【技术实现步骤摘要】
硅液分凝装置
本技术涉及硅液分凝装置。
技术介绍
国内生产工业硅或高纯硅时,需要通过分凝工艺来提纯硅,需要特别设计适于提纯高纯硅的分凝装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种硅液分凝装置,其结构合理,能实现硅液的分凝,便于提纯高纯硅。为实现上述目的,本技术的技术方案是设计一种硅液分凝装置,包括:顶部开口的竖置炉体,将炉体顶部开口封闭的平置炉盖,设于炉体内的硅料容纳装置,用于加热硅料容纳装置的加热装置,向硅料容纳装置通入保护气体的供气装置,用于排出炉体内废气的排气装置,以及用于冷却硅料容纳装置的冷却装置;所述炉体包括:由陶瓷纤维块砌成的炉壳,以及由耐火砖砌成的炉内壁;所述硅料容纳装置包括:顶部开口的竖置石墨坩埚,以及包裹石墨坩埚外壁的耐火材料打结层;所述加热装置包括:固定于炉内壁上的若干电阻丝带,以及控制各电阻丝带工作的加热控制模块;各电阻丝带平置且竖向等间隔设置,各电阻丝带环绕石墨坩埚;所述石墨坩埚底部设有保护气体输入口,该保护气体输入口由透气砖封闭;所述供气装置包括:贯穿耐火材料打结层后与透气砖连接的输气管,向输气管提供保护气体的混气包,以及设于输气管上的过滤器、减压稳压阀和流量调节阀;所述排气装置包括:设于炉盖上的排气管;所述冷却装置包括:与硅料容纳装置底面贴靠的冷却仓,以及与冷却仓连通的冷却气体输入管和冷却气体输出管。优选的,所述炉盖配有驱动其启闭的驱动装置。优选的,所述炉盖底面设有用于封闭石墨坩埚顶部开口的下凸块,所述排气管贯穿该下凸块。本技术的优点和有益效果在于:提供一种硅液分凝装置,其结构合理,能实现硅液的分凝,便于提纯高纯硅。开启炉盖,将硅料投 ...
【技术保护点】
硅液分凝装置,其特征在于,包括:顶部开口的竖置炉体,将炉体顶部开口封闭的平置炉盖,设于炉体内的硅料容纳装置,用于加热硅料容纳装置的加热装置,向硅料容纳装置通入保护气体的供气装置,用于排出炉体内废气的排气装置,以及用于冷却硅料容纳装置的冷却装置;所述炉体包括:由陶瓷纤维块砌成的炉壳,以及由耐火砖砌成的炉内壁;所述硅料容纳装置包括:顶部开口的竖置石墨坩埚,以及包裹石墨坩埚外壁的耐火材料打结层;所述加热装置包括:固定于炉内壁上的若干电阻丝带,以及控制各电阻丝带工作的加热控制模块;各电阻丝带平置且竖向等间隔设置,各电阻丝带环绕石墨坩埚;所述石墨坩埚底部设有保护气体输入口,该保护气体输入口由透气砖封闭;所述供气装置包括:贯穿耐火材料打结层后与透气砖连接的输气管,向输气管提供保护气体的混气包,以及设于输气管上的过滤器、减压稳压阀和流量调节阀;所述排气装置包括:设于炉盖上的排气管;所述冷却装置包括:与硅料容纳装置底面贴靠的冷却仓,以及与冷却仓连通的冷却气体输入管和冷却气体输出管。
【技术特征摘要】
1.硅液分凝装置,其特征在于,包括:顶部开口的竖置炉体,将炉体顶部开口封闭的平置炉盖,设于炉体内的硅料容纳装置,用于加热硅料容纳装置的加热装置,向硅料容纳装置通入保护气体的供气装置,用于排出炉体内废气的排气装置,以及用于冷却硅料容纳装置的冷却装置;所述炉体包括:由陶瓷纤维块砌成的炉壳,以及由耐火砖砌成的炉内壁;所述硅料容纳装置包括:顶部开口的竖置石墨坩埚,以及包裹石墨坩埚外壁的耐火材料打结层;所述加热装置包括:固定于炉内壁上的若干电阻丝带,以及控制各电阻丝带工作的加热控制模块;各电阻丝带平置且竖向等间隔设置,各电阻丝带环绕石墨坩埚;所述石...
【专利技术属性】
技术研发人员:韩至成,陈睿,朱兴发,李亚逸,
申请(专利权)人:苏州振吴电炉有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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