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位置调整机构、曝光装置以及物品的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:16918106
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本发明提供使压电促动器的调整作业容易的位置调整机构、曝光装置以及物品的制造方法。位置调整机构(100)调整被收容在底座内部且驱动被驱动部件(101)的压电促动器(103)的位置,具有第1调节部(102)、驱动机构(105)和第2保持部件(1...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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