臭氧气体产生装置及臭氧气体产生装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种臭氧气体产生装置及臭氧气体产生装置的制造方法。该臭氧气体产生装置具备：一对电极(11)，隔开规定间隔彼此对置地配置；一对电介质(12)，分别设置在一对电极的彼此对置的面；以及功能膜(13)，设置在一对电介质的彼此对置的面中的至少一侧。而且，功能膜含有氧化钛及氧化铌的晶系的化合物。

Manufacturing method of ozone gas generating device and ozone gas generating device

The invention provides an ozone gas generating device and a manufacturing method of an ozone gas generating device. The ozone generating device includes a pair of electrodes (11), a prescribed interval disposed to each other; a dielectric (12) respectively, a pair of electrodes disposed on the opposite surface; and the functional film (13), at least one side of a dielectric is arranged in the opposing surface. Moreover, the functional membrane contains compounds of the crystalline system of titanium oxide and niobium oxide.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】臭氧气体产生装置及臭氧气体产生装置的制造方法
本专利技术涉及一种臭氧气体产生装置及臭氧气体产生装置的制造方法。
技术介绍
以往，已知有臭氧气体产生装置。这种臭氧气体产生装置，例如已在国际公开WO2011/039971号中公开。上述国际公开WO2011/039971号中，公开有无需将氮气等其他气体添加到原料气体中而产生高浓度的臭氧气体的臭氧气体产生装置。具体而言，上述国际公开WO2011/039971号的臭氧气体产生装置具备：一对电介质，隔开规定间隔彼此对置地配置；一对电极，分别配置在一对电介质的外侧且在一对电介质之间产生放电；以及功能膜，设置在一对电介质的彼此对置的面中的至少一侧。该臭氧气体产生装置的功能膜含有：选自铌、钽、钼、铬的1种或2种金属的第1金属氧化物、以及选自钛、钨、锌、铁的1种或2种金属的第2金属氧化物。以往技术文献专利文献专利文献1：国际公开WO2011/039971号
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题如上述国际公开WO2011/039971号那样的以往的臭氧气体产生装置中，由于功能膜表面的金属氧化物的结构不同，有时臭氧产生性能产生变动。因此，期待一种无需将氮气等其他气体添加到原料气体中，而能够更稳定地产生高浓度的臭氧气体的臭氧气体产生装置。本专利技术是为了解决上述课题而完成的，本专利技术的目的之一在于提供一种无需将氮气等其他气体添加到原料气体中，而能够更稳定地产生高浓度的臭氧气体的臭氧气体产生装置及臭氧气体产生装置的制造方法。用于解决技术课题的手段为了解决上述课题，本申请专利技术人深入研究的结果，发现：将设置在一对电介质的彼此对置的面中的至少一侧的功能膜以含有氧化钛及氧化铌的晶系的化合物的方式形成，由此，无需将氮气等其他气体添加到原料气体中，而能够更稳定地产生高浓度的臭氧气体。即，基于本专利技术的第1方面的臭氧气体产生装置具备：一对电极，隔开规定间隔彼此对置地配置；一对电介质，分别设置在一对电极的彼此对置的面；以及功能膜，设置在一对电介质的彼此对置的面中的至少一侧，功能膜含有氧化钛及氧化铌的晶系的化合物。如上所述，基于本专利技术的第1方面的臭氧气体产生装置中，通过功能膜含有氧化钛及氧化铌的晶系的化合物，在不将氮气等其他气体添加到原料气体中而产生臭氧气体时，能够抑制臭氧产生性能的变动。由此，无需将氮气等其他气体添加到原料气体中，而能够更稳定地产生高浓度的臭氧气体。基于上述第1方面的臭氧气体产生装置中，功能膜的氧化钛及氧化铌的晶系的化合物优选由以摩尔数计Nb2O5成为TiO2的0.1倍以上且6倍以下的氧化钛及氧化铌所生成。若如此构成，则能够从以摩尔数计Nb2O5成为TiO2的0.1倍以上且6倍以下的氧化钛及氧化铌中生成如TiNb2O7及Ti2Nb10O29那样的的晶系的化合物。基于上述第1方面的臭氧气体产生装置中，功能膜优选还含有氧化钛的固溶体。若如此构成，则通过氧化钛及氧化铌的晶系的化合物与氧化钛的固溶体这两者的作用，而能够更稳定地产生高浓度的臭氧气体。基于上述第1方面的臭氧气体产生装置中，功能膜的氧化钛及氧化铌的晶系的化合物优选含有TiNb2O7及Ti2Nb10O29中的至少一方。若如此构成，则通过含有TiNb2O7及Ti2Nb10O29中的至少一方的晶系的化合物的作用，而能够更稳定地产生高浓度的臭氧气体。基于本专利技术的第2方面的臭氧气体产生装置的制造方法具备：通过在1000℃以上加热氧化钛及氧化铌而生成氧化钛及氧化铌的晶系的化合物的工序；设置隔开规定间隔彼此对置地配置的一对电极的工序；在一对电极的彼此对置的面上分别设置一对电介质的工序；以及在一对电介质的彼此对置的面中的至少一侧，设置含有氧化钛及氧化铌的晶系的化合物的功能膜的工序。基于本专利技术的第2方面的臭氧气体产生装置的制造方法中，通过如上述那样构成，在不将氮气等其他气体添加到原料气体中而产生臭氧气体时，能够制造出能够抑制臭氧产生性能的变动的臭氧气体产生装置。由此，能够制造出无需将氮气等其他气体添加到原料气体中，而能够更稳定地产生高浓度的臭氧气体的臭氧气体产生装置。基于上述第2方面的臭氧气体产生装置的制造方法中，生成氧化钛及氧化铌的晶系的化合物的工序优选包括：混合氧化钛及氧化铌的工序；在1000℃以上加热所混合的氧化钛及氧化铌而生成晶系的化合物的工序；以及粉碎所生成的化合物的工序。若如此构成，则能够从氧化钛及氧化铌中，容易生成氧化钛及氧化铌的晶系的化合物，而容易形成臭氧气体产生装置的功能膜。基于上述第2方面的臭氧气体产生装置的制造方法中，设置功能膜的工序优选包括将所生成的氧化钛及氧化铌的晶系的化合物与氧化钛的固溶体涂布于电介质的工序。若如此构成，则通过氧化钛及氧化铌的晶系的化合物与氧化钛的固溶体这两者的作用，能够制造出能够更稳定地产生高浓度的臭氧气体的臭氧气体产生装置。专利技术效果如上所述，根据本专利技术，无需将氮气等其他气体添加到原料气体中，而能够更稳定地产生高浓度的臭氧气体。附图说明图1是表示基于本专利技术的一实施方式的臭氧气体产生装置的框图。图2是表示基于本专利技术的一实施方式的臭氧气体产生装置的放电单元的示意图。图3是表示TiO2-Nb2O5的状态图的图。图4是表示基于本专利技术的一实施方式的臭氧气体产生装置的臭氧气体生成部的制造工序的图。图5是用于说明基于实施例的臭氧气体的生成的表。具体实施方式以下，根据附图对本专利技术的实施方式进行说明。(臭氧气体产生装置的结构)参考图1对基于本专利技术的一实施方式的臭氧气体产生装置100的结构进行说明。基于本专利技术的一实施方式的臭氧气体产生装置100以生成半导体制造工序中所使用的臭氧的方式构成。即，臭氧气体产生装置100以使用高纯度的氧气(例如氧浓度99.9％以上)，并抑制所生成的臭氧气体中的杂质(臭氧及氧以外的物质)的浓度的方式构成。如图1所示，臭氧气体产生装置100具备臭氧气体生成部1、电源2、以及控制部3。臭氧气体生成部1以供给高纯度的氧气(O2)作为原料而生成高浓度的臭氧气体(O3)的方式构成。另外，在原料的高纯度氧气中，并未添加氮气等其他气体。臭氧气体生成部1包含放电单元10。如图2所示，放电单元10具有一对电极11、一对电介质12、以及一对功能膜13。另外，在臭氧气体生成部1中，虽然未图示，但设置有多个放电单元10。多个放电单元10具有相同的结构。放电单元10以通过电源2的施加来进行无声放电的方式构成。在多个放电单元10的各个之间，设置有使冷却水流通的流路。一对电极11以分别配置在一对电介质12的外侧并在一对电介质12间产生放电的方式构成。即，在一对电极11上连接有电源2。高频高电压的电力从电源2被供给至一对电极11。并且，一对电极11分别形成为膜状。并且，一对电极11配置成彼此对置。一对电介质12隔开规定间隔彼此对置地配置。并且，一对电介质12分别由氧化铝(陶瓷)所形成。并且，一对电介质12分别形成为板状。并且，一对电介质12分别具有大于电极11的面积，并以覆盖一对电极11的内侧面(相对置的一侧的面)的方式配置。电介质12例如具有约0.05mm以上且约1mm以下的板厚。为了得到稳定的性能，电介质12优选具有约0.1mm以上且约0.3mm以下的板厚。一对电介质12例如隔开约30μm以上且约100μm以下的间隔配置。并本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种臭氧气体产生装置，其具备：一对电极，隔开规定间隔彼此对置地配置；一对电介质，分别设置在所述一对电极的彼此对置的面；以及功能膜，设置在所述一对电介质的彼此对置的面中的至少一侧，所述功能膜含有氧化钛及氧化铌的晶系的化合物。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.03.18 JP 2015-0542431.一种臭氧气体产生装置，其具备：一对电极，隔开规定间隔彼此对置地配置；一对电介质，分别设置在所述一对电极的彼此对置的面；以及功能膜，设置在所述一对电介质的彼此对置的面中的至少一侧，所述功能膜含有氧化钛及氧化铌的晶系的化合物。2.根据权利要求1所述的臭氧气体产生装置，其中，所述功能膜的氧化钛及氧化铌的晶系的化合物由以摩尔数计Nb2O5成为TiO2的0.1倍以上且6倍以下的氧化钛及氧化铌所生成。3.根据权利要求1或2所述的臭氧气体产生装置，其中，所述功能膜还含有氧化钛的固溶体。4.根据权利要求1至3中任一项所述的臭氧气体产生装置，其中，所述功能膜的氧化钛及氧化铌的晶系的化合物含有TiNb2O7及Ti2Nb10O29中的至...

【专利技术属性】
技术研发人员：松野敬，
申请(专利权)人：住友精密工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP