MEMS陀螺仪及其电子系统技术方案

本公开MEMS陀螺仪及其电子系统。具体为一种MEMS陀螺仪(60，100)，其中，悬挂质量块(111‑114)相对于支撑结构(125，127)可移动。该可移动质量块受正交力矩引起的正交误差的影响；驱动结构(77)耦合至该悬挂质量块以便以驱动频率控制该可移动质量块在驱动方向上的移动。耦合至该可移动质量块的运动感测电极(130)检测该可移动质量块在感测方向上的移动，并且正交补偿电极(121‑124)耦合至该可移动质量块以便生成与该正交力矩相反的补偿力矩。该陀螺仪被配置成用于使用补偿电压来对这些正交补偿电极进行偏置，从而使得该可移动质量块的谐振频率与该驱动频率之差具有预设频率失配值。

MEMS gyroscope and its electronic system

The present public MEMS gyroscope and its electronic system. Concrete is a kind of MEMS gyroscope (60100), the suspended mass (111 114) relative to the support structure (125127) mobile. The movable mass is affected by the quadrature torque caused by the quadrature torque, and the driving structure (77) is coupled to the suspended mass block to control the moving mass block moving in the driving direction at the driving frequency. Coupled to the movable mass motion sensing electrode (130) to detect the movement of the movable mass in the sensing direction, and an orthogonal compensation electrode (121 124) coupled to the movable mass to generate torque compensation contrary to the orthogonal moment. The gyroscope is configured for the orthogonal compensation electrode using the bias compensation voltage, so that the resonance frequency of the moving mass and the driving frequency difference with preset frequency mismatch value.

【技术实现步骤摘要】
MEMS陀螺仪及其电子系统
本技术涉及一种MEMS陀螺仪及其电子系统。
技术介绍
如已知的，微机电系统(MicroelectromechanicalSystem，MEMS)凭借其小尺寸、与消费者应用兼容的成本和增加的可靠性而越来越多地用于各种应用。具体地，形成了如使用这种技术的微集成陀螺仪和机电振荡器等惯性传感器。这种类型的MEMS设备通常包括支撑体和通过弹簧或“弯曲部”而悬挂在支撑体之上并耦合至支撑体的至少一个可移动质量块。弹簧被配置用于使可移动质量块能够根据一个或多个自由度相对于支撑体振荡。可移动质量块电容地耦合至支撑体上的多个固定电极，从而形成具有可变电容的电容器。当MEMS设备作为传感器而进行操作时，可移动质量块相对于支撑体上的固定电极的移动由于作用于其上的力的作用而修改电容器的电容。这种变化允许检测可移动质量块相对于支撑体的位移，并且根据后者，可以检测已经引起位移的外力。相反，当MEMS设备作为致动器而进行操作时，例如通过单独的一组致动或驱动电极向可移动质量块施加适当的偏置电压，从而使得可移动质量块经受引起期望移动的静电力。在MEMS传感器当中，具体地，陀螺仪具有复杂机电结本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MEMS陀螺仪(60，100)，其特征在于，包括：支撑结构(125，127)；质量块(111‑114)，所述质量块在彼此垂直的驱动方向(D1)和感测方向(D3)上相对于所述支撑结构可移动，所述可移动质量块受正交力矩引起的正交误差的影响；驱动结构(77)，所述驱动结构耦合至所述可移动质量块以便以驱动频率控制所述可移动质量块在所述驱动方向上的移动；运动感测电极(130)，所述运动感测电极耦合至所述可移动质量块，以便检测所述可移动质量块在所述感测方向上的移动；以及正交补偿电极(121‑124)，所述正交补偿电极耦合至所述可移动质量块，以便生成与所述正交力矩相反的补偿力矩；所述可移动质量块具有可变...

【技术特征摘要】
2016.07.27 IT 1020160000790181.一种MEMS陀螺仪(60，100)，其特征在于，包括：支撑结构(125，127)；质量块(111-114)，所述质量块在彼此垂直的驱动方向(D1)和感测方向(D3)上相对于所述支撑结构可移动，所述可移动质量块受正交力矩引起的正交误差的影响；驱动结构(77)，所述驱动结构耦合至所述可移动质量块以便以驱动频率控制所述可移动质量块在所述驱动方向上的移动；运动感测电极(130)，所述运动感测电极耦合至所述可移动质量块，以便检测所述可移动质量块在所述感测方向上的移动；以及正交补偿电极(121-124)，所述正交补偿电极耦合至所述可移动质量块，以便生成与所述正交力矩相反的补偿力矩；所述可移动质量块具有可变谐振频率，所述谐振频率与所述驱动频率之差为频率失配；所述陀螺仪被配置成用于使用补偿电压来对所述正交补偿电极进行偏置，从而以预设频率失配来驱动所述可移动质量块。2.如权利要求1所述的陀螺仪，其特征在于，所述补偿电压可随着所述正交误差二次地变化。3.如权利要求1所述的陀螺仪，其特征在于，所述正交补偿电极(121-124)包括第一正交补偿电极和第二正交...

【专利技术属性】
技术研发人员：D·普拉蒂，C·瓦尔扎希纳，T·基亚里洛，P·佛朗哥，
申请(专利权)人：意法半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：意大利,IT