测从光源发出的光的第二检测机构。并且，基于第一检测机构和第二检测机构的检测结果的组合，能进行异常判断等(例如参照专利文献1)。顺便地，使激光进行扫描的光扫描控制装置例如在使激光进行扫描的光扫描装置上具有检测使光进行扫描的反射镜的倾斜状况的位移传感器。光扫描控制装置基于位移传感器的输出，进行反射镜的偏转角控制。但是，当在位移传感器的输出上具有温度依赖性的情况下，存在无法进行正确的偏转角控制的问题。也考虑在光扫描控制装置的外部设置热敏电阻等补偿用的温度传感器，但由于无法将温度传感器与位移传感器邻接设置而无法正确地检测位移传感器附近的温度，因此难以进行精度更好的温度补偿。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-11852号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题鉴于上述课题，本专利技术的一实施例的目的在于提供能以高精度补偿位移...
【技术保护点】
一种光扫描装置，其使反射镜摆动而使入射光进行扫描，该光扫描装置的特征在于，具有检测上述反射镜的偏转角的位移传感器和上述位移传感器的温度补偿用的温度传感器，上述位移传感器是依次层叠了下部电极、压电膜以及上部电极的构造的压电传感器，上述温度传感器是与上述下部电极为相同层构造的电阻式测温体。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.05.29 JP 2015-1095031.一种光扫描装置，其使反射镜摆动而使入射光进行扫描，该光扫描装置的特征在于，具有检测上述反射镜的偏转角的位移传感器和上述位移传感器的温度补偿用的温度传感器，上述位移传感器是依次层叠了下部电极、压电膜以及上部电极的构造的压电传感器，上述温度传感器是与上述下部电极为相同层构造的电阻式测温体。2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，上述温度传感器与上述位移传感器形成在同一平面上。3.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，设置有多个上述位移传感器及上述温度传感器，相对于各个上述位移传感器配置一个上述温度传感器。4.根据权利要求3所述的光扫描装置，其特征在于，多个上述位移传感器包括检测上述反射镜的水平方向的偏转角的水平位移传感器和检测上述反射镜的垂直方向的偏转角的垂直位移传感器。5.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，上述温度传感器具有由白金构成的层。6.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，还具有：水平驱动梁，其具备使上述反射镜在水平方向上摆动的水平驱动源；以及垂直驱动梁，其具备使上述反射镜在垂直方向上摆动的垂直驱动源，上述水平驱动源及...
【专利技术属性】
技术研发人员：吉田幸弘，竹中恒词，阿贺寿典，
申请(专利权)人：三美电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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