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光扫描装置及其制造方法、光扫描控制装置制造方法及图纸
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下载光扫描装置及其制造方法、光扫描控制装置的技术资料
文档序号:16934438
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本发明提供一种光扫描装置,其使反射镜摆动而使入射光进行扫描。光扫描装置具有检测上述反射镜的偏转角的位移传感器和上述位移传感器的温度补偿用的温度传感器。上述位移传感器是依次层叠了下部电极、压电膜以及上部电极的构造的压电传感器。上述温度传感器是...
该专利属于三美电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三美电机株式会社授权不得商用。
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