全包围式椭圆球面镜光路激光诱导击穿光谱仪系统技术方案

本发明专利技术涉及全包围式椭圆球面镜全包围式椭圆球面镜光路激光诱导击穿光谱仪系统，包括脉冲激光器、全反射镜、聚焦透镜、样品台、全包围式椭圆球面镜、信号光收集系统和光谱仪，样品台和信号光收集系统位于全包围式椭圆球面镜内侧，样品台和信号光收集系统分别设于全包围式椭圆球面镜的两个焦点处，全包围式椭圆球面镜上设有通孔，样品台位于通孔正下方，聚焦透镜位于通孔正上方，全反射镜用以将脉冲激光器产生的激光全反射给聚焦透镜，聚焦透镜聚焦后的光以垂直于全包围式椭圆球面镜长轴的方向入射到样品台上，光谱仪与信号光收集系统连接。本发明专利技术将等离子体各发散角度的信号光进行会聚收集，克服收集角度对信号的影响和单方向收集造成的信号损失，可极大程度上提高信号光收集效率。

Laser induced breakdown spectrometer system with full encircling elliptical spherical mirror

The present invention relates to all around type elliptical spherical mirror full bounding ellipsoid mirror optical path of laser induced breakdown spectrometer system, including pulse laser, mirror, a focusing lens, a sample table, full bounding ellipsoid mirror, signal collection system and spectrometer, sample platform and signal light collecting system in full bounding ellipsoid the mirror inside the sample table and signal two at the focal point of light collecting system are respectively arranged in the full bounding ellipsoid mirror, full bounding ellipsoid mirror is provided with a through hole, sample platform in Kong Zheng below, Kong Zheng is located in the focusing lens above the mirror laser generated by the pulse laser reflection to focus lens, focusing lens after light perpendicular to full bounding ellipsoid mirror to the axis of the incident to the sample table, spectrometer and signal light collection system connection . The invention collects and collects and collects and collects the signal light of each divergence angle of the plasma, overcomes the influence of collecting angle on signal and the signal loss caused by single direction collection, and improves the collection efficiency of signal light to a great extent.

【技术实现步骤摘要】
全包围式椭圆球面镜光路激光诱导击穿光谱仪系统
本专利技术属于光谱分析
，涉及激光诱导击穿光谱仪系统，尤其涉及全包围式椭圆球面镜全包围式椭圆球面镜光路激光诱导击穿光谱仪系统。
技术介绍
激光诱导击穿光谱(LIBS)技术作为一种新型激光光谱分析方法，凭借其实时、在线、非接触、多元素同时检测等有点，在航空航天、环境监测、地质勘探、文物珠宝鉴定、医学材料检测等各领域展现出优异的检测能力，其广阔的应用前景无庸赘述。在检测过程中，脉冲激光器输出高能脉冲激光，通过聚焦透镜聚焦到样品表面，当激光脉冲的能量密度大于击穿阈值时，即可在聚焦位点产生等离子体，在该等离子体中，喷射出来的物质离解成激发态的原子和离子，处于激发态的原子和离子从高能态跃迁到低能态，并发射出具有特定波长的光辐射。通过聚焦透镜在一定收集位置采集到样品表面等离子体的光谱发射信号，并分析谱图得到的元素对应的特定峰强度可以用于样品的定性以及定量分析。LIBS以其取样量极少，几乎可实现无损检测的优点在光谱领域崭露头角，然而这一亮点也为该技术的发展带来了限制。常规LIBS检测过程中，单次激光剥蚀厚度仅为0.05毫米左右，剥蚀量在微克级别，本文档来自技高网...

【技术保护点】
全包围式椭圆球面镜全包围式椭圆球面镜光路激光诱导击穿光谱仪系统，其特征在于:包括脉冲激光器(1)、全反射镜(2)、聚焦透镜(3)、样品台(4)、全包围式椭圆球面镜(5)、信号光收集系统(6)和光谱仪(7)，所述样品台(4)和信号光收集系统(6)位于全包围式椭圆球面镜(5)内侧，所述样品台(4)和信号光收集系统(6)分别设于全包围式椭圆球面镜(5)的两个焦点处，所述全包围式椭圆球面镜(5)上设有通孔(9)，所述样品台(4)位于通孔(9)正下方，所述聚焦透镜(3)位于通孔(9)正上方，所述全反射镜(2)用以将脉冲激光器(1)产生的激光全反射给聚焦透镜(3)，所述聚焦透镜(3)用以将其聚焦后的光以垂...

【技术特征摘要】
1.全包围式椭圆球面镜全包围式椭圆球面镜光路激光诱导击穿光谱仪系统，其特征在于:包括脉冲激光器(1)、全反射镜(2)、聚焦透镜(3)、样品台(4)、全包围式椭圆球面镜(5)、信号光收集系统(6)和光谱仪(7)，所述样品台(4)和信号光收集系统(6)位于全包围式椭圆球面镜(5)内侧，所述样品台(4)和信号光收集系统(6)分别设于全包围式椭圆球面镜(5)的两个焦点处，所述全包围式椭圆球面镜(5)上设有通孔(9)，所述样品台(4)位于通孔(9)正下方，所述聚焦透镜(3)位于通孔(9)正上方，所述全反射镜(2)用以将脉冲激光器(1)产生的激光全反射给聚焦透镜(3)，所述聚焦透镜(3)用以将其聚焦后的光以垂直于全包围式椭圆球面镜(5)长轴的方向入射到样品台(4)上，所述光谱仪(7)与信号光收集系统(6)连接。2.根据权利要求1所述的全包围式椭圆球面镜全包围式椭圆球面镜光路激光诱导击穿光谱仪系统，其特征在于：所述全包围式椭圆球面镜(5)立体角大小为2πsr。3.根据权利要求1所述的全包围式椭圆球面镜全包围式椭圆球面镜光路激光诱导击穿光谱仪系统，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：段忆翔，施琳莉，
申请(专利权)人：成都艾立本科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51