有机发光面板及其制作方法、有机发光装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种有机发光面板，包括：有机层、设于所述有机层一侧的第一电极及设于所述有机层另一侧的第二电极；所述第二电极包括依次层叠在所述有机层上的缓冲电极层和导电电极层。利用本发明专利技术提供的技术方案能有效减缓因漏电产生的像素点亮度下降及功耗增大等不良后果，而且所述缓冲电极层和导电电极层的制作工艺、组成元素的种类都是相同的，能够用同一种材料靶材、同一个工艺腔体，降低了工艺复杂性，同时降低生产成本。

Organic light emitting panel and its making method and organic light emitting device

The invention relates to an organic electroluminescent panel includes: a first electrode and a second electrode arranged on the organic layer, the organic layer is arranged on the side of the organic layer on the other side; the second electrode includes electrode buffer layer stacked on the organic layer and a conductive electrode layer. The technical proposal provided by the invention can effectively slow down due to leakage of the pixel brightness decreased and increased power consumption and other adverse consequences, and the type of buffer electrode layer and a conductive electrode layer manufacturing process, elements are the same, can use the same material target, the same process reduces the cavity. The complexity of the technology, and reduce production cost.

【技术实现步骤摘要】
有机发光面板及其制作方法、有机发光装置
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种有机发光面板及其制作方法、有机发光装置。
技术介绍
近年来，顶发射白光器件的应用已经进入到商品化阶段，有报道称采用顶发射白光器件结合彩色滤光片，在低温多晶硅有源驱动面板上制造3.0英寸的全色显示样机，分辨率为308ppi，这是目前所报道的同类显示设备中的最高分辨率，这表明顶发射白光器件结合彩色滤光片在这种方法在制备大尺寸、高清晰、全彩色显示设备中具有巨大的潜力。但目前，在器件效率、寿命和所用有机材料的稳定性等方面仍存在很多问题，制约着顶发射白光器件的应用。由于对PPI(PixelsPerInch，像素每英寸)的要求越来越高，逐渐往顶发射有机显示面板发展，但顶发射白光器件，常用到透明电极技术，透明电极技术往往会对面板造成损伤，降低良率及电学性能。
技术实现思路
本专利技术的目的旨在提供一种有机发光面板及其制作方法、有机发光装置，以减缓透明电极溅镀工艺带来的影响，降低有机发光面板的成本，提高有机发光面板的工艺良率。为实现该目的，本专利技术提供了一种有机发光面板，包括有机层、设于所述有机层一侧的第一电极及设于所述有机层另一层的第二电极；所述第二电极包括依次层叠在所述有机层上的缓冲电极层和导电电极层。具体地，所述缓冲电极层、导电电极层元素种类相同。较佳地，所述缓冲电极层、导电电极层的材料均为透明导电氧化物。较佳地，所述缓冲电极层的厚度为20nm～100nm，所述导电电极层的厚度为100nm～300nm；所述缓冲电极层的电阻率大于0.1欧姆*厘米。具体地，所述缓冲电极层的方块电阻的阻值为0.9GΩ/□～1.1GΩ/□，所述导电电极层的方块电阻的阻值为14Ω/□～16Ω/□。优选地，所述第一电极远离所述有机层的一侧还设有反射层。具体地，所述反射层为金属材料。优选地，所述第一电极和第二电极均由透明导电氧化物制成。优选地，所述第一电极包括由铟、锡和氧组成的化合物，第二电极包括由铟、锌和氧组成的化合物。优选地，所述有机层发出的光经所述第二电极引出。优选地，所述有机层发出的是白光。相应地，本专利技术还提供了一种有机发光面板的制作方法，所述方法包括：在基板上形成第一电极；在所述第一电极上形成有机层；在所述有机层上溅镀第二电极，所述第二电极包括依次层叠在所述有机层上的缓冲电极层和导电电极层。具体地，所述缓冲电极层的制作工艺条件包括：溅镀功率为0.9～1.1kw，氩(元素符号Ar)流量为430～470sccm(标况毫升每分)，氧气流量4.3～4.7sccm，气压为3.0～3.2pa；所述导电电极层的制作工艺条件包括：溅镀功率为2.1～2.5kw，氩流量为68～72sccm，气压为0.65～0.69pa。具体地，所述缓冲电极层、导电电极层均采用直流磁控反应溅镀。相应地，本专利技术还提供了一种有机发光装置，其包括上述任一技术方案所述的有机发光面板。为了提高有机发光面板的工艺良率，本专利技术的专利技术人考虑制作金属氧化物阻隔层或不采用溅镀工艺而采用激光打孔能解决溅镀工艺带来的负面影响，但这些方法工艺复杂，成本较高。与现有技术相比，本专利技术具备如下优点：本专利技术将所述第二电极分为两层结构，该两层结构包括缓冲电极层和导电电极层，所述缓冲电极层为高电阻层，能有效减缓因漏电产生的像素点亮度下降及功耗增大等不良后果，而且所述缓冲电极层和导电电极层的制作工艺、组成元素的种类都是相同的，能够用同一种材料靶材、同一个工艺腔体，降低了工艺复杂性，同时降低生产成本。同时，采用多层复合第二电极，能够实现光谱覆盖大部分可见光区的白光反射，改善顶发射白光器件的光谱分布和视角特性。另外，本专利技术提供的有机发光装置是在上述有机发光面板的基础上进行改进的，因此，所述有机发光装置自然继承了所述有机发光面板的全部优点。本专利技术的这些方面或其他方面在以下实施例的描述中会更加简明易懂。【附图说明】图1为本专利技术提供的有机发光面板的结构示意图；图2为本专利技术提供的包含发射层的有机发光面板的结构示意图；图3为本专利技术提供的有机发光面板的制作方法的流程示意图；【具体实施方式】下面结合附图和示例性实施例对本专利技术作进一步地描述，其中附图中相同的标号全部指的是相同的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出本专利技术的特征是不必要的，则将其省略。本专利技术提供一种有机发光面板，其结构示意图如1所示，所述有机发光面板，包括有机层100、设于所述有机层一侧的第一电极10及设于所述有机层另一层的第二电极20；所述第二电极包括依次层叠在所述有机层上的缓冲电极层21和导电电极层22。将所述第二电极构造为两层结构，该两层结构包括缓冲电极层21和导电电极层22。采用多层复合第二电极，能够实现光谱覆盖大部分可见光区的白光反射，改善顶发射白光期间的光谱分布和视角特性。具体地，所述缓冲电极层和导电电极层的工艺相同、组成元素的种类相同。所述缓冲电极层和导电层的工艺相同即参数类型相同，但数值不相同，所述缓冲电极层和导电电极层的元素种类相同，但通过调整工艺参数，如提高其中某种元素的比例，改变气压等方式，使所述缓冲电极层和导电电极层的透射率不同、方块电阻不同。工艺参数的不同导致第二电极中的两层结构虽组成元素的种类相同，但分别形成高电阻的所述缓冲电极层，高导电率的所述导电电极层。本专利技术实施例提供的所述缓冲电极层的厚度为20nm～100nm，所述导电电极层的厚度为100nm～300nm，所述缓冲电极层的方块电阻的阻值为0.9GΩ/□～1.1GΩ/□，所述导电电极层的方块电阻的阻值为14Ω/□～16Ω/□。所述缓冲电极层的制作工艺条件包括：溅镀功率为0.9～1.1kw，氩流量为430～470sccm(标况毫升每分)，氧气流量4.3～4.7sccm，气压为3.0～3.2pa。本实施例优选所述缓冲层的制作工艺条件包括：溅镀功率1kw，氩流量450sccm，氧气流量4.5sccm，气压3.1pa，形成电阻率大于0.1欧姆*厘米。本专利技术实施例优选形成厚度为50nm的缓冲电极层，其方块电阻的阻值达到1GΩ/□。相对于所述缓冲电极层，可以通过降低氧气比例，减小气压等方式降低方块电阻来制作导电电极层，所述导电电极层的制作工艺条件包括：溅镀功率为2.1～2.5kw，氩流量为68～72sccm，气压为0.65～0.69pa。本实施例优选所述导电电极层的制作工艺包括：溅镀功率为2.3kw，Ar流量为70sccm，气压为0.67pa，形成高电导率的导电电极层，本专利技术实施例优选厚度为250nm的导电电极层，其方块电阻的阻值与厚度为300nm的普通电极的方块电阻值相同，均为15Ω/□。优选地，所述缓冲电极层、导电电极层均为透明电极层，即第二电极层为透明电极层，而第一电极层可以为非透明电极层。形成半透明的有机发光面板。所述缓冲电极层及导电电极层的材料均为透明导电氧化物(简称TCO)，即包含In、Tin、Zinc、F、Al等及其混合物，该种透明材料具有光透射率高和电阻率低等。有利于有机层发出的光从所述第二电极侧引出。在另一种实施例中，所述第一电极及第二电极均为透明导电氧化物(简称TCO)材料。透明导电氧化物薄膜具有光透射率高和电阻率低等优点，第一电极和第二电极均采用此种材料有利于光从所述第一电极本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机发光面板，其特征在于，包括：有机层、设于所述有机层一侧的第一电极及设于所述有机层另一侧的第二电极；所述第二电极包括依次层叠在所述有机层上的缓冲电极层和导电电极层。

【技术特征摘要】
1.一种有机发光面板，其特征在于，包括：有机层、设于所述有机层一侧的第一电极及设于所述有机层另一侧的第二电极；所述第二电极包括依次层叠在所述有机层上的缓冲电极层和导电电极层。2.根据权利要求1所述的有机发光面板，其特征在于，所述缓冲电极层、导电电极层的元素种类相同。3.根据权利要求1或2所述的有机发光面板，其特征在于，所述缓冲电极层、导电电极层的材料均为透明导电氧化物。4.根据权利要求1所述的有机发光面板，其特征在于，所述缓冲电极层的厚度为20nm～100nm，所述导电电极层的厚度为100nm～300nm；所述缓冲电极层的电阻率大于0.1欧姆*厘米。5.根据权利要求1或2所述的有机发光面板，其特征在于，所述缓冲电极层的方块电阻的阻值为0.9GΩ/□～1.1GΩ/□，所述导电电极层的方块电阻的阻值为14Ω/□～16Ω/□。6.根据权利要求1所述的有机发光面板，其特征在于，所述第一电极远离所述有机层的一侧还设有反射层。7.根据权利要求1或2所述的有机发光面板，其特征在于，所述第一电极和第二电极均由透明导电氧化物制成。8...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴长晏，全威，刘则，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11