下载用于反射镜离子束抛光的降温装置的技术资料

文档序号:16858086

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本发明涉及一种用于反射镜离子束抛光的降温装置,属于光学加工技术领域,具体包括反射镜固定架、支撑工装、两块以上的导热铜箔和与每一导热铜箔对应设置的柔软导热层,本发明利用设置在待抛光反射镜的侧表面上的柔软导热层以及连接柔软导热层和支撑工装的导热...
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