用于反射镜离子束抛光的降温装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于反射镜离子束抛光的降温装置，属于光学加工技术领域，具体包括反射镜固定架、支撑工装、两块以上的导热铜箔和与每一导热铜箔对应设置的柔软导热层，本发明专利技术利用设置在待抛光反射镜的侧表面上的柔软导热层以及连接柔软导热层和支撑工装的导热铜箔进行散热，由于柔软导热层和待抛光反射镜之间是面接触，柔软导热层与导热铜箔之间也是面接触，因此待抛光反射镜在离子束抛光过程中累计的热量会很快从镜体内通过柔软导热层和导热铜箔传导到支撑工装，而又由于支撑工装的比热容很高，因此可以达到有效降温的效果，从而提高待抛光反射镜在离子束抛光过程中的降温效率。

Cooling device for polishing of mirror ion beam

The invention relates to a cooling device for ion beam polishing mirror, which belongs to the field of optical processing technology, including the mirror mount, supporting tooling, conductive copper foil more than two blocks and each conducting copper foil arranged corresponding to the soft conducting layer, the invention uses heat setting on the soft conducting layer on the side surface the mirror to be polished as well as heat conduction layer and a soft copper foil connection support tooling, because the heat conduction layer and soft to be polished mirror surface contact between the soft layer and the heat conduction, thermal conductivity of copper foil is surface contact, so to be polished mirror in ion beam polishing process accumulated heat will quickly from the mirror the body through the soft heat conduction layer and thermal conduction copper foil to support tooling, and specific heat due to support tooling capacity is very high, so it can achieve the effective cooling effect, so as to be improved The cooling efficiency of the polishing mirror during the ion beam polishing process.

【技术实现步骤摘要】
用于反射镜离子束抛光的降温装置
本专利技术涉及光学加工
，特别是涉及一种用于反射镜离子束抛光的降温装置。
技术介绍
航天所需的光学反射镜在最终使用时，是需要利用机械结构进行固定的，机械部分和反射镜部分往往通过环氧树脂胶粘连在一起，当反射镜面形加工到1/20到1/40波长(632.8nm)RMS时，由于环氧树脂胶固化后会产生一定的收缩应力，因此导致反射镜面形产生一定的变形，此时需要利用离子束抛光的方法对反射镜进行面形修整。离子束抛光方法的原理是利用高能粒子对材料表面进行轰击，从而将表面多余的材料部分去除，并辅以电荷中和器，使粒子可以持续的轰击，其中电荷中和器由钨丝构成，工作时会放出大量的热量，同时高能粒子滞留在材料内的动能，也会转化为热量的形式，最终使得被抛光的反射镜表面温度升高，进而导致被粘连在一起的机械部分和反射镜部分的整体温度升高。由于环氧树脂胶对高温较敏感，所以在抛光的过程中需要降低机械部分和反射镜部分整体的温度。通常情况下，技术人员采用对输入抛光加工设备的数据进行滤波或者去毛刺数据处理，对于数据中心部分缺失的情况，进行数据填充等数据处理的方法对被抛光反射镜进行降温，但是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于反射镜离子束抛光的降温装置，包括反射镜固定架(1)和支撑工装(2)，其特征在于，还包括两块以上的导热铜箔(3)和与每一所述导热铜箔(3)对应设置的柔软导热层(4)，所述反射镜固定架(1)与待抛光反射镜(5)背部的盲孔相配合，并通过环氧树脂胶与所述盲孔粘贴固定连接，且所述反射镜固定架(1)与所述支撑工装(2)固定连接；所述柔软导热层(4)设置在所述待抛光反射镜(5)的侧表面和对应的所述导热铜箔(3)之间，全部的所述柔软导热层(4)圆周均布在所述侧表面上，且每一所述柔软导热层(4)分别与所述侧表面和对应的所述导热铜箔(3)面接触，每一所述导热铜箔(3)均与所述支撑工装(2)面接触，所述柔软...

【技术特征摘要】
1.一种用于反射镜离子束抛光的降温装置，包括反射镜固定架(1)和支撑工装(2)，其特征在于，还包括两块以上的导热铜箔(3)和与每一所述导热铜箔(3)对应设置的柔软导热层(4)，所述反射镜固定架(1)与待抛光反射镜(5)背部的盲孔相配合，并通过环氧树脂胶与所述盲孔粘贴固定连接，且所述反射镜固定架(1)与所述支撑工装(2)固定连接；所述柔软导热层(4)设置在所述待抛光反射镜(5)的侧表面和对应的所述导热铜箔(3)之间，全部的所述柔软导热层(4)圆周均布在所述侧表面上，且每一所述柔软导热层(4)分别与所述侧表面和对应的所述导热铜箔(3)面接触，每一所述导热铜箔(3)均与所述支撑工装(2)面接触，所述柔软导热层(4)的导热率大于或者等于5W/mk，且所述柔软导热层(4)的总质量亏损小于或者等于1％或者挥发物质冷凝量小于或者等于0.1％。2.根据权利要求1所述的用于反射镜离子束抛光的降温装置，其特征在于，所述支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：武志勇，王兴，赵恩才，
申请(专利权)人：长光卫星技术有限公司，
类型：发明
国别省市：吉林,22