光照射装置及用于该光照射装置的光纤路径制造方法及图纸

本发明专利技术提供光照射装置及用于该光照射装置的光纤路径，光照射装置可以增大光量调整的程度，在光量调整时也能够使光谱分布无变化，能够在光量调整之后立即使用该光源光，在光量调整时能够均匀地维持光强度的面内分布，而且，在调整光谱分布时能够均匀地维持面内的光谱分布。光照射装置具备多个光源、可分别选择性地传送来自多个光源的光的多个光传送路径、具有来自这些多个光传送路径的光分别入射的多个光入射端和单一的光射出端的光纤路径。光纤路径具备多个光纤束，这些多个光纤束在入射端分别构成所述多个光入射端，并且在射出端组合而构成所述单一的光射出端。多个光纤构成多个光纤束。多个光纤束中的光纤在单一的光输出端相互均匀地分散配置。

【技术实现步骤摘要】
光照射装置及用于该光照射装置的光纤路径
本专利技术涉及能够可变控制照射的光的强度或光谱分布的光照射装置及用于该光照射装置的光纤路径。
技术介绍
在以氙灯等放电灯为光源的光照射装置中，要使照射的光的强度阶段性地减小的情况下，通常进行的是使向该放电灯供给的灯电流阶段性地减小。但是，基于这种灯电流的减光控制，极限是使光强度降低至最大的1/2左右，在要减小至低于1/2的情况下，需要将网状滤波器或冲孔板等机械的减光单元插入光路。关于这种机械的减光单元，专利文献1中记载有，在可减光的光源装置和光纤束之间设置形成有多个通孔的减光板，将从光源装置朝向光纤束的光减光。另外，专利文献2中记载有，在光路中插入遮光板上设置有多个通孔的冲孔式减光滤波器，将来自光源的光束的一部分阻断并减光。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第4406140号公报专利文献2：国际公开第2013/136867号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题如果使用这种机械的减光单元，虽然可以将来自光源的光大幅减光，但不仅具有使通过的光的光谱分布变化这样的问题，而且面内的光强度分布的均匀性也会恶化。另外，在放电灯中，使灯电流变化而进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光照射装置，其特征在于，具备：多个光源；可分别选择性地传送来自该多个光源的光的多个光传送路径；以及具有来自该多个光传送路径的光分别入射的多个光入射端和单一的光射出端的光纤路径，所述光纤路径具备多个光纤束，该多个光纤束在入射端分别构成所述多个光入射端，并且在射出端组合而构成所述单一的光射出端，多个光纤构成所述多个光纤束，所述多个光纤束中的光纤在所述单一的光输出端相互均匀地分散配置。

【技术特征摘要】
2016.06.15 JP 2016-1184561.一种光照射装置，其特征在于，具备：多个光源；可分别选择性地传送来自该多个光源的光的多个光传送路径；以及具有来自该多个光传送路径的光分别入射的多个光入射端和单一的光射出端的光纤路径，所述光纤路径具备多个光纤束，该多个光纤束在入射端分别构成所述多个光入射端，并且在射出端组合而构成所述单一的光射出端，多个光纤构成所述多个光纤束，所述多个光纤束中的光纤在所述单一的光输出端相互均匀地分散配置。2.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，构成所述光纤路径的所述多个光纤束的多个光纤在所述光输出端，针对所述多个光纤束的每个光纤束放射状地排列，由此均匀地分散配置。3.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，构成所述光纤路径的所述多个光纤束的多个光纤在所述光输出端针对所述多个光纤束的每个光纤束漩涡状地排列，由此均匀地分散配置。4.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，还具备：将来自所述光纤路径的光聚光的第一光学元件；使来自该第一光学元件的光在光学上均匀分布的积分元件；以及将来自该积分元件的光转换成平行光的第二光学元件。5.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，还具备减光单元，其可将向所述光纤路径的所述多个光入射端分别入射的光减光。6.根据权利要求5所述的光照射装置，其特征在于，所述减光单元具备移动机构，所述移动机构使将来自所述光源的平行光聚光并向所述光纤路径的所述光入射端入射的第三光学元件沿着光轴机械地平行移动。7.根据权利要求5所述的光照射装置，其特征在于，所述减光单元具备移动机构，所述移动机构使将来自所述光源的平行光聚光得到的光或来自所述光源的聚光光入射的所述光纤路径的所述光入射端沿着光轴机械地平行移动。8.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，所述多个光传送路径分别具有可选择性地阻断传送的光的遮光单元。9.根据权利要求8所述的光照射装置，其特征在于，还具备控制单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：猪狩真一，久保修彦，
申请(专利权)人：国立研究开发法人产业技术综合研究所，山下电装株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP