位置调整机构、曝光装置以及物品的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供使压电促动器的调整作业容易的位置调整机构、曝光装置以及物品的制造方法。位置调整机构(100)调整被收容在底座内部且驱动被驱动部件(101)的压电促动器(103)的位置，具有第1调节部(102)、驱动机构(105)和第2保持部件(108)，第1调节部由第1结合部(106)可释放地固定在压电促动器(103)的一个端部并与被驱动部件(101)连接，驱动机构被固定在压电促动器(103)的另一个端部并使压电促动器(103)的位置移动，第2保持部件由第2结合部(107)可释放地保持驱动机构(105)。驱动机构(105)在从第2保持部件(108)被释放且第1调节部(102)从一个端部被释放的状态下，在规定方向调节压电促动器(103)的位置。

【技术实现步骤摘要】
位置调整机构、曝光装置以及物品的制造方法
本专利技术涉及位置调整机构、曝光装置以及物品的制造方法。
技术介绍
若被施加振动或压力等力则会产生电压、反之若被施加电压则会伸缩这样的现象被称为压电效应，具有压电效应的元件一般被称为压电元件或PIEZO元件。压电元件由于通过电压的控制可微妙地进行伸缩变化，所以作为可进行微小位置控制的促动器被使用。作为压电促动器的使用例，例如可列举出专利文献1。在专利文献1中，在光路的中途配置可变形镜，进行像差校正，使用压电促动器来进行该可变形镜的微小的位置控制。具体地说，通过相对于mm级别厚度的薄镜的背面，由促动器施加向反射面的面外方向驱动的力，制作任意形状的反射面。压电促动器虽然是高分解度，但压电元件的行程短，所以为了将校正行程纳入压电元件的行程内，有必要进行压电促动器的位置调整。专利文献2公开了一种促动器，所述促动器具备可在层叠压电元件的层叠方向使端部部件动作的压电单元，在收容压电单元的保持器和箱体的外周面之间具有间隙。在先技术文献专利文献专利文献1:日本特开2015-126037号公报专利文献2:日本特开2015-161349号公报
技术实现思路
专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种位置调整机构，该位置调整机构对被收容在底座的内部且驱动物体的促动器的位置进行调整，其特征在于，具有连接部、驱动机构和保持部件，所述连接部由第1结合部可释放地固定在所述促动器的一个端部，与所述物体连接，所述驱动机构被固定在所述促动器的另一个端部，使该促动器的位置移动，所述保持部件由第2结合部可释放地保持所述驱动机构，在所述驱动机构从所述保持部件被释放且所述连接部从所述一个端部被释放的状态下，所述驱动机构在规定方向调节所述促动器的位置。

【技术特征摘要】
2016.06.17 JP 2016-1205561.一种位置调整机构，该位置调整机构对被收容在底座的内部且驱动物体的促动器的位置进行调整，其特征在于，具有连接部、驱动机构和保持部件，所述连接部由第1结合部可释放地固定在所述促动器的一个端部，与所述物体连接，所述驱动机构被固定在所述促动器的另一个端部，使该促动器的位置移动，所述保持部件由第2结合部可释放地保持所述驱动机构，在所述驱动机构从所述保持部件被释放且所述连接部从所述一个端部被释放的状态下，所述驱动机构在规定方向调节所述促动器的位置。2.如权利要求1所述的位置调整机构，其特征在于，在所述保持部件和所述驱动机构之间，具有对所述驱动机构向所述规定方向施力的施力部件。3.如权利要求1所述的位置调整机构，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：大柳健夫，新井学，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP