一种电子用超纯水处理系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种电子用超纯水处理系统，包括依次连接的原水箱、袋式过滤器、超滤系统、一级高压泵、一级反渗透系统、二级高压泵、二级反渗透系统及EDI系统。操作简单，成本投入少，产量高，不需要连续加药，提高了水质的稳定性，水中杂质去除效果更好，降低了生产成本，提高了生产效率，化学药剂用量少，降低了污染。

An ultra pure water treatment system for electronic use

The utility model discloses an electronic ultra pure water treatment system, which comprises a raw water tank, a bag filter, an ultrafiltration system, a first stage high pressure pump, a first stage reverse osmosis system, a two stage high pressure pump, a two level reverse osmosis system and a EDI system. The operation is simple, the cost is low, the output is high, no continuous dosing is needed, the stability of water quality is improved, the impurity removal effect is better, the production cost is reduced, the production efficiency is improved, the dosage of chemical agents is reduced, and the pollution is reduced.

【技术实现步骤摘要】
一种电子用超纯水处理系统
本技术涉及污水处理
，具体涉及一种电子用超纯水处理系统。
技术介绍
随着社会的发展，电子行业越来越普及，电子用水一般采用去离子的超纯水。超纯水是将水中的导电介质几乎完全除去的水，作为集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模板的制备和硅片氧化用的水汽源等，此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。但是现有技术中，运行成本高，去除杂质不彻底、生产水质不稳定，而且使用化学药品多，容易产生污染。因此，现有技术还需要进一步改进和发展。
技术实现思路
本技术的目的是为了提供一种电子用超纯水处理系统,旨在解决生产成本高、去除杂质不彻底，生产水质不稳定，产生污染的问题。所采用的技术方案为：一种电子用超纯水处理系统，包括依次连接的原水箱、袋式过滤器、超滤系统、一级高压泵、一级反渗透系统、二级高压泵、二级反渗透系统及EDI系统，其中，原水箱的出水口连接袋式过滤器的进水口，袋式过滤器的出水口连接超滤系统的进水口，超滤系统的出水口连接一级高压泵的进水口，一级高压泵的出水口连接一级反渗透系统的进水口，一级反渗透系统的出水口连接二级高压泵，二级高压泵的出水口连接二级反渗透系统的进水口，二级反渗透系统的出水口连接EDI系统的进水口，EDI系统的出水口排出电子用超纯水。原水箱与袋式过滤器之间的连接管路上设置有原水泵。超滤系统与一级高压泵之间设置有超滤水箱，超滤系统的出水口连接超滤水箱的进水口，超滤水箱的出水口连接一级高压泵的进水口。一级反渗透系统与二级高压泵之间设置有中间水箱，一级反渗透系统的出水口连接中间水箱的进水口，中间水箱的出水口连接二级高压泵的进水口。中间水箱与二级高压泵之间的连接管道上设置碱液加药系统。EDI系统的出水口连接用于存储超纯水的超纯水箱，所述超纯水箱的出水口连接电子用供水管路。超纯水箱与电子用供水管路之间依次设置有超纯水供水泵及气囊式压力罐，超纯水箱中超纯水经超纯水供水泵驱动流经气囊式压力罐进入电子用供水管路。超滤水箱上设置有分别连接至超滤系统、一级反渗透系统、二级反渗透系统的反冲洗管路，反冲洗管路上依次设置有超滤反洗泵和反洗精密过滤器。有益效果：本技术提供一种新型电子用超纯水处理系统，操作简单，成本投入少，产量高，不需要连续加药，提高了水质的稳定性，水中杂质去除效果更好，降低了生产成本，提高了生产效率，化学药剂用量少，降低了污染。附图说明图1是本技术具体实施例中电子用超纯水处理系统的结构示意图。图2是本技术具体实施例中电子超纯水处理系统的部分结构示意图。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本技术进一步详细说明。如图1、图2所示的一种电子用超纯水处理系统，包括依次连接的原水箱1、袋式过滤器2、超滤系统3、一级高压泵4、一级反渗透系统5、二级高压泵6、二级反渗透系统7及EDI系统8，其中，原水箱1的出水口连接袋式过滤器2的进水口，袋式过滤器2的出水口连接超滤系统的3进水口，超滤系统3的出水口连接一级高压泵4的进水口，一级高压泵4的出水口连接一级反渗透系统5的进水口，一级反渗透系统5的出水口连接二级高压泵6，二级高压泵6的出水口连接二级反渗透系统7的进水口，二级反渗透系统7的出水口连接EDI系统8的进水口，EDI系统8的出水口排出电子用超纯水。具体的，原水箱1是PE材质的垂直圆筒，容积为1.5m3。原水箱1用于贮存进入本系统的原水，其目的是为了调节进水流量的变化，起到缓冲和调节水量的作用，保证原水泵9的安全稳定运行，及通过液位控制系统达到与水泵连锁控制的目的。进一步的，原水箱1与袋式过滤器2之间的连接管路上设置有原水泵9。原水泵9是卧式离心泵。原水泵9提供给袋式过滤器2动力输送，为有效保护超滤系统免受水锤冲击的影响，同时运行过程中节省电消耗。进一步的，超滤系统3与一级高压泵4之间设置有超滤水箱10，超滤系统3的出水口连接超滤水箱10的进水口，超滤水箱10的出水口连接一级高压泵4的进水口。超滤水箱10上设置有分别连接至超滤系统3、一级反渗透系统5、二级反渗透系统7的反冲洗管路，反冲洗管路上依次设置有超滤反洗泵和反洗精密过滤器。具体的，超滤系统3利用聚丙烯晴、聚醚砜、聚砜等材料制成的中空纤维式超滤膜的细微孔径来过滤、去除和分离水中的有效直径0.005-0.1微米的颗粒和分子量在5000-150000道尔顿范围内的杂质，投入少，产量高，无需连续加药，出水质稳定，降低污染。进一步的，一级反渗透系统5与二级高压泵6之间设置有中间水箱11，一级反渗透系统5的出水口连接中间水箱11的进水口，中间水箱11的出水口连接二级高压泵6的进水口。进一步的，中间水箱11与二级高压泵6之间的连接管道上设置有包括容积40L的PE储药箱16和加药计量泵17的碱液加药系统12。进一步的，EDI系统8不需要酸碱再生，废水处理更简单。EDI系统8的出水口连接用于存储超纯水的材质为SUS304，容积为1.5m3的超纯水箱13，超纯水箱13的出水口连接电子用供水管路。进一步的，超纯水箱13与电子用供水管路之间依次设置有超纯水供水泵14及气囊式压力罐15，超纯水箱13中超纯水经超纯水供水泵14驱动流经气囊式压力罐15进入电子用供水管路。具体的，该电子用超纯水处理系统用于抛光混床18上进行清洗后可以接入纯水供水管19对其他电子产品进行超纯水处理。应当理解的是，本技术的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本技术所附权利要求的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子用超纯水处理系统，其特征在于，包括依次连接的原水箱、袋式过滤器、超滤系统、一级高压泵、一级反渗透系统、二级高压泵、二级反渗透系统及EDI系统，其中，原水箱的出水口连接袋式过滤器的进水口，袋式过滤器的出水口连接超滤系统的进水口，超滤系统的出水口连接一级高压泵的进水口，一级高压泵的出水口连接一级反渗透系统的进水口，一级反渗透系统的出水口连接二级高压泵，二级高压泵的出水口连接二级反渗透系统的进水口，二级反渗透系统的出水口连接EDI系统的进水口，EDI系统的出水口排出电子用超纯水。

【技术特征摘要】
1.一种电子用超纯水处理系统，其特征在于，包括依次连接的原水箱、袋式过滤器、超滤系统、一级高压泵、一级反渗透系统、二级高压泵、二级反渗透系统及EDI系统，其中，原水箱的出水口连接袋式过滤器的进水口，袋式过滤器的出水口连接超滤系统的进水口，超滤系统的出水口连接一级高压泵的进水口，一级高压泵的出水口连接一级反渗透系统的进水口，一级反渗透系统的出水口连接二级高压泵，二级高压泵的出水口连接二级反渗透系统的进水口，二级反渗透系统的出水口连接EDI系统的进水口，EDI系统的出水口排出电子用超纯水。2.根据权利要求1所述的电子用超纯水处理系统，其特征在于，所述原水箱与袋式过滤器之间的连接管路上设置有原水泵。3.根据权利要求1所述的电子用超纯水处理系统，其特征在于，所述超滤系统与一级高压泵之间设置有超滤水箱，超滤系统的出水口连接超滤水箱的进水口，超滤水箱的出水口连接一级高压泵的进水口。4.根据权利要求1所述的电子用超纯...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫明斋，王晓飞，
申请(专利权)人：青岛万源环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37