一种带有压力感应的传送系统技术方案

本发明专利技术涉及一种带有压力感应的传送系统，包括传送机构、压力传感器和触控面板；所述传送机构包括机架，所述机架上设置有多个滚轮轴，所述滚轮轴上设置有滚轮；所述压力传感器围绕于所述滚轮并设置于所述滚轮上，用于测量滚轮所承受的压力；所述触控面板与所述压力传感器相连接，用于显示滚轮所承受的压力。本发明专利技术的带有压力感应的传送系统灵敏性高、实时性强、监控性强；本发明专利技术的带有压力感应的传送系统反应时间快，可快速检测到滚轮的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种带有压力感应的传送系统
本专利技术涉及压力感应
，尤其涉及一种带有压力感应的传送系统。
技术介绍
清洗机主要作用为在基板制程前清洗基板，如图1所示，清洗机主要包括入口模块1、极紫外光刻模块(EUV模块)2、冲洗模块3、吹干模块4和出口模块5五个单元，每个单元的传送机构6都是滚轴输送机。滚轴输送机主要用于传送基板，在传送过程中，有一个或者几个滚轮的大小有所差异就会导致玻璃传送时，滚轮输送机上存在一些地方凸起或凹陷，这会导致一些滚轮不能完全接触玻璃，从而发生空转现象，另外，如果一个滚轮凸起还会导致玻璃基板背面划伤。可见，由于整个滚轮输送机的平坦度没有监控系统，无法实时监控滚轮运行状况。
技术实现思路
针对上述问题中存在的不足之处，本专利技术提供一种带有压力感应的传送系统，能够实时监控滚轮转动过程中与玻璃基板的接触面的压力值，本系统可根据压力值判定滚轮的实际状况并进行调整，滚轮的整个接触面压力都可以被监控。为实现上述目的，本专利技术提供一种带有压力感应的传送系统，包括传送机构、压力传感器和触控面板；所述传送机构包括机架，所述机架上设置有多个滚轮轴，所述滚轮轴上设置有滚轮；所述压力传感本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带有压力感应的传送系统，其特征在于，包括传送机构、压力传感器和触控面板；所述传送机构包括机架，所述机架上设置有多个滚轮轴，所述滚轮轴上设置有滚轮；所述压力传感器围绕于所述滚轮并设置于所述滚轮上，用于测量滚轮所承受的压力；所述触控面板与所述压力传感器相连接，用于显示滚轮所承受的压力。

【技术特征摘要】
1.一种带有压力感应的传送系统，其特征在于，包括传送机构、压力传感器和触控面板；所述传送机构包括机架，所述机架上设置有多个滚轮轴，所述滚轮轴上设置有滚轮；所述压力传感器围绕于所述滚轮并设置于所述滚轮上，用于测量滚轮所承受的压力；所述触控面板与所述压力传感器相连接，用于显示滚轮所承受的压力。2.根据权利要求1所述的带有压力感应的传送系统，其特征在于，所述压力传感器的输出端与所述触控面板相连。3.根据权利要求1所述的带有压力感应的传送系统，其特征在于，所述压力传感器设置于所述滚轮的外表面上。4.根据权利要求1所述的带有压力感应的传送系统，其特征在于，所述压力传感器设置于所述滚轮的内表面上。5.根据权利要求1-4中任一项所述的带有压力感应的传送系统，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：年婷，陈沈，
申请(专利权)人：武汉华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42