一种带镧系氧化物疏水光学薄膜的光学镜片及其制备制造技术

本发明专利技术公开了一种原子层沉积法制备的镧系氧化物疏水光学薄膜，其膜层材料采用镧系氧化物，该膜层镀于光学镜片基底表面时，不影响原镜片的光学性能。可应用于要求疏水性的光学器件表面，如防雾光学透射镜，反射镜等。本发明专利技术的镧系氧化物薄膜须采用原子层沉积镀膜工艺和设备进行制备，疏水性好，光学性能优良，应用广泛。

Optical lens and preparation of a hydrophobically hydrophobic film with lanthanide oxide

The invention discloses a lanthanide oxide hydrophobic optical thin film prepared by atomic layer deposition. The material of the film is lanthanide oxide. When the film is plated on the surface of the optical lens substrate, it does not affect the optical performance of the original lens. It can be applied to the surface of optical devices that require hydrophobicity, such as antifogging optical transmission mirrors, mirrors and so on. The lanthanide oxide film of the present invention must be prepared by atomic layer deposition coating process and equipment, with good hydrophobicity, excellent optical properties and wide application.

【技术实现步骤摘要】
一种带镧系氧化物疏水光学薄膜的光学镜片及其制备
本专利技术涉及镀膜领域，具体涉及到一种可保证疏水性和透光性双重性质的镧系氧化物疏水光学薄膜领域。
技术介绍
疏水和超疏水涂层成为近年来的研究热点。最开始,人们利用仿生学原理,模仿荷叶表面的微纳结构,制备疏水涂层,水滴在其表面接触角可达到130°-160°,具备疏水甚至超疏水性能。后来，科学家们开发出一些低表面能的有机疏水涂层，如聚四氟乙烯等。但在一些特殊领域,如具有疏水性要求的光学元器件表面,要求该疏水涂层在工作波段是透明的，并在特殊情况下，可应用于复杂恶劣环境，如高温高湿等条件。一般的氧化物非晶材料，如SiO2，Al2O3等都是亲水性材料，无法满足要求。镧系元素未成对电子处于次外层，而被充满电子的外壳层包裹，与外界交换电子的能力弱，镧系氧化物陶瓷材料这一特殊的电子排布形式，决定了其是一类本征疏水性材料，可满足上述要求，应用于光学元器件表面的疏水涂层。镧系氧化物陶瓷块体材料的疏水性研究已见报道，但薄膜材料报道较少，尤其是应用在光学薄膜上更是罕见报道。
技术实现思路
为解决上述问题，本专利技术提供了一种镧系氧化物疏水光学薄膜，用来解决某些光学本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带镧系氧化物疏水光学薄膜的光学镜片，其特征在于：于光学镜片的受光面或光入射面设有镧系氧化物疏水光学薄膜。

【技术特征摘要】
1.一种带镧系氧化物疏水光学薄膜的光学镜片，其特征在于：于光学镜片的受光面或光入射面设有镧系氧化物疏水光学薄膜。2.根据权利要求1所述的光学镜片，其特征在于：该镧系氧化物疏水光学薄膜起疏水隔离作用，并不影响原基片的光学性能；光学镜片作为基片可以是块体光学材料或光学镜片，或者也可以是带有单层膜或多层膜的光学镜片。3.根据权利要求1所述的光学镜片，其特征在于：镧系氧化物疏水光学薄膜膜层采用镧系氧化物材料，包括：CeO2,Pr6O11,Nd2O3,Sm2O3,Eu2O3,Gd2O3,Tb4O7,Dy2O3,Ho2O3,Er2O3,Tm2O3,Yb2O3和Lu2O3,共13种中的一种或二种以上。4.根据权利要求1所述光学镜片，其特征在于：镧系氧化物疏水光学薄膜该膜层最佳使用厚度在10-50nm，优选10-30nm，最佳厚度为25nm。5.根据权利要求1、3或4所述的光学镜片，其特征在于：镧系氧化物疏水光学薄膜在测试波长为1064nm下，膜层折射率为n＝1.998。6.根据权利要求1所述的光学镜片，其特征在于：该镧系氧化物疏水光学薄膜膜层同时具有疏水性和高透光性的薄膜材料，应用在对表面有疏水性要求的光学元器件，包括透射镜片、反射镜片、带通滤光片、窄带滤光片或太阳能电池表面。7.根据权利要求1-6任一所述的光学镜片，其特征在于：于光学镜片的表面设有镧系氧化物疏水光学薄膜。8.一种权利要求1-7任一所述的光学镜片的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张绍骞，邓淞文，李刚，李庆伟，金玉奇，
申请(专利权)人：中国科学院大连化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：辽宁,21