一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法技术方案

本发明专利技术公开了一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法，涉及掩膜板清洗设备技术领域，为解决现有的掩膜板清洗系统的对掩膜板清洗效果不好的问题而发明专利技术。该掩膜板的夹具，包括：吊架；固定架，所述固定架用于固定掩膜板，所述固定架与所述吊架转动连接，且转动的中心轴线沿所述固定架的横向延伸；第一驱动装置，所述第一驱动装置固定于所述吊架上，并与所述固定架相连接，所述第一驱动装置用于驱动所述固定架相对所述吊架之间的转动。本发明专利技术可用于掩膜板的清洗。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法
本专利技术涉及掩膜板清洗设备
，尤其涉及一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法。
技术介绍
在显示装置的制造过程中，经常会用到掩膜板(Mask)，通过掩膜板的遮挡作用可以在基板上形成所需的图形，例如掩膜板在OLED(OrganicLight-EmittingDiode有机发光二极管)显示器件的制作中就发挥着重要的作用，目前OLED器件的有机发光层(EL层)的制备的主要方式是蒸镀，由于掩膜板主要是对基板上不需要覆盖有机发光材料的部分进行遮挡，那么，在蒸镀过程中，掩膜板上就不可避免地会蒸镀上有机发光材料，因此，掩膜板在使用一段时间后就需要对其进行清洗，以去除掩膜板上所蒸镀上的有机发光材料，否则有机发光材料在掩膜板上越积越厚，容易落在基板上，这样对OLED显示器件的显示产生不良影响。由此可见，掩膜板的清洗是否干净直接影响着OLED显示器件的显示质量，掩膜板的清洗主要是由掩膜板清洗设备来完成的，而掩膜板的夹具是掩膜板清洗设备中的重要部件，主要是对掩膜板进行固定，在清洗过程中掩膜板的夹具是掩膜板的载体，其结构设计得是否合理，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜板的夹具，其特征在于，包括：吊架；固定架，所述固定架用于固定掩膜板，所述固定架与所述吊架转动连接，且转动的中心轴线沿所述固定架的横向延伸；第一驱动装置，所述第一驱动装置固定于所述吊架上，并与所述固定架相连接，所述第一驱动装置用于驱动所述固定架相对所述吊架之间的转动。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板的夹具，其特征在于，包括：吊架；固定架，所述固定架用于固定掩膜板，所述固定架与所述吊架转动连接，且转动的中心轴线沿所述固定架的横向延伸；第一驱动装置，所述第一驱动装置固定于所述吊架上，并与所述固定架相连接，所述第一驱动装置用于驱动所述固定架相对所述吊架之间的转动。2.根据权利要求1所述的掩膜板的夹具，其特征在于，所述第一驱动装置包括第一电机和传动机构，所述第一电机固定于所述吊架的顶部，所述传动机构的第一端与所述第一电机相连接，所述传动机构的第二端与所述固定架的顶部铰接，且铰接的中心轴线平行于所述转动的中心轴线，所述转动的中心轴线与所述固定架的顶部之间具有用于调整所述固定架相对所述吊架转动角度的距离，所述第一电机可通过所述传动机构驱动所述固定架相对所述吊架转动。3.根据权利要求2所述的掩膜板的夹具，其特征在于，所述传动机构包括第一丝杠、第一螺母和传动件，所述第一丝杠与所述第一电机的输出轴连接，并且所述第一丝杠沿所述吊架的纵向延伸，所述第一螺母与所述第一丝杠相配合，所述传动件的第一端与所述第一螺母转动连接，且所述传动件与所述第一螺母之间的转动轴线平行于所述转动的中心轴线，所述传动件的第二端与所述固定架的顶部铰接，所述传动机构的第一端为所述第一丝杠与所述第一电机的连接端，所述传动机构的第二端为所述传动件的第二端。4.根据权利要求1～3任一项所述的掩膜板的夹具，其特征在于，所述固定架包括本体以及第一夹紧件和第二夹紧件，所述第一夹紧件与所述本体固定连接，所述第二夹紧件与所述本体活动连接，所述第二夹紧件连接有驱动件，所述驱动件固定于所述本体上，并可驱动所述第二夹紧件向远离或靠近所述第一夹紧件的方向移动。5.根据权利要求4所述的掩膜板的夹具，其特征在于，所述第一夹紧件、所述第二夹紧件沿所述本体的纵向布置，并且所述第二夹紧件位于所述第一夹紧件的上方。6.根据权利要求4所述的掩膜板的夹具，其特征在于，所述驱动件包括第二电机，所述第二电机固定于所述本体上，所述第二电机的输出轴连接有第二丝杠，所述第二丝杠上配合有第二螺母，所述第二夹紧件与所述第二螺母固定连接，所述第二电机可通过所述第二丝杠驱动所述第二夹紧件可向远离或靠近所述第一夹紧件的方向移动。7.一种掩膜板清洗系统，其特征在于，包括：移动臂、权利要求1～...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘晟恺，熊腾青，刘杰，杨凯，乔永康，李如，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11