一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置制造方法及图纸

本发明专利技术提出了一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置，换热器内穿过原料气管、冷凝气管、废气管和供气管，原料气管连接至低温精馏塔的进气口，低温精馏塔的出气口连接至废气管，低温精馏塔的出液口连接排液管，排液管上设有第一纯度检测器，排液管末端分三路并联分别设置第一低温液体储罐、第二低温液体储罐和第三低温液体储罐，第一低温液体储罐、第二低温液体储罐和第三低温液体储罐的进液口上分别设置第一阀门、第二阀门和第三阀门；第一低温液体储罐、第二低温液体储罐和第三低温液体储罐的出液口分别连接至供气管的进气端，供气管的出气端依次设置第二纯度检测器和流量计。本发明专利技术彻底解决了供气质量不合格造成的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置
本专利技术涉及一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置。
技术介绍
单晶硅拉晶炉尾气富含氩气，氩气含量达到98％以上，经过常规的处理方法将其中的杂质油、粉尘、CO、O2、CO2、水分等处理掉后得到的气体组分为氩气、氮气、氢气，其中氩气占比99％以上，由于这三种气体沸点相差较大，利用低温精馏技术很容易将三者分离，从精馏塔底部得到高纯的液态氩气，精馏塔顶部是需要排放的氮气和氢气。单晶硅拉晶炉所拉晶体纯度极高，因此对高纯氩气要求很高，一旦高纯氩气纯度不合格而进入拉晶炉，将会对所拉晶体不合格甚至对拉晶炉造成致命的损伤，因此保障进入单晶硅拉晶炉的高纯氩气质量非常重要。常规的低温方法富氩气提取高纯氩气时，直接从精馏塔底部抽取高纯氩，然后进入系统的换热器利用冷量后，检测氩气杂质含量然后供给客户。然而，氩气杂质检测有滞后性，如果氩气杂质突然超标，其超标杂质进入检测仪器有一定时间，当仪器检测到杂质超标时，切换到备用的高纯气供应已来不及，含杂质的不纯气体已经进入拉晶炉。另外，人为的切换不及时将会导致更多的不纯气体进入拉晶炉。以上情况，都将导致不纯本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置，其特征在于，包括换热器(1)、低温精馏塔(8)、第一低温液体储罐(11)、第二低温液体储罐(12)和第三低温液体储罐(13)，所述换热器(1)内穿过原料气管(2)、冷凝气管(3)、废气管(4)和供气管(7)，所述原料气管(2)连接至低温精馏塔(8)的进气口，所述低温精馏塔(8)的出气口连接至废气管(4)，所述低温精馏塔(8)的出液口连接排液管(9)，所述排液管(9)上设有第一纯度检测器(10)，所述排液管(9)末端分三路并联分别设置第一低温液体储罐(11)、第二低温液体储罐(12)和第三低温液体储罐(13)，所述第一低温液体储罐(11)、第二低...

【技术特征摘要】
1.一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置，其特征在于，包括换热器(1)、低温精馏塔(8)、第一低温液体储罐(11)、第二低温液体储罐(12)和第三低温液体储罐(13)，所述换热器(1)内穿过原料气管(2)、冷凝气管(3)、废气管(4)和供气管(7)，所述原料气管(2)连接至低温精馏塔(8)的进气口，所述低温精馏塔(8)的出气口连接至废气管(4)，所述低温精馏塔(8)的出液口连接排液管(9)，所述排液管(9)上设有第一纯度检测器(10)，所述排液管(9)末端分三路并联分别设置第一低温液体储罐(11)、第二低温液体储罐(12)和第三低温液体储罐(13)，所述第一低温液体储罐(11)、第二低温液体储罐(12)和第三低温液体储罐(13)的进液口上分别设置第一阀门(14)、第二阀门(15)和第三阀门(16)；所述第一低温液体储罐(11)、第二低温液体储罐(12)和第三低温液体储罐(13)的出液口分别连接至供气管(7)的进气端，所述供气管(7)的出气端依次设置第二纯度检测器(20)和流量计(21)。2.如权利要求1所述的一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置，其特征在于，所述原料气管(...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨涛，杜大艳，焦文艺，温俊平，谭宏谓，周军，
申请(专利权)人：湖北和远气体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42