一种清洗夹具制造技术

本发明专利技术公开了一种清洗夹具，包括：夹具底座、夹具顶盖、夹具固定杆。其中，夹具底座上设置有多条第一通道，每条第一通道均为具有中空结构的中空槽，中空槽的横截面为等腰梯形，等腰梯形的下底边靠近夹具顶盖，等腰梯形的上底边远离夹具顶盖，等腰梯形的上底边边长长度小于待清洗的芯片表面短边的长度；夹具顶盖上设置有多条第二通道，每条第二通道均为具有中空结构的中空槽，中空槽的横截面为长方形，长方形的中空槽平行于等腰梯形上底边或下底边的边长长度小于芯片表面短边的长度；夹具底座与夹具顶盖通过夹具固定杆固定连接。本发明专利技术的清洗夹具可实现单次多片、多规格芯片的高可靠性、高效率无损伤清洗，解决了现有技术问题。

A cleaning fixture

The invention discloses a cleaning fixture, which comprises a fixture base, a fixture top cover and a fixture fixed rod. The clamp base is provided with a plurality of first channels, each of the first channels are hollow grooves with hollow structure, cross section of the hollow groove is an isosceles trapezoid, isosceles trapezoid bottom near the top of the fixture, the fixture away from an isosceles trapezoid top surface of the chip on the bottom edge of the isosceles trapezoid short side length less than the length of stay cleaning the length of the fixture; the cap is provided with a plurality of second channels, each of the second channels are hollow grooves with a hollow structure, the hollow groove cross-section is rectangular, length of hollow rectangular groove parallel to the bottom edge of the isosceles trapezoid or the bottom edge of the side surface of the chip is smaller than the length of the short side of the fixture and fixture base; the fixed rod is fixedly connected with the top cover through fixture. The cleaning fixture of the invention can realize high reliability, high efficiency and no damage cleaning of single multiple chip and multi specification chip, and solve the existing technical problems.

【技术实现步骤摘要】
一种清洗夹具
本专利技术涉及微电子工艺领域，特别是涉及一种清洗夹具。
技术介绍
随着微电子技术的进展，微电子器件的集成度不断提高，对芯片表面洁净度的要求越来越高。在生产线上，由于芯片具有种类繁多、数量大、面积微小、体积微小和材料易碎等特点，且在芯片等半导体器件的制作过程中，需要时刻保持产品、环境及工艺人员的高清洁度，因此，在一些工艺环节涉及到器件的超声、兆声清洗时，采用人工夹取清洗的方式易造成器件崩边、裂片、表面划伤，直接影响器件性能及可靠性，同时生产率低、耗时长。
技术实现思路
本专利技术提供一种清洗夹具，用以解决现有技术需要人工夹取芯片清洗导致芯片损坏以及清洗效率较低的问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种清洗夹具，包括：夹具底座、夹具顶盖和夹具固定杆。其中，所述夹具底座上设置有多条第一通道，每条所述第一通道均为具有中空结构的中空槽，所述中空槽的横截面为等腰梯形，所述等腰梯形的下底边靠近所述夹具顶盖，所述等腰梯形的上底边远离所述夹具顶盖，所述等腰梯形的上底边边长长度小于待清洗的芯片表面短边的长度；所述夹具顶盖上设置有多条第二通道，每条所述第二通道均为具有中空结构的中空槽，所述中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种清洗夹具，其特征在于，包括：夹具底座、夹具顶盖和夹具固定杆；其中，所述夹具底座上设置有多条第一通道，每条所述第一通道均为具有中空结构的中空槽，所述中空槽的横截面为等腰梯形，所述等腰梯形的下底边靠近所述夹具顶盖，所述等腰梯形的上底边远离所述夹具顶盖，所述等腰梯形的上底边边长长度小于待清洗的芯片表面短边的长度；所述夹具顶盖上设置有多条第二通道，每条所述第二通道均为具有中空结构的中空槽，所述中空槽的横截面为长方形，所述长方形的中空槽平行于所述等腰梯形上底边或下底边的边长长度小于所述芯片表面短边的长度；所述夹具底座与所述夹具顶盖通过所述夹具固定杆固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种清洗夹具，其特征在于，包括：夹具底座、夹具顶盖和夹具固定杆；其中，所述夹具底座上设置有多条第一通道，每条所述第一通道均为具有中空结构的中空槽，所述中空槽的横截面为等腰梯形，所述等腰梯形的下底边靠近所述夹具顶盖，所述等腰梯形的上底边远离所述夹具顶盖，所述等腰梯形的上底边边长长度小于待清洗的芯片表面短边的长度；所述夹具顶盖上设置有多条第二通道，每条所述第二通道均为具有中空结构的中空槽，所述中空槽的横截面为长方形，所述长方形的中空槽平行于所述等腰梯形上底边或下底边的边长长度小于所述芯片表面短边的长度；所述夹具底座与所述夹具顶盖通过所述夹具固定杆固定连接。2.如权利要求1所述的清洗夹具，其特征在于，所述第一通道的所述中空槽的两个斜面上分别设置有多对一一对应的凹槽，所述凹槽用于放置夹具隔板，所述夹具隔板的横截面为等腰梯形，所述芯片放置在每两个相邻的夹具隔板之间的中空槽中。3.如权利要求2所述的清洗夹具，其特征在于，所述夹具隔板的横截面的等...

【专利技术属性】
技术研发人员：李海燕，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十一研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11