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本发明提出了一种保障单晶硅富氩尾气提纯高纯氩气供气质量的装置，换热器内穿过原料气管、冷凝气管、废气管和供气管，原料气管连接至低温精馏塔的进气口，低温精馏塔的出气口连接至废气管，低温精馏塔的出液口连接排液管，排液管上设有第一纯度检测器，排液管...
该专利属于湖北和远气体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北和远气体股份有限公司授权不得商用。

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